TAILIEUCHUNG - Báo cáo hóa học: " Synthesis of highly transparent ultrananocrystalline diamond films from a lowpressure, low-temperature focused microwave plasma jet"

Tuyển tập báo cáo các nghiên cứu khoa học quốc tế ngành hóa học dành cho các bạn yêu hóa học tham khảo đề tài: Synthesis of highly transparent ultrananocrystalline diamond films from a lowpressure, low-temperature focused microwave plasma jet | Liao et al. Nanoscale Research Letters 2012 7 82 http content 7 1 82 o Nanoscale Research Letters a SpringerOpen Journal NANO EXPRESS Open Access Synthesis of highly transparent ultrananocrystalline diamond films from a low-pressure low-temperature focused microwave plasma jet Wen-Hsiang Liao1 2 Da-Hua Wei1 2 and Chii-Ruey Lin1 2 Abstract This paper describes a new low-temperature process underlying the synthesis of highly transparent ultrananocrystalline diamond UNCD films by low-pressure and unheated microwave plasma jet-enhanced chemical vapor deposition with Ar-1 CH4-10 H2 gas chemistry. The unique low-pressure low-temperature LPLT plasma jet-enhanced growth even with added H2 and unheated substrates yields UNCD films similar to those prepared by plasma-enhanced growth without addition of H2 and heating procedure. This is due to the focused plasma jet which effectively compensated for the sluggish kinetics associated with LPLT growth. The effects of pressure on UNCD film synthesis from the microwave plasma jet were systematically investigated. The results indicated that the substrate temperature grain size surface roughness and sp3 carbon content in the films decreased with decreasing pressure. The reason is due to the great reduction of Ha emission to lower the etching of sp2 carbon phase resulting from the increase of mean free path with decreasing pressure. We have demonstrated that the transition from nanocrystalline 80 nm to ultrananocrystalline 3 to 5 nm diamond films grown via microwave Ar-1 CH4-10 H2 plasma jets could be controlled by changing the pressure from 100 to 30 Torr. The 250-nm-thick UNCD film was synthesized on glass substrates glass transition temperature Tg 557 C using the unique LPLT 30 Torr 460 C microwave plasma jet which produced UNCD films with a high sp3 carbon content and offered high optical transmittance approximately 86 at 700 nm . Keywords ultrananocrystalline diamond films focused microwave plasma

• Báo cáo khoa học
• báo cáo khoa học
• báo cáo hóa học
• công trình nghiên cứu về hóa học
• tài liệu về hóa học
• cách trình bày báo cáo
• trình bày báo cáo
• tài liệu báo cáo khoa học
• cách trình bày báo cáo khoa học
• báo cáo khoa học sinh học
• báo cáo khoa học toán học
• luận văn mẫu
• người lính việt nam
• sau chiến tranh
• tuyển tập báo cáo khoa học
• báo cáo ngành triết học
• báo cáo ngành lịch sử
• báo cáo ngành văn học
• nghiên cứu khoa học
• báo cáo về văn học
• báo cáo triết học
• báo cáo văn học
• chuyên đề văn học
• văn học nghệ thuật
• văn học Việt NAm
• báo cáo ngành toán học
• báo cáo ngành vật lý
• báo cáo ngành chăn nuôi
• văn học Trung Hoa
• báo cáo khoa học kinh tế
• Kỷ yếu tóm tắt báo cáo khoa học
• Báo cáo khoa học y học
• Báo cáo y học
• Hội nghị khoa học tim mạch
• Báo cáo khoa học y khoa
• Tăng huyết áp
• báo cáo sinh học
• bảo tồn nguồn gen
• báo cáo ngành kỹ thuật
• Báo cáo quản lý chất thải sinh hoạt
• Báo cáo khoa học môi trường
• Báo cáo khoa học công nghệ
• Nghiên cứu khoa học về môi trường
• Đề tài nghiên cứu khoa học
• Báo cáo nghiên cứu khoa học