Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Sức khỏe - Y tế
Văn bản luật
Nông Lâm Ngư
Kỹ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Tài liệu HOT
Tìm
Danh mục
Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Y tế sức khỏe
Văn bản luật
Nông lâm ngư
Kĩ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Thông tin
Điều khoản sử dụng
Quy định bảo mật
Quy chế hoạt động
Chính sách bản quyền
0
Trang chủ
Kỹ Thuật - Công Nghệ
Cơ khí - Chế tạo máy
Semiconductor Technologies Part 4
TAILIEUCHUNG - Semiconductor Technologies Part 4
Tham khảo tài liệu 'semiconductor technologies part 4', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | Advanced Plasma Processing Etching Deposition and Wafer Bonding Techniques for Semiconductor Applications 83 and IEDF include the bias voltage Vb the ion density the gas composition and the mean free path which also depends on the aforementioned parameters . Glow Discharge Region Dark Space IADF IEDF Fig. 2. Illustration of the ion angular and ion energy distribution functions with hypothetical resultant etched profile distortion. Points in IEDF correspond to different ion kinetic energies while points in the IADF correspond to different angles of incidence Etch Reaction Dynamics In wet chemical processes etching is accomplished through physical dissolution or reactionspecific dissolution Reinhardt Kern 2008 . This takes place at any exposed surface and thus results in isotropic etching although the etch rate can vary along different crystalline orientations due to the bonding state variation of the surfaces. A good example of crystalline anisotropy in Si wet processing is potassium hydroxide KOH etching which is widely used for making MEMS structures that capitalize on the direction-dependent etch rate of KOH Wolf Tauber 2000 . However in a myriad of planar processes that are utilized in the semiconductor industry an anisotropic etching profile with sidewalls perpendicular to the wafer surface is frequently required for effective pattern transfer. In order to prevent the isotropic or crystalline anisotropic behavior of our processing gases the sidewalls must be protected from further etching. This is accomplished by forming a passivating or inhibiting layer on the sidewall in one of the following ways - Surface passivation o inserting gases in the plasma which react with wafer materials and forming involatile compounds Legtenberg et al. 1995 o freezing volatile reaction products at the structure s walls using . cryogenic wafer cooling Aachboun et al. 2000 - Inhibitor deposition o using polymer precursor gases to form physical barrier layers . C4F8 .
Minh Hà
44
30
pdf
Báo lỗi
Trùng lắp nội dung
Văn hóa đồi trụy
Phản động
Bản quyền
File lỗi
Khác
Upload
Tải xuống
đang nạp các trang xem trước
Không thể tạo bản xem trước, hãy bấm tải xuống
Tải xuống
TÀI LIỆU LIÊN QUAN
Chương trình giáo dục đại học ngành Công nghệ chế tạo máy
21
250
0
Đề thi cuối học kỳ I năm học 2015-2016 môn Cơ sở công nghệ chế tạo máy (Mã đề 01) - ĐH Sư phạm Kỹ thuật
5
169
2
Đề thi cuối học kỳ II năm học 2015-2016 môn Cơ sở công nghệ chế tạo máy (Mã đề 01) - ĐH Sư phạm Kỹ thuật
4
249
2
Đề thi cuối học kỳ II năm học 2019-2020 môn Cơ sở công nghệ chế tạo máy (Mã đề 01) - ĐH Sư phạm Kỹ thuật
5
190
4
Hướng dẫn đồ án công nghệ chế tạo máy - Phụ lục I
41
274
2
HIỆN TRẠNG CÔNG NGHỆ TẠO MẪU NHANH (RP Y2010)
51
249
0
Thiết Kế Chi Tiết Máy Trên Máy Tính: Phần 2 - GS TS An Hiệp, PGS TS Trần Vĩnh Hưng, KS Nguyễn Văn Hiệp
124
229
1
Chế tạo "ống xả sạch" xử lý ô nhiễm trên ô-tô
47
249
0
Thiết kế chế tạo mô hình máy phay CNC điều khiển hai trục
118
290
14
CÁC PHƯƠNG PHÁP HÀN ÁP DỤNG TRONG CÔNG NGHIỆP TÀU THỦY
100
287
6
TÀI LIỆU XEM NHIỀU
Một Case Về Hematology (1)
8
461836
55
Giới thiệu :Lập trình mã nguồn mở
14
22499
57
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
10846
529
Câu hỏi và đáp án bài tập tình huống Quản trị học
14
10023
445
Phân tích và làm rõ ý kiến sau: “Bài thơ Tự tình II vừa nói lên bi kịch duyên phận vừa cho thấy khát vọng sống, khát vọng hạnh phúc của Hồ Xuân Hương”
3
9477
104
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8240
1124
Tiểu luận: Nội dung tư tưởng Hồ Chí Minh về đạo đức
16
8198
423
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
7859
2219
Đề tài: Dự án kinh doanh thời trang quần áo nữ
17
6636
253
Vật lý hạt cơ bản (1)
29
5751
85
TỪ KHÓA LIÊN QUAN
Cơ khí - Chế tạo máy
cơ khí chế tạo máy
hướng dẫn cơ khí
tài liệu cơ khí
ôn thi cơ khí
sổ tay cơ khí
Ngành Công nghệ chế tạo máy
Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
Hệ thống cơ khí chế tạo máy
Đề thi học kỳ
Công nghệ chế tạo máy
Đề thi Công nghệ chế tạo máy
Bài tập Công nghệ chế tạo máy
Cơ khí máy
Cơ sở công nghệ chế tạo máy
động cơ đốt trong
gia công cơ khí
giáo trình công nghệ chế tạo máy
vẽ kỹ thuật cơ khí
sổ tay thiết kế cơ khí
công nghệ cơ khí
đồ án công nghệ
chế tạo máy
tính lượng dư gia công
thiết kế đồ gá
gia công vật liệu
cơ khí động lực
chế tạo nhanh
cơ khí chế tạo
kỹ thuật cơ khí
công nghệ chế tạo
cơ kỹ thuật
Thiết Kế Chi Tiết Máy
khí thải ô tô
Chế tạo ống xả sạch
xử lý ô nhiễm trên ô tô
Cơ khí ô tô
ô nhiễm môi trường
bộ lọc khí xả
Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
Đồ án cơ khí chế tạo máy
Đồ án công nghệ chế tạo máy
Đồ án chế tạo máy
Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
Đề tài chế tạo máy CNC
cơ cấu phân phối khí
phương pháp hàn
công nghiệp tàu thủy
Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
Quá trình sản xuất cơ khí
máy tiện ren vít vạn năng
tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
tài liệu môn cơ khí chế tạo
cách vẽ môn cơ khí chế tạo
học môn cơ khí chế tạo
Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
Chương trình đào tạo Tiến sĩ
Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
Đề cương Kỹ thuật cơ khí
Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
Thiết kế đồ án chế tạo máy
Kỹ thuật chế tạo máy
Gia công chế tạo máy
Chi tiết máy
Inventor
Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
Sổ tay công nghệ chế tạo máy
Sử dụng rôbốt công nghiệp
chuyên đề tốt nghiệp
báo cáo thực tập
đồ án kỹ thuật
kỹ thuật xây dựng
Khoa học công nghệ
Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
Ngành Cơ khí chế tạo
Cơ khí lắp ráp máy
Cơ khí đường sắt
công nghệ chế tạo phụ tùng
bài giảng môn cơ khí
tài liệu môn chế tạo máy
kiến thức về chế tạo máy
cơ khí giao thông
công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
Ebook Quản lý dự án công nghệ thông tin
170
271
5
18-04-2024
Mass Transfer in Multiphase Systems and its Applications Part 19
40
254
1
18-04-2024
extremetech Hacking BlackBerry phần 9
31
236
0
18-04-2024
Bibliography on Medieval Women, Gender, and Medicine 1980-2009
82
204
0
18-04-2024
Magnetic Bearings Theory and Applications phần 2
14
169
0
18-04-2024
Bơm máy nén quạt trong công nghiệp part 8
20
195
2
18-04-2024
Posted prices versus bargaining in markets_7
23
153
0
18-04-2024
MySQL Database Usage & Administration PHẦN 9
37
137
0
18-04-2024
Giáo trình CẤU TRÚC DỮ LIỆU VÀ GIẢI THUẬT - Chương 1
5
123
0
18-04-2024
báo cáo hóa học:" Endoscopic decompression for intraforaminal and extraforaminal nerve root compression"
7
106
0
18-04-2024
TÀI LIỆU HOT
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
7859
2219
Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)
152
5572
1319
Ebook Chào con ba mẹ đã sẵn sàng
112
3740
1228
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8240
1124
Ebook Tuyển tập đề bài và bài văn nghị luận xã hội: Phần 1
62
5234
1124
Giáo trình Văn hóa kinh doanh - PGS.TS. Dương Thị Liễu
561
3470
641
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
10846
529
Giáo trình Sinh lí học trẻ em: Phần 1 - TS Lê Thanh Vân
122
3667
524
Giáo trình Pháp luật đại cương: Phần 1 - NXB ĐH Sư Phạm
274
4014
513
Bài tập nhóm quản lý dự án: Dự án xây dựng quán cafe
35
4092
478
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.