TAILIEUCHUNG - MEMS Mechanical Sensors - Stephen Beeby Part 9

Tham khảo tài liệu 'mems mechanical sensors - stephen beeby part 9', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | 150 Pressure Sensors 99 Buff W. et al. Universal Pressure and Temperature SAW Sensor for Wireless Applications Proc. 1997 Ultrasonics Symp. Toronto Canada October 5-8 1997 Vol. 1 pp. 359-362. 100 Canali C. et al. Piezoresistivity Effects in MOS-FET Useful for Pressure Transducers J. Phys. D Appl. Phys. Vol. 12 1979 pp. 1973-1983. 101 Alcántara S. et al. MOS Transistor Pressure Sensor Proc. IEEE Int. Conf. on Devices Circuits Systems ICCDCS 98 Venezuela 1998 pp. 381-285. 102 Okojie R. S. and N. Carr An Inductively Coupled High Temperature Silicon Pressure Sensor Proc. 6th IOP Conf. on Sensors and Their Applications Manchester England September 12-15 1993 pp. 135-140. 103 Wang Y. and M. Esashi The Structures for Electrostatic Servo Capacitive Vacuum Sensors Sensors and Actuators Vol. A66 1998 pp. 213-217. 104 Gogoi B. P. and C. H. Mastrangelo A Low-Voltage Force Balanced Pressure Sensor with Hermetically Sealed Servomechanism Proc. 12th IEEE Intl. Workshop on MEMS Orlando FL January 17-21 1999 pp. 493-498. 105 Park . and Y. B. Gianchandani A Servo-Controlled Capacitive Pressure Sensor Using a Capped-Cylinder Structure Microfabricated by a Three-Mask Process J. MEMS Vol. 12 No. 2 April 2003 pp. 209-220. 106 Scheeper P. R. et al. A Review of Silicon Microphones Sensors and Actuators Vol. A44 1994 pp. 1-11. 107 Kressman R. K. Klaiber and G. Hess Silicon Condenser Microphones with Corrugated Silicon Oxide Nitride Electret Membranes Sensors and Actuators Vol. A100 2002 pp. 301-309. 108 Yoo K. et al. Fabrication of Biomimetic 3-D Structured Diaphragms Sensors and Actuators Vol. A97-98 2002 pp. 448-456. 109 Miao J. et al. Design Considerations in Micromachined Silicon Microphones Microelectronics Journal Vol. 33 2002 pp. 21-28. 110 Kronast W. et al. Single-Chip Condenser Microphone Using Porous Silicon as a Sacrificial Layer for the Air Gap Sensors and Actuators Vol. A87 No. 3 2001 pp. 188-93. 111 Hsu . C. H. Mastrangelo and K. D. Wise A High Sensitivity Polysilicon

• Cơ khí - Chế tạo máy
• cơ khí chế tạo máy
• tài liệu cơ khí
• sổ tay cơ khí
• hướng dẫn cơ khí
• ôn thi cơ khí
• Ngành Công nghệ chế tạo máy
• Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
• Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
• Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
• Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
• Hệ thống cơ khí chế tạo máy
• Đề thi học kỳ
• Công nghệ chế tạo máy
• Đề thi Công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Công nghệ chế tạo máy
• Cơ khí máy
• Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• động cơ đốt trong
• gia công cơ khí
• giáo trình công nghệ chế tạo máy
• vẽ kỹ thuật cơ khí
• sổ tay thiết kế cơ khí
• công nghệ cơ khí
• đồ án công nghệ
• chế tạo máy
• tính lượng dư gia công
• thiết kế đồ gá
• gia công vật liệu
• cơ khí động lực
• chế tạo nhanh
• cơ khí chế tạo
• kỹ thuật cơ khí
• công nghệ chế tạo
• cơ kỹ thuật
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• khí thải ô tô
• Chế tạo ống xả sạch
• xử lý ô nhiễm trên ô tô
• Cơ khí ô tô
• ô nhiễm môi trường
• bộ lọc khí xả
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
• Đồ án cơ khí chế tạo máy
• Đồ án công nghệ chế tạo máy
• Đồ án chế tạo máy
• Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
• Đề tài chế tạo máy CNC
• cơ cấu phân phối khí
• phương pháp hàn
• công nghiệp tàu thủy
• Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
• Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
• Quá trình sản xuất cơ khí
• máy tiện ren vít vạn năng
• tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
• tài liệu môn cơ khí chế tạo
• cách vẽ môn cơ khí chế tạo
• học môn cơ khí chế tạo
• Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Thiết kế đồ án chế tạo máy
• Kỹ thuật chế tạo máy
• Gia công chế tạo máy
• Chi tiết máy
• Inventor
• Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
• Sổ tay công nghệ chế tạo máy
• Sử dụng rôbốt công nghiệp
• chuyên đề tốt nghiệp
• báo cáo thực tập
• đồ án kỹ thuật
• kỹ thuật xây dựng
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Ngành Cơ khí chế tạo
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt
• công nghệ chế tạo phụ tùng
• bài giảng môn cơ khí
• tài liệu môn chế tạo máy
• kiến thức về chế tạo máy
• cơ khí giao thông
• công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp