TAILIEUCHUNG - Báo cáo hóa học: " Defect Characterization in SiGe/SOI Epitaxial Semiconductors by Positron Annihilation"

Tuyển tập báo cáo các nghiên cứu khoa học quốc tế ngành hóa học dành cho các bạn yêu hóa học tham khảo đề tài: Defect Characterization in SiGe/SOI Epitaxial Semiconductors by Positron Annihilation | Nanoscale Res Lett 2010 5 1942-1947 DOI s11671-010-9818-4 SPECIAL ISSUE ARTICLE Defect Characterization in SiGe SOI Epitaxial Semiconductors by Positron Annihilation R. Ferragut A. Calloni A. Dupasquier G. Isella Received 2 July 2010 Accepted 22 September 2010 Published online 24 October 2010 The Author s 2010. This article is published with open access at Abstract The potential of positron annihilation spectroscopy PAS for defect characterization at the atomic scale in semiconductors has been demonstrated in thin multilayer structures of SiGe 50 nm grown on UTB ultra-thin body SOI silicon-on-insulator . A slow positron beam was used to probe the defect profile. The SiO2 Si interface in the UTB-SOI was well characterized and a good estimation of its depth has been obtained. The chemical analysis indicates that the interface does not contain defects but only strongly localized charged centers. In order to promote the relaxation the samples have been submitted to a post-growth annealing treatment in vacuum. After this treatment it was possible to observe the modifications of the defect structure of the relaxed film. Chemical analysis of the SiGe layers suggests a prevalent trapping site surrounded by germanium atoms presumably Si vacancies associated with misfit dislocations and threading dislocations in the SiGe films. Keywords Positron annihilation spectroscopy Ultrathin body films SiGe semiconductors Point defects Introduction Silicon-germanium SiGe has gained much attention in recent years thanks to its promising electrical and material properties. The complete solubility of the two elements enables band gap engineering and SiGe is relatively easy to integrate into silicon technology. There are however R. Ferragut A. Calloni A. Dupasquier G. Isella L-NESS Dipartimento di Fisica Politecnico di Milano via Anzani 42 22100 Como Italy e-mail still numerous issues regarding the electrical and material properties of .

Thiên Thanh 46 6 pdf

Upload

Bấm vào đây để xem trước nội dung

Tải xuống

TÀI LIỆU LIÊN QUAN

Báo cáo khoa học: " Áp dụng thủ tục phân tích trong kiểm toán báo cáo tài chính"

8 256 1

Báo cáo nghiên cứu khoa học: "Người lính trở về sau chiến tranh với mặc cảm “ăn mày dĩ vãng’ trong tiểu thuyết Chu Lai"

8 302 1

Báo cáo nghiên cứu khoa học: "Khảo sát hiện tượng chuyển đổi chức năng - nghĩa của động từ tiếng Việt"

8 235 0

Báo cáo nghiên cứu khoa học: "Tính năng động nghệ thuật của văn học hiện đại Việt Nam và một cách nhìn hành trình thể loại"

10 206 0

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " Dẫn liệu cập nhật về thành phần loài cây họ đậu (Fabaceae) tại Vườn Quốc gia Bạch Mã - Thừa Thiên Huế "

6 206 1

Báo cáo nghiên cứu khoa học: "Một số kết quả của việc bổ sung bột sắn vào khẩu phần ăn và khả năng tiêu hóa thức ăn, hiệu quả chăn nuôi ở bò Laisind"

8 238 0

Báo cáo nghiên cứu khoa học: "Nghiên cứu mật độ và thành phần thức ăn của một số loài ếch nhái trên đồng ruộng Sầm Sơn - Thanh Hoá"

6 210 0

Báo cáo nghiên cứu khoa học: "Một số phép toán trên hệ biểu diễn tri thức dựa theo triết lý tập thô.."

7 212 0

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " Liên hệ giữa không gian metric mờ với không gian Menger và không gian metric xác suất"

10 211 0

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " BẢN CHẤT KHOA HỌC VÀ CÁCH MẠNG LÀ CỘI NGUỒN SỨC SỐNG CỦA CHỦ NGHĨA MÁC - LÊNIN"

5 298 1

TÀI LIỆU XEM NHIỀU

Một Case Về Hematology (1)

8 462291 61

Giới thiệu :Lập trình mã nguồn mở

14 24914 79

Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh

13 11286 542

Câu hỏi và đáp án bài tập tình huống Quản trị học

14 10511 466

Phân tích và làm rõ ý kiến sau: “Bài thơ Tự tình II vừa nói lên bi kịch duyên phận vừa cho thấy khát vọng sống, khát vọng hạnh phúc của Hồ Xuân Hương”

3 9790 108

Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)

249 8876 1160

Tiểu luận: Nội dung tư tưởng Hồ Chí Minh về đạo đức

16 8467 426

Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB

8 8090 2279

Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)

152 7471 1763

Đề tài: Dự án kinh doanh thời trang quần áo nữ

17 7188 268

TỪ KHÓA LIÊN QUAN

TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG

ETHICAL CODE HANDBOOK: Demonstrate your commitment to high standards

7 140 1 26-11-2024

5 thói quen ăn uống hủy hoại hàm răng đẹp

5 160 1 26-11-2024

ĐỀ LUYỆN THI ĐẠI HỌC MÔN: TIẾNG ANH - SỐ 3

4 115 1 26-11-2024

Giáo trình môn cầu đường

26 130 2 26-11-2024

NHÀ MẠC – NAM BẮC TRIỀU (1527-1592)_1

6 117 1 26-11-2024

ĐỀ KIỂM TRA GIỮA HỌC KỲ TÂM LÝ Y HỌC – Y ĐỨC

18 238 0 26-11-2024

5 lý do khiến phụ nữ không thể giảm cân

6 136 0 26-11-2024

Tóc highlight cho mùa thu

7 120 0 26-11-2024

Giáo trình nghệ thuật thông tin part 1

14 141 0 26-11-2024

Luận văn: Nghiên cứu tổng hợp một số dẫn xuất Aryltetrazol có hoạt tính sinh học

86 104 2 26-11-2024

TÀI LIỆU HOT

Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB

8 8090 2279

Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)

152 7471 1763

Ebook Chào con ba mẹ đã sẵn sàng

112 4364 1369

Ebook Tuyển tập đề bài và bài văn nghị luận xã hội: Phần 1

62 6155 1258

Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)

249 8876 1160

Giáo trình Văn hóa kinh doanh - PGS.TS. Dương Thị Liễu

561 3789 680

Giáo trình Sinh lí học trẻ em: Phần 1 - TS Lê Thanh Vân

122 3909 609

Giáo trình Pháp luật đại cương: Phần 1 - NXB ĐH Sư Phạm

274 4617 562

Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh

13 11286 542

Bài tập nhóm quản lý dự án: Dự án xây dựng quán cafe

35 4454 490