TAILIEUCHUNG - Bài thuyết trình: Các phương pháp chế tạo màng

Bài thuyết trình "Các phương pháp chế tạo màng" cung cấp cho các bạn những kiến thức về phương pháp ngưng tụ vật lý, phương pháp ngưng tụ hóa học, phương pháp bốc bay chân không, phương pháp phún xạ. Với các bạn chuyên ngành Hóa học thì đây là tài liệu tham khảo hữu ích. | TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN BỘ MÔN VẬT LÝ ỨNG DỤNG GVHD: TS. Lê Vũ Tuấn Hùng HVTH: Phan Trung Vĩnh QUANG HỌC ỨNG DỤNG CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO Phương pháp ngưng tụ vật lý (PVD) Phương pháp ngưng tụ hóa học (CVD) CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG Physical Vapor Deposition Chemical Vapor Deposition Với một tác nhân cung cấp năng lượng, vật liệu cần phủ màng bị hóa hơi. Các hạt vật liệu di chuyển Các phản ứng hình thành hợp chất (nếu có), xảy ra trên đường đi Các hạt vật liệu ngưng tụ trên đế → Màng Với một tác nhân cung cấp năng lượng, vật liệu cần phủ màng bị hóa hơi. Các hạt vật liệu di chuyển Một chất khí được đưa vào (precursor) Các hạt vật liệu ngưng tụ trên đế, phản ứng với chất khí → Hợp chất → Màng Tđế < 5000C Tđế ≈ 900 – 12000C Phương pháp bốc bay chân không Phương pháp phún xạ HAI PHƯƠNG PHÁP PVD PHỔ BIẾN 1. Phương pháp bốc bay chân không (Evaporation) Phương pháp bốc bay trực tiếp Thermal Evaporation: Bốc bay nhiệt Phương pháp bốc bay gián tiếp Bốc bay nhiệt điện trở Bốc bay bằng chùm điện tử Bay hơi phản ứng (RE) Mạ ion Electron-beam Evaporation: Bốc bay bằng chùm điện tử Ion Plating: Mạ ion Không kích hoạt Có kích hoạt (ARE) Reacting Evaporation: Bay hơi phản ứng Activated Reactive Evaporation: có kích hoạt Phương pháp bốc bay trực tiếp BỐC BAY NHIỆT ĐIỆN TRỞ Nguyên tắc chung Vật liệu (rắn, lỏng, bột) được cung cấp E → hóa hơi Hơi vật liệu bốc lên phía trên Cuối cùng, hơi vật liệu ngưng tụ trên đế, phân bố và kết tinh Nhiệt Chùm e Laser Hồ quang Tác nhân hóa hơi là nguồn nhiệt, mẫu được giữ bằng điện trở BỐC BAY BẰNG CHÙM e Tác nhân hóa hơi là chùm e có động năng lớn BỐC BAY NHIỆT ĐIỆN TRỞ Một hệ bốc bay chân không gồm 4 bộ phận chính: Hệ bơm chân không Buồng chân không Nguồn nhiệt Hệ giữ & điều chỉnh Tđế Mẫu được giữ bằng “giá điện trở”, được đốt nóng đến hóa hơi bằng dòng điện theo ĐL Joule-Lenz: Sơ đồ một hệ bốc bay chân không đơn giản Các loại “giá điện trở”: dây (a-d), thuyền (e-g) và chén (h) Nhiệt

TỪ KHÓA LIÊN QUAN
TAILIEUCHUNG - Chia sẻ tài liệu không giới hạn
Địa chỉ : 444 Hoang Hoa Tham, Hanoi, Viet Nam
Website : tailieuchung.com
Email : tailieuchung20@gmail.com
Tailieuchung.com là thư viện tài liệu trực tuyến, nơi chia sẽ trao đổi hàng triệu tài liệu như luận văn đồ án, sách, giáo trình, đề thi.
Chúng tôi không chịu trách nhiệm liên quan đến các vấn đề bản quyền nội dung tài liệu được thành viên tự nguyện đăng tải lên, nếu phát hiện thấy tài liệu xấu hoặc tài liệu có bản quyền xin hãy email cho chúng tôi.
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.