Đang chuẩn bị nút TẢI XUỐNG, xin hãy chờ
Tải xuống
Bài báo trình bày công việc thiết kế và chế tạo hệ thống mini-robot (MRS) dùng để di chuyển micro-container thông qua cơ cấu thanh răng cóc và cơ cấu kích hoạt tĩnh điện kiểu răng lược (electrostatic comb actuator). Các mô đun của MRS có kích thước 6x6 mm2 được chế tạo bởi công nghệ Vi Cơ Điện tử (MEMS), có thể được lắp ghép để tạo thành một hệ vận tải hoàn chỉnh sử dụng cho nhiều mục đích khác nhau như hệ phân tích tổng hợp micro (m-TAS) để vận chuyển và phân loại các vật mẫu có kích thước micromét. Các. | Tạp chí Khoa học ĐHQGHN Khoa học Tự nhiên và Công nghệ 26 2010 83-88 Thiết kế và chế tạo hệ thống Mini-robot với các Micro-container dựa trên công nghệ Vi Cơ Điện tử MEMS Vũ Ngọc Hùng1 Đặng Bảo Lâm2 Phạm Hồng Phúc2 1 Viện ITIMS Đại học Bách Khoa Hà Nội 1 Đại Cồ Việt Hà Nội Việt Nam 2Viện Cơ Khí Đại học Bách Khoa Hà Nội 1 Đại Cồ Việt Hà Nội Việt Nam Nhận ngày 14 tháng 10 năm 2009 Tóm tắt. Bài báo trình bày công việc thiết kế và chế tạo hệ thống mini-robot MRS dùng để di chuyển micro-container thông qua cơ cấu thanh răng cóc và cơ cấu kích hoạt tĩnh điện kiểu răng lược electrostatic comb actuator . Các mô đun của MRS có kích thước 6x6 mm2 được chế tạo bởi công nghệ Vi Cơ Điện tử MEMS có thể được lắp ghép để tạo thành một hệ vận tải hoàn chỉnh sử dụng cho nhiều mục đích khác nhau như hệ phân tích tổng hợp micro m-TAS để vận chuyển và phân loại các vật mẫu có kích thước micromét. Các tính toán về lực trong hệ thống được tiến hành để xác định điện áp kích hoạt cần thiết. Trong phần thực nghiệm micro-container được kích hoạt thử nghiệm với dải tần số từ 1Hz đến 40Hz. Vận tốc đo được của micro-container hoàn toàn phù hợp với kết quả tính toán lý thuyết. Từ khóa MEMS cơ cấu kích hoạt tĩnh điện kiểu răng lược MRS. 1. Mở đầu Bài báo giới thiệu một hệ thống mini-robot MRS được sản xuất từ vật liệu silic dùng để dẫn động những container có kích thước micro theo những quỹ đạo định sẵn được cải tiến từ 1 2 . Các container với chiều rộng có thể thay đổi được dẫn động bởi cơ cấu kích hoạt kiểu tĩnh điện kích thước micro và hệ thống thanh răng cóc. Hệ thống dẫn động tương tự đã được đề cập lần đầu tiên tại phòng thí nghiệm quốc gia Sandia Hoa Kỳ 3 . Từ các môđun cơ bản là môđun đi thẳng quay vòng và chuyển hướng có thể lắp ghép xây dựng nhiều phương án khác nhau của hệ thống mini-robot bằng cách kết hợp các môđun cơ bản kể trên. Trước công trình nghiên cứu này cũng đã có những hệ Tác giả liên hệ. ĐT 84-4-38680101. E-mail phucph-fme@mail.hut.edu.vn thống dùng môtơ tuyến tính dạng .
