TAILIEUCHUNG - Valve For Power Mems

Valve For Power Mems | A Micromachined Valve for Power MEMS Personnel X. Yang J. Lang . Schmidt and S. Umans Sponsorship ARO A micromachined valve is being developed that could be used as the gas fuel delivery valve for a power MEMS device. The electrostatically-actuated valve is fabricated through the aligned bonding of three silicon wafers which have been patterned using DRIE. A middle wafer forms the moving part of the valve which is comprised of a boss supported by four thin tethers. Upon the application of a voltage between the boss and either the upper or lower wafer the boss will move upward to open the valve or downward to seal the valve against a polysilicon coated seal-ring. The polysilicon provides a defined level of surface roughness which helps to reduce valve sticking. The valve has been successfully operated to 10 atm inlet pressure with actuation voltages between 100-200V. Leak rates are Fig 26 The three-layer microvalve. Fig. 27 A schematic cross section of the valve. Fig. 28 SEM images of the three layers of the microvalve as well as below the measurement capability. continued Voltitgt V Fig. 29 N2 flow-rate versus actuation voltage for the valve as a function of inlet .

• Tự động hoá
• Tự động hóa
• Cơ khí chế tạo máy
• Điện – điện tử
• Kiến trúc xây dựng
• kỹ thuật viễn thông
• Bài giảng Tự động hóa
• Tự động hóa quá trình sản xuất
• Tự động hóa quá trình lắp ráp
• Định vị chi tiết
• Lắp ráp tự động
• Xác định chế độ lắp ráp tự động
• Ứng dụng Robot trong lắp ráp tự động
• tự động hóa trong xây dựng
• giáo trình tự động hóa trong xây dựng
• bài giảng tự động hóa trong xây dựng
• tài liệu tự động hóa trong xây dựng
• lý thuyết tự động hóa trong xây dựng
• hệ thống tự động hóa trong xây dựng
• Giáo trình Tự động hóa
• Tự động hóa trong hệ thống điện
• Tài liệu tự động hóa
• Tìm hiểu tự động hóa hệ thống điện
• Khái niệm tự động hóa
• Lịch sử tự động hóa
• Sửa chữa thiết bị tự động hóa
• Thiết bị tự động hóa
• Giáo trình Lắp đặt thiết bị đo lường tự động hóa
• Lắp đặt thiết bị đo lường tự động hóa
• Thiết bị đo lường tự động hóa
• Dầu bôi trơn
• đề cương tự động hóa
• phương pháp tự động hóa
• Hệ thống tự động hóa
• Tự động hóa trong quá trình sản xuất
• Hệ thống điều khiển tự động
• Tự động hóa quá trình cắt phôi
• Tự động hóa quá trình kiểm tra
• Tự động điều khiển máy móc
• Tự động hóa quá trình công nghệ
• Lý thuyết điều khiển tự động
• Hệ thống rửa xe tự động
• Đồ án tự động hóa
• Hệ thống tự động
• Kiểm tra tự động
• Thiết bị phân loại tự động
• Hệ thống sản xuất tự động hóa
• lập trình tự động hóa
• tài liệu lập trình tự động hóa
• hướng dẫn lập trình tự động hóa
• phương pháp lập trình tự động hóa
• kinh nghiệm lập trình tự động hóa