TAILIEUCHUNG - Engineering Materials and Processes phần 10

Electromigration kháng (EM) của Ag là độ tin cậy kết nối mối quan tâm quan trọng nhất mà sẽ xác định phù hợp của nó đối với công nghệ mạch tích hợp. EM là trôi dạt của các ion kim loại như là kết quả của một trong hai vụ va chạm giữa các electron dẫn | Summary 117 Figure . RBS spectra MeV He 2 7 tilt of the diffusion barriers before broken line and after solid line testing at 620 C for 30 minutes in flowing atmosphere N2-5 H2 ambient 8 Electromigration Resistance Electromigration EM resistance of Ag is the most critical interconnect reliability concern that would determine its suitability for integrated circuit technology. EM is the drift of metal ions as a result of either collision between the conductor electrons and or the metal ions or high electrostatic field force when current is passed through a metal conductor. The direction of mass transport depends on the direction of the net force. When high current densities pass through the metal line voids or hillocks are formed at a point of ion flux divergence Figure . Voids and hillocks deform and grow until electrical failure is completed 10 . 118 Silver Metallization Figure . Schematic to illustrate metal conductor failure due to electromigration 17 Ho and Huntington 11 Patil and Huntington 12 reported that Ag migrates toward the anode for the temperature range 670-877 C. Klotsman et al. 13 and Breitling and Hummel 14 however found that Ag ion transport is toward the cathode and is opposite to the direction of the electron wind. Studies conducted by Hummel et al. showed that the dominating movement path is grain boundaries for temperatures in the range of 225-280 C activation energy of eV and surface for the temperature range 160-225 C activation energy of eV 15 . In this study the influence of an encapsulation process on the electromigration resistance of Ag has been investigated. The sample configurations used consisted of bare Ag patterns and encapsulated Ag patterns. Compared to bare Ag lines TiN O encapsulated Ag lines exhibited much better electromigration resistance in terms of the time required for the formation of significant number of voids and hillocks. After the encapsulation process the Ag surface is capped by a thin .

• Cơ khí - Chế tạo máy
• ngành cơ khí
• động cơ máy
• nguyên lí hoạt động
• hệ thống máy móc
• cơ khí hóa
• động cơ máy móc
• chế tạo động cơ
• Ngành công nghiệp cơ khí
• Phát triển ngành công nghiệp cơ khí
• Định hướng ngành công nghiệp cơ khí
• Nền kinh tế quốc dân
• Tìm hiểu ngành công nghiệp cơ khí
• Tham khảo ngành công nghiệp cơ khí
• Dự báo phát triển ngành Cơ khí
• Cơ khí xây dựng
• Cơ khí giao thông vận tải
• Cơ khí nông nghiệp
• Cơ sở sản xuất ngành Cơ khí
• Chương trình đào tạo Cơ khí ô tô
• Ngành Cơ khí ô tô
• Cơ khí ô tô
• Giới thiệu Cơ khí ô tô
• Tìm hiểu ngành Cơ khí ô tô
• Kiến thức ngành Cơ khí ô tô
• Từ điển chuyên ngành cơ khí
• Từ điển chuyên ngành ô tô
• Từ vựng chuyên ngành cơ khí
• Từ điển chuyên ngành Cơ khí ô tô
• Anh Văn chuyên ngành cơ khí
• Tiếng Anh chuyên ngành ô tô
• Đào tạo ngành Cơ khí
• Chất lượng đào tạo ngành Cơ khí
• Đồ án chi tiết máy
• Nâng cao chất lượng ngành Cơ khí
• Thiết kế chế tạo chi tiết máy
• Ngành cơ khí chế tạo Việt Nam
• Ngành cơ khí chế tạo
• Thúc đẩy ngành cơ khí chế tạo
• Công nghiệp sản xuất
• Phát triển ngành cơ khí chế tạo
• Ngành công nghiệp cơ khí Việt Nam
• Tiến trình hội nhập kinh tế quốc tế
• Công nghiệp cơ khí
• Hội nhập kinh tế quốc tế
• Thực trạng ngành công nghiệp cơ khí
• Đề thi học kỳ
• Đề thi Anh văn chuyên ngành cơ khí
• Bài tập Anh văn chuyên ngành cơ khí
• Cơ khí chế tạo máy
• Đề thi cuối học kỳ II
• Đào tạo nguồn lực ngành cơ khí
• Chiến lược phát triển ngành cơ khí
• Cơ khí chế tạo
• Đào tạo nguồn nhân lực
• Chiến lược phát triển khoa học công nghệ
• Giáo trình khí nén điện khí nén
• cơ khí đại cương
• tài liệu cơ khí
• chuyên ngành cơ khí
• lý thuyết cơ khí
• giáo trình cơ khí đại cương
• bài giảng cơ khí
• Anh văn chuyên ngành
• Báo cáo thực tập ngành cơ khí
• Thực tập ngành cơ khí
• Luận văn cơ khí
• Công nghệ chế tạo cơ khí
• Kỹ thuật cơ khí
• Đề tài kỹ thuật cơ khí
• từ điển chuyên ngành
• tiếng anh chuyên ngành
• từ vựng cơ khí
• thuật ngữ cơ khí
• Từ vựng Tiếng Anh
• Từ vựng Tiếng Anh chuyên ngành Cơ khí
• Tiếng Anh chuyên ngành Cơ khí
• Tiếng Anh cho người đi làm
• Tổng hợp từ vựng Tiếng Anh ngành Cơ khí
• Giáo trình cơ khí
• Cơ sở tự động hóa ngành cơ khí
• Điều khiển tự động
• Tự động hóa ngành cơ khí
• Nguyên tắc điều khiển tự động
• phương pháp tính
• Công nghiệp cơ khí Việt Nam
• Thương mại hóa
• Kinh tế quốc tế
• Luận văn công nghiệp cơ khí
• Tiếng Anh cơ khí ô tô
• Tiếng Anh chuyên ngành cơ khí ô tô
• Special English for automobile engineering
• Từ vựng tiếng Anh chuyên ngành ô tô
• Giáo trình tuoc bin nhiệt điện
• cơ khí đại cương
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt