TAILIEUCHUNG - Micro Electro Mechanical System Design - James J. Allen Part 3

Tham khảo tài liệu 'micro electro mechanical system design - james j. allen part 3', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | 40 Micro Electro Mechanical System Design FIGURE Directional etching of crystalline silicon. TABLE Common Crystalline Silicon Etchant Selectivity and Etch Rates Etchant Etch rate 18HF 4HNO3 3Si 2H2SiF6 4NO 8H2O Si H2O2 2KOH K2Sìo3 2H2 Ethylene diamine pyrocatechol EDP Tetramethylammonium hydroxide TMAH Nonselective 100 gm min 111 gm min SiO2 gm min SiN4 not etched 100 gm min 111 gm min SiO2 gm min SiN4 gm min 100 gm min 111 gm min SiO2 gm min SiN4 gm min Easy to start and stop the etch process Repeatable etch process Anisotropic etches Few particulates Plasma etching includes a large variety of etch processes and associated chemistries that involve varying amounts of physical and chemical attack. The plasma provides a flux of ions radicals electrons and neutral particles to the surface to be etched. Ions produce physical and chemical attack of the surface 2005 by Taylor Francis Group LLC Fabrication Processes 41 B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B MUUUUUUUUUUU Single Crystal Silicon a. Implant Boron in Single Crystal Silicon wafer b. Deposit and Pattern Silicon Dioxide Etch Mask B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B c. KOH etch FIGURE Boron-doped silicon used to form features or an etch stop. and the radicals contribute to chemical attack. The sequence of events that occur in a plasma etch chamber Figure are listed below Plasma breaks down the feed gases into chemically reactive species. Reactive species diffuse to the wafer surface and are adsorbed. Surface diffusion of reactive species takes place until they chemically react. Reaction product desorption occurs. Reaction products diffuse away from the surface. Reaction products are transported out of the chamber The details and types of etch chemistries involved in plasma etching are varied and quite complex. This topic is too voluminous to be discussed in detail here but a number of excellent references on

• Cơ khí - Chế tạo máy
• cơ khí chế tạo máy
• tài liệu cơ khí
• sổ tay cơ khí
• hướng dẫn cơ khí
• ôn thi cơ khí
• Ngành Công nghệ chế tạo máy
• Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
• Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
• Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
• Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
• Hệ thống cơ khí chế tạo máy
• Đề thi học kỳ
• Công nghệ chế tạo máy
• Đề thi Công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Công nghệ chế tạo máy
• Cơ khí máy
• Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• động cơ đốt trong
• gia công cơ khí
• giáo trình công nghệ chế tạo máy
• vẽ kỹ thuật cơ khí
• sổ tay thiết kế cơ khí
• công nghệ cơ khí
• đồ án công nghệ
• chế tạo máy
• tính lượng dư gia công
• thiết kế đồ gá
• gia công vật liệu
• cơ khí động lực
• chế tạo nhanh
• cơ khí chế tạo
• kỹ thuật cơ khí
• công nghệ chế tạo
• cơ kỹ thuật
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• khí thải ô tô
• Chế tạo ống xả sạch
• xử lý ô nhiễm trên ô tô
• Cơ khí ô tô
• ô nhiễm môi trường
• bộ lọc khí xả
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
• Đồ án cơ khí chế tạo máy
• Đồ án công nghệ chế tạo máy
• Đồ án chế tạo máy
• Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
• Đề tài chế tạo máy CNC
• cơ cấu phân phối khí
• phương pháp hàn
• công nghiệp tàu thủy
• Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
• Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
• Quá trình sản xuất cơ khí
• máy tiện ren vít vạn năng
• tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
• tài liệu môn cơ khí chế tạo
• cách vẽ môn cơ khí chế tạo
• học môn cơ khí chế tạo
• Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Thiết kế đồ án chế tạo máy
• Kỹ thuật chế tạo máy
• Gia công chế tạo máy
• Chi tiết máy
• Inventor
• Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
• Sổ tay công nghệ chế tạo máy
• Sử dụng rôbốt công nghiệp
• chuyên đề tốt nghiệp
• báo cáo thực tập
• đồ án kỹ thuật
• kỹ thuật xây dựng
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Ngành Cơ khí chế tạo
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt
• công nghệ chế tạo phụ tùng
• bài giảng môn cơ khí
• tài liệu môn chế tạo máy
• kiến thức về chế tạo máy
• cơ khí giao thông
• công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp