TAILIEUCHUNG - Engineering Materials and Processes phần 9

kể từ khi xu hướng thay thế Al (Cu) với Cu đang trở nên rõ ràng cho các ứng dụng tích hợp quy mô cực lớn (ULSI). Ag, là kim loại dẫn điện nhất, cũng thu hút sự chú ý như là một vật liệu kết nối cho một số ứng dụng tiềm năng trong ULSI [1, 2]. Ag có một số lợi thế hơn Cu về độ dẫn. Kể từ khi ứng dụng rộng rãi của Cu | Integration Issues 103 its eutectic point further annealing in an oxidizing ambient no longer gives outdiffusion of silicon 11 . Crystallization takes place during annealing which greatly reduces the number of grain boundaries in the annealed samples compared with the polycrystalline films in the as-deposited state. Under the same annealing conditions temperature and time the 50 nm-thick Au layer compared to the 150 nm forms a slightly thicker oxide due to the longer diffusion path for the thicker Au overlayer 13 . Conclusions In 30 years the Hiraki et al. 11 conclusion has not changed When a single crystal substrate of silicon is covered with evaporated gold and heated at relatively low temperatures 100-300 C in an oxidizing atmosphere a silicon-dioxide layer is readily formed over the gold layer . This investigation reaffirmed the Au Si results 13 . No oxide layer is formed on Ag Si layers annealed under the same conditions. The Ag forms a discontinuous layer. The results obtained from the Au Si and Ag Si correlate well with the surface potential model. Silver Metallization on Silicides with Nitride Barriers Introduction The attractive properties of Ag such as its low resistivity coupled with increased resistance to electromigration have propelled some exciting research aimed towards its use as a future interconnect material in the next generation of ULSI devices 14 . Early studies of the Ag Si interface have shown the morphological stability to be poor since it is prone to agglomeration upon annealing of only 200 oC. The addition of a thin interposing Au layer between Ag and Si has improved the stability of the interface by forming an intermixed region which lowers the interfacial energy of the original Ag Si system. Several authors have investigated the behavior of Ag at the SiO2 Si interface 15 . Results 16 suggest that diffusion of trace amounts of Ag occur in the Ag CoSi2 Si and Ag NiSi Si systems. To combat such problems several barriers for

• Cơ khí - Chế tạo máy
• ngành cơ khí
• động cơ máy
• nguyên lí hoạt động
• hệ thống máy móc
• cơ khí hóa
• động cơ máy móc
• chế tạo động cơ
• Ngành công nghiệp cơ khí
• Phát triển ngành công nghiệp cơ khí
• Định hướng ngành công nghiệp cơ khí
• Nền kinh tế quốc dân
• Tìm hiểu ngành công nghiệp cơ khí
• Tham khảo ngành công nghiệp cơ khí
• Dự báo phát triển ngành Cơ khí
• Cơ khí xây dựng
• Cơ khí giao thông vận tải
• Cơ khí nông nghiệp
• Cơ sở sản xuất ngành Cơ khí
• Chương trình đào tạo Cơ khí ô tô
• Ngành Cơ khí ô tô
• Cơ khí ô tô
• Giới thiệu Cơ khí ô tô
• Tìm hiểu ngành Cơ khí ô tô
• Kiến thức ngành Cơ khí ô tô
• Từ điển chuyên ngành cơ khí
• Từ điển chuyên ngành ô tô
• Từ vựng chuyên ngành cơ khí
• Từ điển chuyên ngành Cơ khí ô tô
• Anh Văn chuyên ngành cơ khí
• Tiếng Anh chuyên ngành ô tô
• Đào tạo ngành Cơ khí
• Chất lượng đào tạo ngành Cơ khí
• Đồ án chi tiết máy
• Nâng cao chất lượng ngành Cơ khí
• Thiết kế chế tạo chi tiết máy
• Ngành cơ khí chế tạo Việt Nam
• Ngành cơ khí chế tạo
• Thúc đẩy ngành cơ khí chế tạo
• Công nghiệp sản xuất
• Phát triển ngành cơ khí chế tạo
• Ngành công nghiệp cơ khí Việt Nam
• Tiến trình hội nhập kinh tế quốc tế
• Công nghiệp cơ khí
• Hội nhập kinh tế quốc tế
• Thực trạng ngành công nghiệp cơ khí
• Đề thi học kỳ
• Đề thi Anh văn chuyên ngành cơ khí
• Bài tập Anh văn chuyên ngành cơ khí
• Cơ khí chế tạo máy
• Đề thi cuối học kỳ II
• Đào tạo nguồn lực ngành cơ khí
• Chiến lược phát triển ngành cơ khí
• Cơ khí chế tạo
• Đào tạo nguồn nhân lực
• Chiến lược phát triển khoa học công nghệ
• Giáo trình khí nén điện khí nén
• cơ khí đại cương
• tài liệu cơ khí
• chuyên ngành cơ khí
• lý thuyết cơ khí
• giáo trình cơ khí đại cương
• bài giảng cơ khí
• Anh văn chuyên ngành
• Báo cáo thực tập ngành cơ khí
• Thực tập ngành cơ khí
• Luận văn cơ khí
• Công nghệ chế tạo cơ khí
• Kỹ thuật cơ khí
• Đề tài kỹ thuật cơ khí
• từ điển chuyên ngành
• tiếng anh chuyên ngành
• từ vựng cơ khí
• thuật ngữ cơ khí
• Từ vựng Tiếng Anh
• Từ vựng Tiếng Anh chuyên ngành Cơ khí
• Tiếng Anh chuyên ngành Cơ khí
• Tiếng Anh cho người đi làm
• Tổng hợp từ vựng Tiếng Anh ngành Cơ khí
• Giáo trình cơ khí
• Cơ sở tự động hóa ngành cơ khí
• Điều khiển tự động
• Tự động hóa ngành cơ khí
• Nguyên tắc điều khiển tự động
• phương pháp tính
• Công nghiệp cơ khí Việt Nam
• Thương mại hóa
• Kinh tế quốc tế
• Luận văn công nghiệp cơ khí
• Tiếng Anh cơ khí ô tô
• Tiếng Anh chuyên ngành cơ khí ô tô
• Special English for automobile engineering
• Từ vựng tiếng Anh chuyên ngành ô tô
• Giáo trình tuoc bin nhiệt điện
• cơ khí đại cương
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt