TAILIEUCHUNG - Micromechanical Photonics - H. Ukita Part 2

Tham khảo tài liệu 'micromechanical photonics - h. ukita part 2', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | 10 1 From Optical MEMS to Micromechanical Photonics absorption rate is proportional to the square of the incident light intensity a 3-D structure is fabricated by scanning he fouusdd spot of a near-infraredwavelength beam in three dimensions inside the resin. The lateral and depth resolutions are said to and pm respectively. After that they also succeeded in fabricating a miafomorar -ized oow with a reoolutíon of 140 nm . Replication Replication from a mold is important technology for realizing lower cost and mass production. For optical MEMS applications the use of sol-gels which become glass-like material upon curing is foreseen. ORMOCER US-S1 is such a material. It is optically transparent over the wavelength from 100 to 1600 nm and has a refractive index of at 588 nm. Obi et al. replicated many sol-gel micro-optical devices and optical MEMS including a ool-gel eantrleveo hh a microlens on the top . Monolithic Integration Micromachining for an LD Monolithic integration of micromechanics is possible not only on a Si substrate but also on a semiconductor LD substrate of GaAs or InP . A smooth etched surface and a deep vertical sidewall are necessary for good lasingcharacteristics of LDs. For fabricating a refonaot 1II ir coral 1 It Ĩ Iv err N C orr exampee herre rec three micromachining tteps Fig. . a An etch-fSop Inyeo of GIGaAs is formed in an LD structure prepared by metalorganic vapor phase epitaxy MOVPE . b The microstructure shape is precisely defined by a reactive dry-etchingtechnique which simultaneously forms the vertical etched a GaAs cap AlGaAs clad ------------Active layer AlGaAs clad GaAs AlGaAs etch-stop layer GaAs substrate ------------ c d b Cl2 beam Il Resist mask Microcantilever Etched mirror MC 1 - - - SaAs substrate y Fig. . Steps in the fabrication of a GaAs AlGaAs resonant microcantilever MC integrated with a laser diode LD Miniaturized Systems with Microoptics and Micromechanics 11 mirror

• Cơ khí - Chế tạo máy
• cơ khí chế tạo máy
• tài liệu cơ khí
• sổ tay cơ khí
• hướng dẫn cơ khí
• ôn thi cơ khí
• Ngành Công nghệ chế tạo máy
• Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
• Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
• Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
• Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
• Hệ thống cơ khí chế tạo máy
• Đề thi học kỳ
• Công nghệ chế tạo máy
• Đề thi Công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Công nghệ chế tạo máy
• Cơ khí máy
• Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• động cơ đốt trong
• gia công cơ khí
• giáo trình công nghệ chế tạo máy
• vẽ kỹ thuật cơ khí
• sổ tay thiết kế cơ khí
• công nghệ cơ khí
• đồ án công nghệ
• chế tạo máy
• tính lượng dư gia công
• thiết kế đồ gá
• gia công vật liệu
• cơ khí động lực
• chế tạo nhanh
• cơ khí chế tạo
• kỹ thuật cơ khí
• công nghệ chế tạo
• cơ kỹ thuật
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• khí thải ô tô
• Chế tạo ống xả sạch
• xử lý ô nhiễm trên ô tô
• Cơ khí ô tô
• ô nhiễm môi trường
• bộ lọc khí xả
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
• Đồ án cơ khí chế tạo máy
• Đồ án công nghệ chế tạo máy
• Đồ án chế tạo máy
• Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
• Đề tài chế tạo máy CNC
• cơ cấu phân phối khí
• phương pháp hàn
• công nghiệp tàu thủy
• Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
• Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
• Quá trình sản xuất cơ khí
• máy tiện ren vít vạn năng
• tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
• tài liệu môn cơ khí chế tạo
• cách vẽ môn cơ khí chế tạo
• học môn cơ khí chế tạo
• Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Thiết kế đồ án chế tạo máy
• Kỹ thuật chế tạo máy
• Gia công chế tạo máy
• Chi tiết máy
• Inventor
• Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
• Sổ tay công nghệ chế tạo máy
• Sử dụng rôbốt công nghiệp
• chuyên đề tốt nghiệp
• báo cáo thực tập
• đồ án kỹ thuật
• kỹ thuật xây dựng
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Ngành Cơ khí chế tạo
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt
• công nghệ chế tạo phụ tùng
• bài giảng môn cơ khí
• tài liệu môn chế tạo máy
• kiến thức về chế tạo máy
• cơ khí giao thông
• công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp