TAILIEUCHUNG - Study on pad cutting rate and surface roughness in diamond dressing process

This paper proposes a novel view to predicting the distribution of pad cutting rate (PCR) and surface roughness based on cutting length and overlap cutting locus. The geometrical model of diamond dressing on the pad has been built and CMP tool parameters are used for the simulation of cutting length and overlap distribution. The distribution of PCR and predict surface roughness is calculated on each pad zone. Simulation results presented a high PCR and roughness is observed in center zones. The verified experiment is in agreement with simulation results where high PCR and roughness is near the center zones, which cause the shape of the pad surface to be concave. | Study on pad cutting rate and surface roughness in diamond dressing process

TAILIEUCHUNG - Chia sẻ tài liệu không giới hạn
Địa chỉ : 444 Hoang Hoa Tham, Hanoi, Viet Nam
Website : tailieuchung.com
Email : tailieuchung20@gmail.com
Tailieuchung.com là thư viện tài liệu trực tuyến, nơi chia sẽ trao đổi hàng triệu tài liệu như luận văn đồ án, sách, giáo trình, đề thi.
Chúng tôi không chịu trách nhiệm liên quan đến các vấn đề bản quyền nội dung tài liệu được thành viên tự nguyện đăng tải lên, nếu phát hiện thấy tài liệu xấu hoặc tài liệu có bản quyền xin hãy email cho chúng tôi.
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.