TAILIEUCHUNG - Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian

Cảm biến áp suất mới MEMs dựa trên áp điện trở silicon, được phát triển để đo từ 20Bar tới trên 1000Bar cho những ứng dụng chuyển động trong không gian. Phần tử silicon có dạng ống với vị trí ngoài và cầu điện trở được mở rộng với tính ổn định cao để phát hiện áp suất do ứng suất mang lại, đã được xây dựng bởi chuẩn công nghệ silicon phẳng và quá trình riêng MEMs, như là liên kết nóng chảy silicon và thuật khắc điện tử | Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian Cảm biến áp suất mới MEMs dựa trên áp điện trở silicon được phát triển để đo từ 20Bar tới trên 1000Bar cho những ứng dụng chuyển động trong không gian. Phần tử silicon có dạng ống với vị trí ngoài và cầu điện trở được mở rộng với tính ổn định cao để phát hiện áp suất do ứng suất mang lại đã được xây dựng bởi chuẩn công nghệ silicon phẳng và quá trình riêng MEMs như là liên kết nóng chảy silicon và thuật khắc điện tử. Hình 1 a Cảm biến hợp nhất và phần tử cảm biến silicon dạng ống b mặt cắt ngang cầu điện trở Cảm biến trên có triển vọng ứng dụng trong lĩnh vực gia công thô. Ưu điểm của nó là có sự khác biệt các thuộc tính quan trọng như kích thước và khoảng cách nhỏ mức độ cứng của kim loại trục đối xứng tín hiệu đầu ra lớn đáp ứng nhiệt độ và áp suất nhanh nhạy gia tốc thấp. Hiệu ứng trễ cũng đã được giảm thiểu bằng cách loại bỏ vỏ gây ra ứng suất bởi khoảng cách lớn giữa vùng cảm nhận và vùng chết hoàn toàn chính xác trong phạm vi áp suất 700bar và dải nhiệt độ từ -70C tới 1350C là hơn 0 01 FS. Đặc điểm trễ và lặp lại được đo tới 10 ppm. 1. Giới thiệu. Nhà sản xuất Presens tập trung chính vào công nghiệp hoá phù hợp cho những ứng dụng cho áp suất trung bình và cao như áp suất dầu và gas có yêu cầu về độ chính xác ổn định lâu dài và khử độ rung. Pressure barl Hình 2 Sai số áp suất áp dụng cho áp suất và nhiệt độ khác nhau 2. Công nghệ Silicon Nguyên tắc đo lường được khai thác bởi Presens bao gồm sự hợp nhất cầu điện trở bên ngoài trên một cấu trúc silicon dạng ống. Cho một ống thẳng ứng suất theo hướng ngang sẽ cao gấp đôi hướng trục. Sự khác biệt ứng suất giữa hai phương sẽ tương ứng với áp suất và có thể được đo lường bởi áp điện trở của cầu điện trở. Khi tác dụng áp lực bên ngoài đến phần tử ống là để đo ứng suất nén luôn chống lại những áp lực gây hư hại. Phần tử cảm biến được chế tạo bởi tiêu chuẩn công nghệ mặt phẳng silicon và tiêu chuẩn quá trình gia công kích thước nhỏ giống như hỗn hợp liên kết silicon và khắc

• Tự động hoá
• kỹ thuật
• công nghệ
• áp suất
• cảm biến
• sillcon
• Kỹ thuật thông tin số
• kỹ thuật số hóa tín hiệu
• kỹ thuật mã hóa đường dây
• kỹ thuật mã hóa nguồn
• kỹ thuật mã hóa kênh
• kỹ thuật ghép kênh
• kỹ thuật điều chế
• kỹ thuật đa truy cập
• Kỹ thuật chế biến món ăn
• Giáo trình Kỹ thuật tỉa rau củ quả
• Kỹ thuật tỉa rau củ quả
• Kỹ thuật tỉa hoa ly
• Kỹ thuật tỉa trái bắp
• Kỹ thuật tỉa hoa cúc
• Kỹ thuật tỉa thiên nga cánh xếp
• Kỹ thuật cao áp
• tài liệu Kỹ thuật cao áp
• nghiên cứu Kỹ thuật cao áp
• ứng dụng Kỹ thuật cao áp
• cẩm nang Kỹ thuật cao áp
• sổ tay Kỹ thuật cao áp
• giáo trình Kỹ thuật cao áp
• Kỹ thuật trồng nhãn
• Kỹ thuật trồng vải
• Kỹ thuật trồng xoài
• Kỹ thuật trồng na
• Kỹ thuật trồng bưởi
• Kỹ thuật trồng dứa
• Kỹ thuật điện tử
• Ôn tập kỹ thuật điện tử
• Để cương kỹ thuật điện tử
• Bài giảng kỹ thuật điện tử
• Đề thi kỹ thuật điện tử
• Giáo rình kỹ thuật điện tử
• Kỹ thuật nuôi cá trê
• Kỹ thuật nuôi lươn
• Nuôi giun đất
• Kỹ thuật ương giống
• Kỹ thuật sản xuất giống
• Nuôi cá thịt
• Cad trong kỹ thuật
• Các bước xuất bản vẽ kỹ thuật
• Vẽ kỹ thuật
• Bản vẽ kỹ thuật
• Hướng dẫn xuất bản vẽ kỹ thuật
• Tìm hiểu bản vẽ kỹ thuật
• Kỹ thuật trồng hoa anh túc
• Trồng hoa anh túc
• Kỹ thuật trồng a phiến
• Kỹ thuật trồng thẩu
• Kỹ thuật trồng trẩu
• Kỹ thuật trồng cây nàng tiên
• Kỹ thuật nuôi gà chăn thả
• Hướng dẫn kỹ thuật nuôi
• Kỹ thuật nuôi
• Kỹ thuật nuôi ngan
• Kỹ thuật nuôi gà
• Kỹ thuật nuôi bồ câu Pháp
• Kỹ thuật nuôi đà điểu
• Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật
• Kỹ thuật cơ khí và cơ kỹ thuật
• Kỹ thuật cơ khí
• Cơ kỹ thuật
• Xây dựng mô hình cơ học
• Tính toán thiết kế thiết bị phát điện
• Năng lượng sóng biển
• Bài giảng Kỹ thuật truyền số liệu
• Kỹ thuật truyền số liệu
• Kỹ thuật mã hóa
• Kỹ thuật đồng bộ
• Kỹ thuật truy nhập đường truyền
• Kỹ thuật nén dữ liệu
• Đề thi học kỳ
• Kỹ thuật điện Điện tử
• Kỹ thuật điện
• Đề thi Kỹ thuật điện
• Bài tập Kỹ thuật điện
• Bài giảng Vẽ kỹ thuật cơ bản
• Vẽ kỹ thuật cơ bản
• Trình bày bản vẽ kỹ thuật
• Tiêu chuẩn trình bày bản vẽ kỹ thuật
• Ký hiệu bản vẽ kỹ thuật
• Hình vẽ đối xứng
• Quy tắc vẽ bản vẽ kỹ thuật
• Kỹ thuật ra quyết định kỹ sư
• Đề thi Kỹ thuật ra quyết định kỹ sư
• Ôn thi Kỹ thuật ra quyết định kỹ sư
• Bài tập Kỹ thuật ra quyết định kỹ sư
• Kỹ thuật ra quyết
• giáo án kỹ thuật lớp 4
• tài liệu kỹ thuật lớp 4
• bải giảng kỹ thuật lớp 4
• kỹ thuật lớp 4
• dạy kỹ thuật lớp 4
• Giáo trình kỹ thuật điện
• Tài liệu kỹ thuật điện
• Bải giảng kỹ thuật điện
• Chuyên đề kỹ thuật điện
• Hướng dẫn kỹ thuật điện
• Tài liệu về vẽ kỹ thuật
• Phương pháp vẽ kỹ thuật
• Vẽ kỹ thuật cơ khí
• Kỹ thuật lập trình C
• Bài tập kỹ thuật lập trình
• Tài liệu kỹ thuật lập trình
• Bài giảng kỹ thuật lập trình
• Ưng dụng kỹ thuật lập trình
• Chuyên ngành kỹ thuật lập trình
• Ngôn ngữ C
• Bản vẽ vẽ kỹ thuật
• Tài liệu vẽ kỹ thuật
• Ôn thi vẽ kỹ thuật
• Bài tập vẽ kỹ thuật
• Hướng dẫn vẽ kỹ thuật
• Giáo trình kỹ thuật điện tử
• Đề cương kỹ thuật điện tử
• Tài liệu kỹ thuật điện tử
• Bài tập kỹ thuật điện tử