Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Sức khỏe - Y tế
Văn bản luật
Nông Lâm Ngư
Kỹ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Tài liệu HOT
Tìm
Danh mục
Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Y tế sức khỏe
Văn bản luật
Nông lâm ngư
Kĩ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Thông tin
Điều khoản sử dụng
Quy định bảo mật
Quy chế hoạt động
Chính sách bản quyền
0
Trang chủ
Kỹ Thuật - Công Nghệ
Cơ khí - Chế tạo máy
MEMS Mechanical Sensors - Stephen Beeby Part 5
TAILIEUCHUNG - MEMS Mechanical Sensors - Stephen Beeby Part 5
Tham khảo tài liệu 'mems mechanical sensors - stephen beeby part 5', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | 7ữ Mechanical Sensor Packaging liquid water forming at the interface 27 . These polymers however offer poor levels of protection against alkaline solutions. Protective silicon oxide and silicon nitride films possess a much greater resistance to the diffusion of water molecules. These films can be applied both at wafer level and on mounted chips using CVD processes. They must be free from cracks and pinholes and in the case of mounted chips the films must be deposited on all the exposed surfaces including wirebonds and contact pads. The chemical resistance of these films is fundamentally important since they will only be deposited in thicknesses of a few microns. Even very low corrosion rates 27 angstroms day will remove a 1-micron-thick protective film after 1 year. Silicon carbide thin-films have been found to offer the most promising levels of chemical resistance 28 . A further consideration is the effects of thermal cycling which can cause delamination of these films due to TEC mismatches. If the second order package is required to protect the device the sealing processes developed by the IC industry and described in Section can be used. In the case of MEMS packaging second order capping can be further complicated by the functionality of the device. The most common example of this is in pressure sensors where a stainless steel diaphragm in the second order package is used to provide media isolation 29 . Stainless steel offers excellent levels of chemical resistance and possesses good mechanical properties making it an ideal material for such a barrier diaphragm. This diaphragm must not only protect the sensor but transmit the media pressure to it. This is typically achieved by placing the sensing die in an oil-filled chamber behind the stainless steel diaphragm see Figure . The pressure exerted on the stainless steel diaphragm is transmitted through the hydraulic oil to the sensor diaphragm. Both the stainless steel diaphragm and the oil used to fill .
Quốc Hiển
41
20
pdf
Báo lỗi
Trùng lắp nội dung
Văn hóa đồi trụy
Phản động
Bản quyền
File lỗi
Khác
Upload
Tải xuống
đang nạp các trang xem trước
Không thể tạo bản xem trước, hãy bấm tải xuống
Tải xuống
TÀI LIỆU LIÊN QUAN
Chương trình giáo dục đại học ngành Công nghệ chế tạo máy
21
250
0
Đề thi cuối học kỳ I năm học 2015-2016 môn Cơ sở công nghệ chế tạo máy (Mã đề 01) - ĐH Sư phạm Kỹ thuật
5
169
2
Đề thi cuối học kỳ II năm học 2015-2016 môn Cơ sở công nghệ chế tạo máy (Mã đề 01) - ĐH Sư phạm Kỹ thuật
4
249
2
Đề thi cuối học kỳ II năm học 2019-2020 môn Cơ sở công nghệ chế tạo máy (Mã đề 01) - ĐH Sư phạm Kỹ thuật
5
190
4
Hướng dẫn đồ án công nghệ chế tạo máy - Phụ lục I
41
274
2
HIỆN TRẠNG CÔNG NGHỆ TẠO MẪU NHANH (RP Y2010)
51
249
0
Thiết Kế Chi Tiết Máy Trên Máy Tính: Phần 2 - GS TS An Hiệp, PGS TS Trần Vĩnh Hưng, KS Nguyễn Văn Hiệp
124
229
1
Chế tạo "ống xả sạch" xử lý ô nhiễm trên ô-tô
47
249
0
Thiết kế chế tạo mô hình máy phay CNC điều khiển hai trục
118
290
14
CÁC PHƯƠNG PHÁP HÀN ÁP DỤNG TRONG CÔNG NGHIỆP TÀU THỦY
100
287
6
TÀI LIỆU XEM NHIỀU
Một Case Về Hematology (1)
8
461857
55
Giới thiệu :Lập trình mã nguồn mở
14
22593
58
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
10882
529
Câu hỏi và đáp án bài tập tình huống Quản trị học
14
10047
445
Phân tích và làm rõ ý kiến sau: “Bài thơ Tự tình II vừa nói lên bi kịch duyên phận vừa cho thấy khát vọng sống, khát vọng hạnh phúc của Hồ Xuân Hương”
3
9513
104
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8267
1124
Tiểu luận: Nội dung tư tưởng Hồ Chí Minh về đạo đức
16
8216
423
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
7862
2220
Đề tài: Dự án kinh doanh thời trang quần áo nữ
17
6669
253
Vật lý hạt cơ bản (1)
29
5765
85
TỪ KHÓA LIÊN QUAN
Cơ khí - Chế tạo máy
cơ khí chế tạo máy
tài liệu cơ khí
sổ tay cơ khí
hướng dẫn cơ khí
ôn thi cơ khí
Ngành Công nghệ chế tạo máy
Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
Hệ thống cơ khí chế tạo máy
Đề thi học kỳ
Công nghệ chế tạo máy
Đề thi Công nghệ chế tạo máy
Bài tập Công nghệ chế tạo máy
Cơ khí máy
Cơ sở công nghệ chế tạo máy
động cơ đốt trong
gia công cơ khí
giáo trình công nghệ chế tạo máy
vẽ kỹ thuật cơ khí
sổ tay thiết kế cơ khí
công nghệ cơ khí
đồ án công nghệ
chế tạo máy
tính lượng dư gia công
thiết kế đồ gá
gia công vật liệu
cơ khí động lực
chế tạo nhanh
cơ khí chế tạo
kỹ thuật cơ khí
công nghệ chế tạo
cơ kỹ thuật
Thiết Kế Chi Tiết Máy
khí thải ô tô
Chế tạo ống xả sạch
xử lý ô nhiễm trên ô tô
Cơ khí ô tô
ô nhiễm môi trường
bộ lọc khí xả
Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
Đồ án cơ khí chế tạo máy
Đồ án công nghệ chế tạo máy
Đồ án chế tạo máy
Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
Đề tài chế tạo máy CNC
cơ cấu phân phối khí
phương pháp hàn
công nghiệp tàu thủy
Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
Quá trình sản xuất cơ khí
máy tiện ren vít vạn năng
tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
tài liệu môn cơ khí chế tạo
cách vẽ môn cơ khí chế tạo
học môn cơ khí chế tạo
Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
Chương trình đào tạo Tiến sĩ
Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
Đề cương Kỹ thuật cơ khí
Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
Thiết kế đồ án chế tạo máy
Kỹ thuật chế tạo máy
Gia công chế tạo máy
Chi tiết máy
Inventor
Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
Sổ tay công nghệ chế tạo máy
Sử dụng rôbốt công nghiệp
chuyên đề tốt nghiệp
báo cáo thực tập
đồ án kỹ thuật
kỹ thuật xây dựng
Khoa học công nghệ
Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
Ngành Cơ khí chế tạo
Cơ khí lắp ráp máy
Cơ khí đường sắt
công nghệ chế tạo phụ tùng
bài giảng môn cơ khí
tài liệu môn chế tạo máy
kiến thức về chế tạo máy
cơ khí giao thông
công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
Động cơ đốt trong và máy kéo công nghiêp tập 1 part 7
23
257
0
24-04-2024
BeginningMac OS X Tiger Dashboard Widget Development 2006 phần 2
34
208
0
24-04-2024
BÀI GIẢNG VỀ - MẠCH ĐIỆN II - Chương I: Phân tích mạch trong miền thời gian
38
140
0
24-04-2024
B2B Content Marketing: 2012 Benchmarks, Budgets & Trends
17
138
0
24-04-2024
QUẢN LÝ CHẤT LƯỢNG KHÔNG KHÍ
75
136
0
24-04-2024
XỬ TRÍ CHẤN THƯƠNG SỌ NÃO KÍN
1
113
1
24-04-2024
Giáo trình tổng quan khoa học thông tin và thư viện part 7
22
143
2
24-04-2024
Data Structures and Algorithms - Chapter 8: Heaps
41
117
0
24-04-2024
Bài Tiểu Luận Chuyên Đề Tổ Chức Hoạt Động Nhận Thức Trong Dạy Học Vật Lý " Định Luật Ôm Cho Các Loại Đoạn Mạch Chứa Nguồn Điện"
10
150
3
24-04-2024
Lãi suất cơ bản, công cụ quan trọng của chính sách tiền tệ
5
111
0
24-04-2024
TÀI LIỆU HOT
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
7862
2220
Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)
152
5674
1348
Ebook Chào con ba mẹ đã sẵn sàng
112
3757
1230
Ebook Tuyển tập đề bài và bài văn nghị luận xã hội: Phần 1
62
5307
1135
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8267
1124
Giáo trình Văn hóa kinh doanh - PGS.TS. Dương Thị Liễu
561
3483
641
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
10882
529
Giáo trình Sinh lí học trẻ em: Phần 1 - TS Lê Thanh Vân
122
3677
525
Giáo trình Pháp luật đại cương: Phần 1 - NXB ĐH Sư Phạm
274
4039
514
Bài tập nhóm quản lý dự án: Dự án xây dựng quán cafe
35
4120
480
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.