TAILIEUCHUNG - Báo cáo hóa học: " STEM nanoanalysis of Au/Pt/Ti-Si3N4 interfacial defects and reactions during local stress of SiGe HBTs"

Tuyển tập các báo cáo nghiên cứu về hóa học được đăng trên tạp chí hóa hoc quốc tế đề tài : STEM nanoanalysis of Au/Pt/Ti-Si3N4 interfacial defects and reactions during local stress of SiGe HBTs | Alaeddine et al. Nanoscale Research Letters 2011 6 574 http content 6 1 574 o Nanoscale Research Letters a SpringerOpen Journal NANO EXPRESS Open Access STEM nanoanalysis of Au Pt Ti-Si3N4 interfacial defects and reactions during local stress of SiGe HBTs Ali Alaeddine f Cécile Genevois1 Laurence Chevalier and Kaouther Daoudt Abstract A new insight on the behavior of metal contact-insulating interfaces in SiGe heterojunction bipolar transistor is given by high-performance aberration-corrected scanning transmission electron microscopy STEM analysis tools equipped with sub-nanometric probe size. It is demonstrated that the presence of initial defects introduced during technological processes play a major role in the acceleration of degradation mechanisms of the structure during stress. A combination of energy-filtered transmission electron microscopy analysis with high angle annular dark field STEM and energy dispersive spectroscopy provides strong evidence that migration of Au-Pt from the metal contacts to Ti Si3N4 interface is one of the precursors to species interdiffusion and reactions. High current densities and related local heating effects induce the evolution of the pure Ti initial layer into mixture layer composed of Ti O and N. Local contamination of Ti layers by fluorine atoms is also pointed out as well as rupture of TiN thin barrier layer. Keywords HBT STEM-HAADF EDS EFTEM failure reliability Introduction The metal contact structures are important parts of the transistors in term of device performances with the current losses and signal time delays. It needs to have optimal properties with high contact conductivity and thermo-dynamical stability to prevent contact degradation 1 . The demands for material failure analyses using high-resolution transmission electron microscopy are rapidly increasing to detect smaller defects and perform their chemical element analysis. The Ti Pt Au metal system continues to hold a place of choice .

Trọng Kiên 62 11 pdf

Upload

Bấm vào đây để xem trước nội dung

Tải xuống

TÀI LIỆU LIÊN QUAN

Báo cáo khoa học: " Áp dụng thủ tục phân tích trong kiểm toán báo cáo tài chính"

8 256 1

Báo cáo nghiên cứu khoa học: "Người lính trở về sau chiến tranh với mặc cảm “ăn mày dĩ vãng’ trong tiểu thuyết Chu Lai"

8 302 1

Báo cáo nghiên cứu khoa học: "Khảo sát hiện tượng chuyển đổi chức năng - nghĩa của động từ tiếng Việt"

8 235 0

Báo cáo nghiên cứu khoa học: "Tính năng động nghệ thuật của văn học hiện đại Việt Nam và một cách nhìn hành trình thể loại"

10 206 0

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " Dẫn liệu cập nhật về thành phần loài cây họ đậu (Fabaceae) tại Vườn Quốc gia Bạch Mã - Thừa Thiên Huế "

6 206 1

Báo cáo nghiên cứu khoa học: "Một số kết quả của việc bổ sung bột sắn vào khẩu phần ăn và khả năng tiêu hóa thức ăn, hiệu quả chăn nuôi ở bò Laisind"

8 238 0

Báo cáo nghiên cứu khoa học: "Nghiên cứu mật độ và thành phần thức ăn của một số loài ếch nhái trên đồng ruộng Sầm Sơn - Thanh Hoá"

6 210 0

Báo cáo nghiên cứu khoa học: "Một số phép toán trên hệ biểu diễn tri thức dựa theo triết lý tập thô.."

7 212 0

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " Liên hệ giữa không gian metric mờ với không gian Menger và không gian metric xác suất"

10 211 0

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " BẢN CHẤT KHOA HỌC VÀ CÁCH MẠNG LÀ CỘI NGUỒN SỨC SỐNG CỦA CHỦ NGHĨA MÁC - LÊNIN"

5 298 1

TÀI LIỆU XEM NHIỀU

Một Case Về Hematology (1)

8 461860 55

Giới thiệu :Lập trình mã nguồn mở

14 22617 59

Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh

13 10883 529

Câu hỏi và đáp án bài tập tình huống Quản trị học

14 10061 446

Phân tích và làm rõ ý kiến sau: “Bài thơ Tự tình II vừa nói lên bi kịch duyên phận vừa cho thấy khát vọng sống, khát vọng hạnh phúc của Hồ Xuân Hương”

3 9516 104

Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)

249 8275 1125

Tiểu luận: Nội dung tư tưởng Hồ Chí Minh về đạo đức

16 8226 423

Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB

8 7863 2220

Đề tài: Dự án kinh doanh thời trang quần áo nữ

17 6671 253

Vật lý hạt cơ bản (1)

29 5767 85

TỪ KHÓA LIÊN QUAN

TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG

Động cơ đốt trong và máy kéo công nghiêp tập 1 part 7

23 258 0 25-04-2024

Mass Transfer in Multiphase Systems and its Applications Part 19

40 255 1 25-04-2024

Bibliography on Medieval Women, Gender, and Medicine 1980-2009

82 207 0 25-04-2024

Trading Strategies Profit Making Techniques For Stock_3

23 183 0 25-04-2024

Management and Services Part 1

10 156 0 25-04-2024

MySQL Basics for Visual Learners PHẦN 9

15 183 0 25-04-2024

Posted prices versus bargaining in markets_7

23 155 0 25-04-2024

báo cáo hóa học:" Endoscopic decompression for intraforaminal and extraforaminal nerve root compression"

7 107 0 25-04-2024

Báo cáo tốt nghiệp: Vận hành và bảo dưỡng trong MPLS

92 143 3 25-04-2024

XỬ TRÍ CHẤN THƯƠNG SỌ NÃO KÍN

1 113 1 25-04-2024

TÀI LIỆU HOT

Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB

8 7863 2220

Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)

152 5699 1356

Ebook Chào con ba mẹ đã sẵn sàng

112 3764 1231

Ebook Tuyển tập đề bài và bài văn nghị luận xã hội: Phần 1

62 5315 1136

Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)

249 8275 1125

Giáo trình Văn hóa kinh doanh - PGS.TS. Dương Thị Liễu

561 3493 642

Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh

13 10883 529

Giáo trình Sinh lí học trẻ em: Phần 1 - TS Lê Thanh Vân

122 3680 525

Giáo trình Pháp luật đại cương: Phần 1 - NXB ĐH Sư Phạm

274 4042 514

Bài tập nhóm quản lý dự án: Dự án xây dựng quán cafe

35 4123 480