TAILIEUCHUNG - Micromachining Techniques for Fabrication of Micro and Nano Structures Part 15

Tham khảo tài liệu 'micromachining techniques for fabrication of micro and nano structures part 15', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | Integrated MEMS Opportunities Challenges 269 Transducer Circuit IC metals dielectric substrate Fig. 21. Micromachining integrated into a CMOS process One of the limitations of post-processing is the thermal budget. In particular if aluminium is used for metallization the maximum temperature that can be used is about 400oC. An alternative is to use another metal. Figure 22 shows an example where tungsten is used as the metal Bustillo 1994 . Fig. 22. Post processing micromachining using Tungsten metallisation for the electronics. Alternatively low temperature deposition materials such as PECVD layers can be used. One PECVD layer with good mechanical properties is SiC Pakula 2004 . With these low temperatures layers such as polyimides Bagolini 2002 can be used as sacrificial layer. System-in-a-package In the development of IC the packaging options were wire bonding in a package. This is still used today but there are many other options. In many applications the best option is to combine the sensors and the electronics in a single package but not on a single chip. In this case the sensor can be optimised without compromising the electronics. Furthermore the larger production volume of the electronics chip can help to keep costs down. An example of this is given in Figure 23. 270 Micromachining Techniques for Fabrication of Micro and Nano Structures Fig. 23. Tyre Pressure Sensing System developed by LV Sensors integrated ASIC pressure sensor and 2-axis acceleration sensor reproduced with kind permission Janusz Bryzek . The package can then be built into a complete system as shown in Figure 24. Fig. 24. Complete system fitted with the valve and a wireless communication system reproduced with kind permission Janusz Bryzek . Integrated sensor One of the problems in developing a simple electronic compass based on the Hall effect was the offset. This was solved by the development of the Spinning Hall plate Munter 1990 Bellakom 1994 . This technique can reduce the .

• Cơ khí - Chế tạo máy
• cơ khí chế tạo máy
• hướng dẫn cơ khí
• tài liệu cơ khí
• ôn thi cơ khí
• sổ tay cơ khí
• Ngành Công nghệ chế tạo máy
• Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
• Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
• Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
• Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
• Hệ thống cơ khí chế tạo máy
• Đề thi học kỳ
• Công nghệ chế tạo máy
• Đề thi Công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Công nghệ chế tạo máy
• Cơ khí máy
• Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• động cơ đốt trong
• gia công cơ khí
• giáo trình công nghệ chế tạo máy
• vẽ kỹ thuật cơ khí
• sổ tay thiết kế cơ khí
• công nghệ cơ khí
• đồ án công nghệ
• chế tạo máy
• tính lượng dư gia công
• thiết kế đồ gá
• gia công vật liệu
• cơ khí động lực
• chế tạo nhanh
• cơ khí chế tạo
• kỹ thuật cơ khí
• công nghệ chế tạo
• cơ kỹ thuật
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• khí thải ô tô
• Chế tạo ống xả sạch
• xử lý ô nhiễm trên ô tô
• Cơ khí ô tô
• ô nhiễm môi trường
• bộ lọc khí xả
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
• Đồ án cơ khí chế tạo máy
• Đồ án công nghệ chế tạo máy
• Đồ án chế tạo máy
• Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
• Đề tài chế tạo máy CNC
• cơ cấu phân phối khí
• phương pháp hàn
• công nghiệp tàu thủy
• Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
• Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
• Quá trình sản xuất cơ khí
• máy tiện ren vít vạn năng
• tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
• tài liệu môn cơ khí chế tạo
• cách vẽ môn cơ khí chế tạo
• học môn cơ khí chế tạo
• Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Thiết kế đồ án chế tạo máy
• Kỹ thuật chế tạo máy
• Gia công chế tạo máy
• Chi tiết máy
• Inventor
• Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
• Sổ tay công nghệ chế tạo máy
• Sử dụng rôbốt công nghiệp
• chuyên đề tốt nghiệp
• báo cáo thực tập
• đồ án kỹ thuật
• kỹ thuật xây dựng
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Ngành Cơ khí chế tạo
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt
• công nghệ chế tạo phụ tùng
• bài giảng môn cơ khí
• tài liệu môn chế tạo máy
• kiến thức về chế tạo máy
• cơ khí giao thông
• công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp