TAILIEUCHUNG - Effect of reactive gas composition on properties of Si/LiNbO3 heterojunctions grown by radio-frequency magnetron sputtering

Amorphous lithium niobate (LiNbO3) films were deposited onto silicon substrates by the radiofrequency magnetron sputtering method in a pure Ar environment and an Ar þ O2 gas mixture with various oxygen contents. The oxide charge existing in as-grown films has two components: the positive Qox distributed in the bulk of a film and the negative Qox located at the film/substrate interface with a maximum magnitude corresponding to an Ar (80) O2 (20) gas mixture. |

TỪ KHÓA LIÊN QUAN
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
TAILIEUCHUNG - Chia sẻ tài liệu không giới hạn
Địa chỉ : 444 Hoang Hoa Tham, Hanoi, Viet Nam
Website : tailieuchung.com
Email : tailieuchung20@gmail.com
Tailieuchung.com là thư viện tài liệu trực tuyến, nơi chia sẽ trao đổi hàng triệu tài liệu như luận văn đồ án, sách, giáo trình, đề thi.
Chúng tôi không chịu trách nhiệm liên quan đến các vấn đề bản quyền nội dung tài liệu được thành viên tự nguyện đăng tải lên, nếu phát hiện thấy tài liệu xấu hoặc tài liệu có bản quyền xin hãy email cho chúng tôi.
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.