Đang chuẩn bị nút TẢI XUỐNG, xin hãy chờ
Tải xuống
Cảm biến màng mỏng WO3 được chế tạo thành công từ bia nguồn W sử dụng kết hợp phương pháp phún xạ phản ứng (reactive sputtering) kết hợp với kỹ thuật quang khắc (photolithography). Chiều dày màng mỏng, vi cấu trúc và hình thái bề mặt của vật liệu được khảo sát bằng thiết bị đo chiều dày màng mỏng (α-step), giản đồ nhiễu xạ tia X và kính hiển vi điện tử quét. | Nghiên cứu chế tạo cảm biến màng mỏng WO3 ứng dụng đo khí C2H5OH Tạp chí Khoa học và Công nghệ 133 (2019) 053-057 Nghiên cứu chế tạo cảm biến màng mỏng WO3 ứng dụng đo khí C2H5OH Research and Fabrication of WO3 thin film sensors for C2H5OH gas sensing application Nguyễn Văn Toán*, Nguyễn Văn Hiếu Trường Đại học Bách khoa Hà Nội – Số 1, Đại Cồ Việt, Hai Bà Trưng, Hà Nội Đến Tòa soạn: 20-3-2018; chấp nhận đăng: 20-3-2019 Asbstract Thin film of tungsten oxide was successfully fabricated from tungsten target by using reactive sputtering combining with lithoghraphy technology. The thickness, structure and morphology of the thin film were investigated by α-step, XRD and FE-SEM respectively. The gas sensing measurements of the WO3 thin film sensors indicated that these sensors have a high sensitivity and quick response to C2H5OH. With the simple research method (using only two masks), the results of this study have a lot of potential for applying to C2H5OH gas sensor. Keywords: WO3 thin film, Gas sensors, C2H5OH Tóm tắt Cảm biến màng mỏng WO3 được chế tạo thành công từ bia nguồn W sử dụng kết hợp phương pháp phún xạ phản ứng (reactive sputtering) kết hợp với kỹ thuật quang khắc (photolithography). Chiều dày màng mỏng, vi cấu trúc và hình thái bề mặt của vật liệu được khảo sát bằng thiết bị đo chiều dày màng mỏng (α-step), giản đồ nhiễu xạ tia X và kính hiển vi điện tử quét. Tính chất nhạy khí của cảm biến màng mỏng WO3 cho độ nhạy và độ đáp ứng nhanh với khí C2H5OH. Bằng phương pháp nghiên cứu đơn giản (chỉ sử dụng 2 mặt nạ (mask)), những kết quả nghiên cứu này có rất nhiều tiềm năng để ứng dụng chế tạo cảm biến đo khí C2H5OH. Keywords: Màng mỏng WO3, Cảm biến khí, C2H5OH 1. Giới thiệu hơn so với các thù hình khác. * Sự lạm dụng và sử dụng đồ uống có cồn của con Tuy nhiên sự ổn định về mặt công nghệ kém hơn người có xu hướng gia tăng trong xã hội hiện đại. Đây so với loại cảm biến sử dụng màng mỏng làm
