TAILIEUCHUNG - Acoustic Waves Part 11

Tham khảo tài liệu 'acoustic waves part 11', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | Aluminium Nitride thin Film Acoustic Wave Device for Microfluidic and Biosensing Applications 289 Another popular method to use FBAR devices in liquid solution is to use lateral field excitation LFE of the piezoelectric layer. This requires both signal and ground electrodes being in-plane and parallel on the exposed surface of the AlN film as can be seen by comparing the conventional longitudinal FBAR electrode design and LFE FBAR design in Fig. 18 . A laterally excited AlN thickness shear mode resonator is extremely simple to fabricate and highly sensitive to surface perturbations. The resonator configuration consists of a laterally excited solidly mounted AlN thin film resonator and the device has been reported to operate stably in biologically equivalent environments such as NaCl in deionized water Dickherber et al 2008 Corso et al 2007 2008 . A -J E 1 Longitudinal T Wave E Shear Wave a b Fig. 18. Comparison of a the conventional longitudinal FBAR electrode design and b LFE FBAR design Xu et al 2010 have proposed a new FBAR of high quality factors Qs operating in liquid media. The FBAR is made of a suspended circular shaped AlN ring sandwiched between the top and bottom Au electrodes which can be excited in a contour mode Fig. 19 . By exciting in its radial-extensional mode the resonator experiences the shear viscous damping instead of the squeeze damping which significantly alleviates the acoustic energy dissipated in the contacting liquid. By having a low motional resistance or coupling with liquids the contour mode FBAR achieved Qs up to 189 which is more than 13-19 times than conventional FBAR device in liquids and the resonator was used to test an aptamer thrombin binding pair with a mass resolution of ng cm2 Xu et al 2010 . Fig. 19. Schematic figure of the contour-mode AlN FBAR biosensor contacting with a liquid droplet Xu et al 2010 290 Acoustic Waves Although FBAR based biosensor exhibit a high sensitivity and good resolution there are some issues .

TỪ KHÓA LIÊN QUAN
TAILIEUCHUNG - Chia sẻ tài liệu không giới hạn
Địa chỉ : 444 Hoang Hoa Tham, Hanoi, Viet Nam
Website : tailieuchung.com
Email : tailieuchung20@gmail.com
Tailieuchung.com là thư viện tài liệu trực tuyến, nơi chia sẽ trao đổi hàng triệu tài liệu như luận văn đồ án, sách, giáo trình, đề thi.
Chúng tôi không chịu trách nhiệm liên quan đến các vấn đề bản quyền nội dung tài liệu được thành viên tự nguyện đăng tải lên, nếu phát hiện thấy tài liệu xấu hoặc tài liệu có bản quyền xin hãy email cho chúng tôi.
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.