TAILIEUCHUNG - Báo cáo toán học: " Structure and electrical properties of sputtered TiO2/ZrO2 bilayer composite dielectrics upon annealing in nitrogen"

Tuyển tập các báo cáo nghiên cứu khoa học ngành toán học được đăng trên tạp chí toán học quốc tế đề tài: Structure and electrical properties of sputtered TiO2/ZrO2 bilayer composite dielectrics upon annealing in nitrogen | Dong et al. Nanoscale Research Letters 2012 7 31 http content 7 1 31 o Nanoscale Research Letters a SpringerOpen Journal ORIGINAL PAPER Open Access Structure and electrical properties of sputtered TiO2 ZrO2 bilayer composite dielectrics upon annealing in nitrogen Ming Dong1 Hao Wang2 Cong Ye2 Liangping Shen2 Yi Wang2 Jieqiong Zhang2 and Yun Ye2 Abstract The high-k dielectric TiO2 ZrO2 bilayer composite film was prepared on a Si substrate by radio frequency magnetron sputtering and post annealing in N2 at various temperatures in the range of 573 K to 973 K. Transmission electron microscopy observation revealed that the bilayer film fully mixed together and had good interfacial property at 773 K. Metal-oxide-semiconductor capacitors with high-k gate dielectric TiO2 ZrO2 p-Si were fabricated using Pt as the top gate electrode and as the bottom side electrode. The largest property permittivity of and a very low leakage current density of X 10-5 A cm2 were achieved for the sample of TiO2 ZrO2 Si after annealing at 773 K. Introduction High dielectric constant high-k materials have been researched for a few years in material science and have been applied firstly in Intel s 45 nm MOSFET in 2007. Nowadays for the demand of the next generation devices for sub-22 nm technology nodes expect that high-k materials such as HfO2 ZrO2 Ta2O5 and rare earth oxides are extensively researched and binary oxides of high-k materials become more attractive and are expected to be utilized in the future ultra large scale integrated circuit 1-8 . Among them ZrO2 has a relatively high permittivity large band gap and good thermal and chemical stabilities. TiO2 is a high-k material with a very high permittivity of about 80 9 . In order to improve the permittivity of ZrO2 the feasible way is to fabricate ZrO2-TiO2 composite films. Meanwhile as a composite thin film the addition of TiO2 can improve the crystallization temperature 10 11 . As ZrO2-TiO2 binary .

• Báo cáo khoa học
• tài liệu báo cáo nghiên cứu khoa học
• cách trình bày báo cáo
• kiến thức toán học
• báo cáo toán học
• các báo cáo toán học hay
• Nghiên cứu khoa học
• Phương pháp nghiên cứu khoa học
• Bài giảng Phương pháp nghiên cứu khoa học
• Báo cáo nghiên cứu khoa học
• Trình bày báo cáo nghiên cứu khoa học
• Văn phong sử dụng trong báo cáo khoa học
• Báo cáo khoa học công nghệ
• Đề tài nghiên cứu khoa học
• Nghiên cứu công nghệ làm phân vi sinh
• Báo cáo nghiên cứu phân vi sinh
• Báo cáo tình hình nghiên cứu khoa học
• Mẫu Báo cáo thực hiện nghiên cứu
• Trình bày Báo cáo thực hiện nghiên cứu
• Nội dung Báo cáo thực hiện nghiên cứu
• Hình thức Báo cáo thực hiện nghiên cứu
• Biên bản nghiên cứu khoa học
• Báo cáo khoa học và kỹ thuật
• Đề tài nghiên cứu khoa học y khoa
• Báo cáo nghiên cứu cấp nhà nước
• Nghiên cứu chất lượng chế phẩm thuốc
• Báo cáo nghiên cứu công nghệ sinh học
• Đề tài nghiên cứu thuốc sâu sinh học
• Báo cáo khoa học kỹ thuật
• Báo cáo quản lý chất thải sinh hoạt
• Báo cáo khoa học môi trường
• Nghiên cứu khoa học về môi trường
• Báo cáo nghiên cứu vệ sinh môi trường
• Nghiên cứu tình hình nhiễm độc Cadimi
• Báo cáo chế phẩm sinh học
• Báo cáo nghiên cứu ứng dụng sinh học
• Cách viết báo cáo khoa học
• Quy trình nghiên cứu khoa học
• Báo cáo kết quả nghiên cứu
• báo cáo khoa học
• tuyển tập báo cáo khoa học
• báo cáo ngành toán học
• báo cáo ngành vật lý
• báo cáo ngành chăn nuôi
• Nghiên cứu công nghệ phôi vô tính
• Báo cáo nghiên cứu nông nghiệp
• Báo cáo công nghệ xử lý chất thải
• Báo cáo nghiên cứu khoa học công nghệ
• Kết quả nghiên cứu lúa lai
• Cây lương thực
• Cây thực phẩm
• Một số nguyên tắc nghiên cứu khoa học
• Tiêu chuẩn báo cáo nghiên cứu khoa học
• Nguyên tắc báo cáo khoa học
• Báo cáo nghiên cứu công trình
• Nghiên cứu độ rỗng trong đá chứa dầu khí
• Nghiên cứu công nghệ UV–Fenton
• Nghiên cứu công nghệ xử lý nước thải
• Đề tài y tế đảm bảo an toàn người bệnh
• Báo cáo xây dựng hệ thống y tế
• Kỹ thuật viết báo cáo nghiên cứu
• Viết báo cáo nghiên cứu
• Báo cáo nghiên cứu
• khoa học
• Hình thức soạn thảo văn bản báo cáo
• Báo cáo nghiên cứu nước thải rượu
• Báo cáo công nghệ thiết bị UASB
• Đề tài công nghệ vi sinh
• luận văn mẫu
• người lính việt nam
• sau chiến tranh
• báo cáo ngành triết học
• báo cáo ngành lịch sử
• báo cáo ngành văn học