TAILIEUCHUNG - Mô phỏng cảm biến gia tốc áp điện trở ba bậc tự do

Trong bài báo này, cấu trúc cơ và các đặc trưng cơ bản của cảm biến gia tốc kiểu áp điện trở ba bậc tự do sẽ được trình bày. Ở đây, hoạt động của cảm biến sẽ được mô phỏng bằng phương pháp phần tử hữu hạn (finite element method - FEM) thông qua phần mềm tính toán ứng dụng của phương pháp này là ANSYS. | TẠP CHÍ KHOA HỌC CÔNG NGHỆ CÁC TRƯỜNG ĐẠI HỌC KỸ THUẬT SỐ 70 - 2009 MÔ PHỎNG CẢM BIẾN GIA TỐC ÁP ĐIỆN TRỞ BA BẬC TỰ do SIMULATION OF 3-DOF PIEZORESISTIVE ACCELERATION SENSOR Vũ Ngọc Hùng Nguyễn Văn Minh Lê Văn Minh Trịnh Quang Thông Trường Đại học Bách khoa Hà Nội TÓM TẮT Bài báo trình bày kết quả nghiên cứu về mô hình hóa và mô phỏng các ứng xử cơ học và đặc trưng lối ra của cảm biến gia tốc áp điện trở ba bậc tự do kích thước 1x1 mm2 trên cơ sở phương pháp phân tích phần tử hữu hạn FEA sử dụng phần mềm ANSYS. Phần tử SOLID 226 đã được sử dụng để mô hình hóa bài toán kết hợp hai trường cơ điện của cảm biến áp điện trở. Phân bố ứng suất dọc theo các thanh dầm nhạy cơ đã được phân tích và được sử dụng để xác đính vị trí các áp điện trở. Tần số dao động riêng của cảm biến tính toán được theo các phương x y và là 600110 Hz 600110 Hz và 46494 Hz. Độ nhạy của cảm biến tỷ lệ thuận với khối lượng khối gia trọng và tỷ lệ nghịch với chiều rộng và chiều dày thanh dầm treo. Đối với cảm biến gia tốc có thanh dầm kích thước 340 pm x 60 pm x 10 pm độ nhạy theo phương x y và z đạt giá trị tương ứng là pV g 43 pV g và pV g. Các kết quả tính toán sẽ là cơ sở để thực hiện các nghiên cứu về thiết kế và chế tạo loại cảm biến này. ABSTRACT This paper presents the modeling and simulation results of the mechanical behaviour and output characteristics of a three degree of freedom 3-DOF piezoresistive accelerometer with outer size of 1 x 1 mm2 based on the finite element method FEM using ANSYS software. The SOLID 226 element is used for coupled-field analysis of piezoresistive sensor. The stress distributions along the mechanicasl sensitive beams have been analyzed. The obtained results of this analysis were used to determine the location of piezoresistors. Corresponding to three space directions . x y and z the natural frequencies are 600110 Hz 600110 Hz and 46494 Hz respectively. The sensor sensitivity increases with decreasing the thickness and width of the sensing beam. .

• Điện - Điện tử
• Cảm biến gia tốc
• Điện trở ba bậc tự do
• Mô phỏng cảm biến gia tốc
• Mô hình cảm biến
• Phân tích mode
• Phân tích ứng suất
• Cảm biến gia tốc MEMS
• Chế tạo cảm biến gia tốc
• Thiết kế cảm biến gia tốc
• Đặc trưng của cảm biến
• Nguyên lý biến đổi gia tốc
• Bài giảng Đo lường
• Bài giảng Cảm biến
• Tài liệu cảm biến
• Cảm biến vận tốc điện từ
• Máy phát tốc
• Cảm biến đo vận tốc
• Máy đo góc tuyệt đối
• Cảm biến rung và gia tốc
• Cảm biến đo tốc độ rung
• Gia tốc kế áp điện
• cảm biến công nghiệp
• giáo trình cảm biến công nghiệp
• bài giảng cảm biến công nghiệp
• tài liệu cảm biến công nghiệp
• đề cương cảm biến công nghiệp
• lý thuyết cảm biến công nghiệp
• Tóm tắt luận án Tiến sĩ
• Thiết kế chế tạo vi cảm biến
• Vi cảm biến vận tốc góc âm thoa
• Cảm biến gia tốc kiểu tụ
• Môi trường áp suất khí quyển
• Cảm biến đo quang
• đo nhiệt độ
• mức chất lưu
• Cảm biến đo áp suất
• Cảm biến đo lực
• biến dạng vật liệu
• Giáo trình cảm biến
• Giáo trình nghê điện
• Cảm biến vận tốc
• Nguyên lý đo áp suất
• Cảm biến đo biến dạng
• đo lường cảm biến
• nguyên lý đo cảm biến
• tốc độ kế điện từ
• trở biến thiên
• Cấu trúc mới cảm biến gia tốc áp điện
• Hệ thống điện
• Cảm biến gia tốc áp điện
• Phần mềm ANSYS
• Công nghệ vi cơ điện tử
• Vi hệ thống
• Câu hỏi trắc nghiệm đo lường cảm biến
• Đo lường gia tốc
• Đơn vị đo lường
• Cảm biến đo
• Cảm biến đo gia tốc
• Cảm biến đo rung
• chấn động
• rung động
• cảm biến gia tốc áp trở
• ứng dụng cho cảm biến
• Tạp chí khoa học
• Phân tích phổ tần số dao động
• Cảm biến đo gia tốc dao động
• Cảm biến đo chuyển vị LVDT
• Tín hiệu cảm biến gia tốc
• Đạo hàm số tín hiệu chuyển vị
• Bài giảng Đo lường và cảm biến
• Đo lường và cảm biến
• Cảm biến nhiệt
• Cảm biến quang
• Cảm biến vận tốc gia tốc
• Kỹ thuật cảm biến đo lường
• Kỹ thuật cảm biến vận tốc
• Kỹ thuật cảm biến gia tốc
• Kỹ thuật cảm biến lực
• Kỹ thuật cảm biến áp suất
• Cảm biến gyro
• Bộ lọc Kalman
• Cảm biến con quay hồi chuyển
• Hệ thống vi cơ điện tử
• Đo vận tốc
• Đo gia tốc và độ rung
• Truyền thông không dây
• Giám sát hoạt động gia súc
• Hệ thống truyền không dây
• Cảm biến gia tốc 3 trục
• Bài giảng Cơ cấu cảm biến
• Tài liệu Cơ cấu cảm biến
• Cảm biến vị trí
• Cảm biến lượng dịch chuyển
• Đo gia tốc
• Đo lường vận tốc
• Đo lường điện
• Cảm biến điện
• Đồ án Kỹ thuật điện tử
• Khảo sát cảm biến gia tốc
• Kỹ thuật điện tử
• Đồ án điện tử
• Vi điều khiển MSP430G2452
• Bài giảng Phần tử tự động
• Phần tử tự động
• Phần tử khuếch đại
• Cấu tạo cảm biến gia tốc
• Hoạt động cảm biến gia tốc