Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Sức khỏe - Y tế
Văn bản luật
Nông Lâm Ngư
Kỹ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Tài liệu HOT
Tìm
Danh mục
Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Y tế sức khỏe
Văn bản luật
Nông lâm ngư
Kĩ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Thông tin
Điều khoản sử dụng
Quy định bảo mật
Quy chế hoạt động
Chính sách bản quyền
0
Trang chủ
Khoa Học Tự Nhiên
Sinh học
Cấy ion
TAILIEUCHUNG - Cấy ion
Những ưu điểm của phương pháp cấy ion Điều khiển chính xác liều lượng và phân bố theo chiều sâu của tạp chất Có một phổ rộng để lựa chọn các vật liệu làm mặt nạ như ô xyt, chất cảm quang, poly-Si, Si3H4, kim loại, Không bị ảnh hưởng nhiều từ các công đoạn làm sạch bề mặt phiến. Có độ đồng đều rất lý tưởng liều chiếu xạ theo chiều ngang – ví dụ, liều chiếu xạ, hay lượng tạp chất, chỉ thay đổi cỡ 1 % trên suốt đường kính của phiến Si 8” (20,32 cm) | Cấy ion Lê Tuấn Đại học Bách khoa Hà Nội Cấy ion - Những ưu điểm của phương pháp cấy ion Điều khiển chính xác liều lượng và phân bố theo chiều sâu của tạp chất Có một phổ rộng để lựa chọn các vật liệu làm mặt nạ như ô xyt chất cảm quang poly-Si Si3H4 kim loại . Không bị ảnh hưởng nhiều từ các công đoạn làm sạch bề mặt phiến Có độ đồng đều rất lý tưởng liều chiếu xạ theo chiều ngang - ví dụ liều chiếu xạ hay lượng tạp chất chỉ thay đổi cỡ 1 trên suốt đường kính của phiến Si 8 20 32 cm . Có thể cấy ion qua lớp oxit hay các mặt nạ mỏng khác. Quá trình cấy ion và ủ mẫu sau đó thực hiện ở nhiệt độ thấp hơn thời gian ngắn hơn so với công đoạn khuếch tán. Do đó cấy ion ít làm sai lệch phân bố tạp chất trong phiến bán dẫn được tạo ra trong các công đoạn trước đó nếu so sánh với công đoạn khuếch tán. Để tranh khuếch tán có thể ủ nhanh bằng tia laser hay bức xạ hồng ngoại. Nhược điểm Gây sai hỏng lớn tại bề mặt mẫu do sự bắn phá của chùm ion. Thiết bị đắt tiền cồng kềnh đòi hỏi các phục vụ phụ trợ phức tạp. 1 15 2006 Đại học Bách khoa Hà Nội 2 Cấy ion tiếp - Thiết bị cấy ion Phân tách các ion và hướng ion tạp cần thiết tới đích bằng từ trường và khối lượng ion. Một số thông số đặc trưng Giá thành 3 - 4 triệu USD Điện thế tăng tốc 0 - 200 kV Công suất khoảng 60 phiến giờ Liều lượng 1011 - 1016 cm-2 Độ chính xác điều chỉnh liều lượng 0 5 Độ đồng đều 1 trên phiến 8 20 32 cm Kích thước phiến lớn nhất hiện nay 300 mm 1 15 2006 Đại học Bách khoa Hà Nội
Bảo Phương
54
26
pdf
Báo lỗi
Trùng lắp nội dung
Văn hóa đồi trụy
Phản động
Bản quyền
File lỗi
Khác
Upload
Tải xuống
đang nạp các trang xem trước
Không thể tạo bản xem trước, hãy bấm tải xuống
Tải xuống
TÀI LIỆU LIÊN QUAN
Nhân giống vô tính gừng bằng phương pháp nuôi cấy mô
21
148
1
Bài giảng thực hành nuôi cấy mô thực vật
39
83
1
Nghiên cứu kỹ thuật nhân nhanh giống chuối Laba bằng phương pháp nuôi cấy mô và kỹ thuật chăm sóc cây con ngoài vườn ươm
44
126
1
Bài giảng Các phương pháp nuôi cấy tế bào: Bài 1 - ThS. Nguyễn Thành Luân
24
153
2
Giáo trình cấy mô
27
42
0
Nuôi cấy tế bào thực vật
32
114
0
Ebook Nuôi cấy mô tế bào thực vật (Cơ sở lý luận và ứng dụng) - ĐH Nông lâm Thái Nguyên
296
265
24
Bài thuyết trình: Nuôi cấy huyền phù tế bào
72
119
9
Cấy chỉ vào huyệt châm cứu: Phần 2
115
46
2
Bài giảng Các phương pháp nuôi cấy tế bào: Chương 2 - ThS. Nguyễn Thành Luân
13
110
0
TÀI LIỆU XEM NHIỀU
Một Case Về Hematology (1)
8
461737
55
Giới thiệu :Lập trình mã nguồn mở
14
22060
54
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
10737
524
Câu hỏi và đáp án bài tập tình huống Quản trị học
14
9928
445
Phân tích và làm rõ ý kiến sau: “Bài thơ Tự tình II vừa nói lên bi kịch duyên phận vừa cho thấy khát vọng sống, khát vọng hạnh phúc của Hồ Xuân Hương”
3
9426
104
Tiểu luận: Nội dung tư tưởng Hồ Chí Minh về đạo đức
16
8133
421
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8130
1121
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
7819
2212
Đề tài: Dự án kinh doanh thời trang quần áo nữ
17
6494
247
Vật lý hạt cơ bản (1)
29
5678
80
TỪ KHÓA LIÊN QUAN
Sinh học
phương pháp cấy ion
ủ nhiệt
vật liệu làm mặt nạ
bề mặt phiến
chùm ion
Mật độ nguyên tử bề mặt
Bề mặt mẫu GaAs
Phương pháp tán xạ ngược Rutherford
Phản ứng hạt nhân
Sản xuất transitor hiệu ứng trường
Chùm laser công suất cao
Nguyên lý gia tốc hạt
Môi trường plasma
Chùm laser xung
Điều trị ung thư
Bức xạ của buồng ion hóa CC13
Chùm photon kích thước nhỏ
Gia tốc tuyến tính xạ trị clinac IX
Hệ thống lập kế hoạch xạ trị
Tạp chí Y học lâm sàng
Chùm tia điện tử
Graphite giãn nở
Bức xạ chùm tia điện tử
Bức xạ ion hóa
Phương pháp phân tích phổ FTIR
Tạp chí Khoa học Công nghệ Nông nghiệp
Bài viết về nông nghiệp
Bức xạ ion
Đột biến điểm
Giống lúa đột biến
Báo cáo phân tích xu hướng công nghệ
Xu hướng công nghệ
Xu hướng ứng dụng bức xạ ion hóa
Khử trùng dụng cụ y tế
Thanh trùng thực phẩm
Kiểm dịch trái cây
Xử lý nước thải
Chất chống oxi hóa
Đứt gãy DNA
Tế bào ung thư
Tế bào nấm men
Epigallocatechin 3 gallate
Tạp chí Khoa học và Công nghệ hạt nhân
Chế tạo nano selen
Phương pháp chiếu xạ
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
Đánh giá hao mòn và độ tin cậy của chi tiết và kết cấu trên đầu máy diezel part 3
12
281
0
28-03-2024
Báo cáo khoa học: Loss of kinase activity in Mycobacterium tuberculosis multidomain protein Rv1364c
14
221
0
28-03-2024
Động cơ đốt trong và máy kéo công nghiêp tập 1 part 7
23
245
0
28-03-2024
Mass Transfer in Multiphase Systems and its Applications Part 19
40
236
0
28-03-2024
extremetech Hacking BlackBerry phần 9
31
225
0
28-03-2024
Đề thi khảo sát chất lượng Lý 12 năm 2014
20
210
0
28-03-2024
BeginningMac OS X Tiger Dashboard Widget Development 2006 phần 2
34
195
0
28-03-2024
Trading Strategies Profit Making Techniques For Stock_3
23
171
0
28-03-2024
Bơm máy nén quạt trong công nghệ part 1
20
241
2
28-03-2024
Magnetic Bearings Theory and Applications phần 2
14
159
0
28-03-2024
TÀI LIỆU HOT
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
7819
2212
Ebook Chào con ba mẹ đã sẵn sàng
112
3652
1216
Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)
152
5126
1171
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8130
1121
Ebook Tuyển tập đề bài và bài văn nghị luận xã hội: Phần 1
62
5028
1084
Giáo trình Văn hóa kinh doanh - PGS.TS. Dương Thị Liễu
561
3401
638
Giáo trình Sinh lí học trẻ em: Phần 1 - TS Lê Thanh Vân
122
3619
524
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
10737
524
Giáo trình Pháp luật đại cương: Phần 1 - NXB ĐH Sư Phạm
274
3900
502
Bài tập nhóm quản lý dự án: Dự án xây dựng quán cafe
35
4025
470
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.