TAILIEUCHUNG - Coatings Technology Handbook 2010 Part 6

Tham khảo tài liệu 'coatings technology handbook 2010 part 6', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | 31-10 Coatings Technology Handbook Third Edition Substrate Field Lines a Cathode 1 S N N S N S S N Cathode 2 N S S N S N Ns b FIGURE The mirrored and closed-field magnet configurations a mirrored where like poles face each other b closed field where opposite poles face each other. perimeter pole piece resulting in an additional axial field. In the second case the perimeter pole has been made stronger resulting in an additional cylindrical component to the field. In the third case Figure an electromagnet has been added externally to the magnetron to provide a simple axial field. The unbalanced magnetrons are characterized by the addition of magnetic field lines that are no longer constrained between the central and perimeter pole pieces of the magnetron. Additional field lines leave the region of the magnetron and intersect the sample region. Electron motion along these field lines is unconstrained by the E X B trapping effect near the cathode and is actually enhanced due to the drift of electrons from high-strength magnetic field regions to lower strength regions. As a result electrons can leak away from the near cathode region. This sets up a very weak potential that tends to draw ions from the cathode region out to the near-sample region. It is these ions that can then be used to form the basis of a sample bias necessary for the enhancement of the TiN reaction. Titanium nitride has extensive applications in the commercial world for hard and decorative coatings. The unbalanced magnetron approach has been used successfully on a manufacturing scale for the production of TiN and related compounds. To cover large numbers of parts or else to cover large parts with unusual shapes systems are often configured with multiple magnetrons within a single A simple example of this is shown in Figure where two unbalanced magnetrons have been configured across from each other with the sample placed in the middle. The magnetrons can be configured to be .

TỪ KHÓA LIÊN QUAN
TAILIEUCHUNG - Chia sẻ tài liệu không giới hạn
Địa chỉ : 444 Hoang Hoa Tham, Hanoi, Viet Nam
Website : tailieuchung.com
Email : tailieuchung20@gmail.com
Tailieuchung.com là thư viện tài liệu trực tuyến, nơi chia sẽ trao đổi hàng triệu tài liệu như luận văn đồ án, sách, giáo trình, đề thi.
Chúng tôi không chịu trách nhiệm liên quan đến các vấn đề bản quyền nội dung tài liệu được thành viên tự nguyện đăng tải lên, nếu phát hiện thấy tài liệu xấu hoặc tài liệu có bản quyền xin hãy email cho chúng tôi.
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.