TAILIEUCHUNG - Semiconductor Technologies Part 4

Tham khảo tài liệu 'semiconductor technologies part 4', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | Advanced Plasma Processing Etching Deposition and Wafer Bonding Techniques for Semiconductor Applications 83 and IEDF include the bias voltage Vb the ion density the gas composition and the mean free path which also depends on the aforementioned parameters . Glow Discharge Region Dark Space IADF IEDF Fig. 2. Illustration of the ion angular and ion energy distribution functions with hypothetical resultant etched profile distortion. Points in IEDF correspond to different ion kinetic energies while points in the IADF correspond to different angles of incidence Etch Reaction Dynamics In wet chemical processes etching is accomplished through physical dissolution or reactionspecific dissolution Reinhardt Kern 2008 . This takes place at any exposed surface and thus results in isotropic etching although the etch rate can vary along different crystalline orientations due to the bonding state variation of the surfaces. A good example of crystalline anisotropy in Si wet processing is potassium hydroxide KOH etching which is widely used for making MEMS structures that capitalize on the direction-dependent etch rate of KOH Wolf Tauber 2000 . However in a myriad of planar processes that are utilized in the semiconductor industry an anisotropic etching profile with sidewalls perpendicular to the wafer surface is frequently required for effective pattern transfer. In order to prevent the isotropic or crystalline anisotropic behavior of our processing gases the sidewalls must be protected from further etching. This is accomplished by forming a passivating or inhibiting layer on the sidewall in one of the following ways - Surface passivation o inserting gases in the plasma which react with wafer materials and forming involatile compounds Legtenberg et al. 1995 o freezing volatile reaction products at the structure s walls using . cryogenic wafer cooling Aachboun et al. 2000 - Inhibitor deposition o using polymer precursor gases to form physical barrier layers . C4F8 .

• Cơ khí - Chế tạo máy
• cơ khí chế tạo máy
• hướng dẫn cơ khí
• tài liệu cơ khí
• ôn thi cơ khí
• sổ tay cơ khí
• Ngành Công nghệ chế tạo máy
• Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
• Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
• Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
• Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
• Hệ thống cơ khí chế tạo máy
• Đề thi học kỳ
• Công nghệ chế tạo máy
• Đề thi Công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Công nghệ chế tạo máy
• Cơ khí máy
• Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• động cơ đốt trong
• gia công cơ khí
• giáo trình công nghệ chế tạo máy
• vẽ kỹ thuật cơ khí
• sổ tay thiết kế cơ khí
• công nghệ cơ khí
• đồ án công nghệ
• chế tạo máy
• tính lượng dư gia công
• thiết kế đồ gá
• gia công vật liệu
• cơ khí động lực
• chế tạo nhanh
• cơ khí chế tạo
• kỹ thuật cơ khí
• công nghệ chế tạo
• cơ kỹ thuật
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• khí thải ô tô
• Chế tạo ống xả sạch
• xử lý ô nhiễm trên ô tô
• Cơ khí ô tô
• ô nhiễm môi trường
• bộ lọc khí xả
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
• Đồ án cơ khí chế tạo máy
• Đồ án công nghệ chế tạo máy
• Đồ án chế tạo máy
• Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
• Đề tài chế tạo máy CNC
• cơ cấu phân phối khí
• phương pháp hàn
• công nghiệp tàu thủy
• Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
• Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
• Quá trình sản xuất cơ khí
• máy tiện ren vít vạn năng
• tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
• tài liệu môn cơ khí chế tạo
• cách vẽ môn cơ khí chế tạo
• học môn cơ khí chế tạo
• Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Thiết kế đồ án chế tạo máy
• Kỹ thuật chế tạo máy
• Gia công chế tạo máy
• Chi tiết máy
• Inventor
• Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
• Sổ tay công nghệ chế tạo máy
• Sử dụng rôbốt công nghiệp
• chuyên đề tốt nghiệp
• báo cáo thực tập
• đồ án kỹ thuật
• kỹ thuật xây dựng
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Ngành Cơ khí chế tạo
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt
• công nghệ chế tạo phụ tùng
• bài giảng môn cơ khí
• tài liệu môn chế tạo máy
• kiến thức về chế tạo máy
• cơ khí giao thông
• công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp