TAILIEUCHUNG - Đồng mô phỏng nhiệt - cơ cho cảm biến gia tốc ba chiều

Trong quy trình thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp điện trở thì việc xác định vị trí các áp điện trở cần dùng phân tích cơ trong ANSYS và các áp điện trở này kết nối thành ba mạch cầu Wheastone tương ứng sao cho khuếch đại tối đa tín hiệu mong muốn và giảm thiểu nhiễu pháp tuyến. Bài toán đồng mô phỏng giữa các trường nhiệt - cơ cũng cần được giải quyết cho phép đánh giá chính xác hơn hoạt động của cảm biến. . | Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Hl Tóm tắt Trong quy trình thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp điện trở thì việc xác định vị trí các áp điện trở cần dùng phân tích cơ trong ANSYS và các áp điện trở này kết nối thành ba mạch cầu Wheastone tương ứng sao cho khuếch đại tối đa tín hiệu mong muốn và giảm thiểu nhiễu pháp tuyến. Bài toán đồng mô phỏng giữa các trường nhiệt - cơ cũng cần được giải quyết cho phép đánh giá chính xác hơn hoạt động của cảm biến. Hình 1. Lưu đồ chương trình 1. GIỚI THIỆU mô phỏng Thập kỷ vừa qua công nghệ vi cơ điện tử MEMS đã đạt được những thành tựu đáng kể mà ở đó các linh kiện vi điện tử được tích hợp với các cấu trúc cơ kích thước rất nhỏ. Trong các loại linh kiện MEMS thì vi cảm biến gia tốc được sử dụng rất rộng rãi chỉ sau cảm biến áp suất. Yêu cầu hiện nay với các cảm biến gia tốc là phải có đáp ứng tuyến tính và tỷ số tín hiệu trên tạp phải lớn. Cảm biến gia tốc kiểu áp điện trở tuy có nhược điểm là chịu ảnh hưởng bởi nhiệt độ nhưng lại có những ưu điểm vượt trội như đáp ứng điện một chiều tốt mạch điện đơn giản độ nhạy và độ tin cậy cao. Hơn nữa công nghệ chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở lại rẻ và cho phép chế tạo các cảm biến với nhiều bậc tự do. 2. THIẾT LẬP Cảm biến gia tốc kiểu áp trở là loại cảm biến vòng hở tiêu biểu được chế tạo trên cơ sở vật liệu silic. Sử dụng vật liệu silic ngoài tận dụng được tính chất cơ rất tốt thì hiệu ứng .

• Tự động hoá
• Đồng mô phỏng nhiệ
• hệ thống cảm biến
• vi điện tử
• kỹ thuật cảm biến
• hệ thống cảm biến
• thiết kế hệ thống cảm biến
• hệ thống cảm biến khí
• cảm biến không dây
• Cảm biến nhiệt độ
• điều khiển thiết bị điện từ xa
• tự dộng hóa
• sơ đồ mạch cảm biến
• Cảm biến dịch chuyển
• Cảm biến điện dung
• Cảm biến sinh học
• Mạng cảm biến Nhúng
• Mạng cảm biến
• cảm biến trong y học
• Cảm biến áp suất MEMS silicon
• Cảm biến áp suất
• Cảm biến màu
• Cảm biến siêu âm nhúng
• Cảm biến sợi quang
• Cảm biến vị trí
• Cảm biến
• cảm biến số
• các loại cảm biến
• cảm biến thay thế
• cảm ứng điện thế
• Hệ thống siêu âm ba chiều