TAILIEUCHUNG - báo cáo hóa học: " Fabrication of flexible UV nanoimprint mold with fluorinated polymer-coated PET film"

Tuyển tập báo cáo các nghiên cứu khoa học quốc tế ngành hóa học dành cho các bạn yêu hóa học tham khảo đề tài: Fabrication of flexible UV nanoimprint mold with fluorinated polymer-coated PET film | Shin et al. Nanoscale Research Letters 2011 6 458 http content 6 1 458 o Nanoscale Research Letters a SpringerOpen Journal NANO EXPRESS Open Access Fabrication of flexible UV nanoimprint mold with fluorinated polymer-coated PET film Ju-Hyeon Shin1 Seong-Hwan Lee1 Kyeong-Jae Byeon1 Kang-Soo Han1 Heon Lee1 and Kentaro Tsunozaki2 Abstract UV curing nanoimprint lithography is one of the most promising techniques for the fabrication of micro- to nanosized patterns on various substrates with high throughput and a low production cost. The UV nanoimprint process requires a transparent template with micro- to nano-sized surface protrusions having a low surface energy and good flexibility. Therefore the development of low-cost transparent and flexible templates is essential. In this study a flexible polyethylene terephthalate PET film coated with a fluorinated polymer material was used as an imprinting mold. Micro- and nano-sized surface protrusion patterns were formed on the fluorinated polymer layer by the hot embossing process from a Si master template. Then the replicated pattern of the fluorinated polymer coated on the flexible PET film was used as a template for the UV nanoimprint process without any anti-stiction coating process. In this way the micro- to nano-sized patterns of the original master Si template were replicated on various substrates including a flat Si substrate and curved acryl substrate with high fidelity using UV nanoimprint lithography. Introduction In order to form micro- to nano-sized patterns various lithographic technologies have been used such as DUV photolithography 1 e-beam lithography 2 3 X-ray lithography 4 5 laser holographic lithography 6 nanosphere lithography 7 scanning probe microscopy lithography 8 and so on. Except for DUV photolithography these conventional lithography technologies require either a complicated patterning system with a high process cost or offer limited throughput and thus are not suitable for

• Báo cáo khoa học
• báo cáo khoa học
• báo cáo hóa học
• công trình nghiên cứu về hóa học
• tài liệu về hóa học
• cách trình bày báo cáo
• trình bày báo cáo
• tài liệu báo cáo khoa học
• cách trình bày báo cáo khoa học
• báo cáo khoa học sinh học
• báo cáo khoa học toán học
• luận văn mẫu
• người lính việt nam
• sau chiến tranh
• tuyển tập báo cáo khoa học
• báo cáo ngành triết học
• báo cáo ngành lịch sử
• báo cáo ngành văn học
• nghiên cứu khoa học
• báo cáo về văn học
• báo cáo triết học
• báo cáo văn học
• chuyên đề văn học
• văn học nghệ thuật
• văn học Việt NAm
• báo cáo ngành toán học
• báo cáo ngành vật lý
• báo cáo ngành chăn nuôi
• văn học Trung Hoa
• báo cáo khoa học kinh tế
• Kỷ yếu tóm tắt báo cáo khoa học
• Báo cáo khoa học y học
• Báo cáo y học
• Hội nghị khoa học tim mạch
• Báo cáo khoa học y khoa
• Tăng huyết áp
• báo cáo sinh học
• bảo tồn nguồn gen
• báo cáo ngành kỹ thuật
• Báo cáo quản lý chất thải sinh hoạt
• Báo cáo khoa học môi trường
• Báo cáo khoa học công nghệ
• Nghiên cứu khoa học về môi trường
• Đề tài nghiên cứu khoa học
• Báo cáo nghiên cứu khoa học