TAILIEUCHUNG - MEMS Advanced Materials and Fabrication Methods - Nat. Aca. Press Part 10

Tham khảo tài liệu 'mems advanced materials and fabrication methods - nat. aca. press part 10', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | Microelectromechanical Systems Advanced Materials and Fabrication Methods 1997 http openbook 0309059801 html copyright 1997 2000 The National Academy of Sciences all rights reserved 50 ADVANCED MA TERIALS AND EA8RICATI0N METHODS EOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS is currently the most common way to measure MEMS performance but the development of in-process wafer-level testing will be necessary for low-cost manufacturing. Waferlevel testing of MEMS presents special challenges that are often product dependent. Nevertheless generic test-structures that indicate basic mechanical properties of MEMS materials at the wafer level should be developed and characterized. As more and more industries universities and other research groups enter the MEMS field it is also becoming increasingly important to provide accepted standards that can be used for comparison. Conclusion. Packaging which has traditionally attracted little interest compared to device and process development represents a critical stumbling block to the development and manufacture of commercial and military MEMS. The imbalance between the ease with which batch-fabricated MEMS can be produced and the difficulty and cost of packaging them Emits the speed with which new MEMS can be introduced into the market. Alleviating the difficulties of packaging will require a better understanding of 1 the effects of internal friction Coulomb friction and wear at solid-solid interfaces and 2 the influence of interfaces on performance and reliability. Test and characterization methods and metrologies are general requirements for continued MEMS development and manufacturing advances. Finally expanding the small knowledge base in this field and disseminating advances aggressively could have a profound influence on the rapid growth of MEMS. Recommendation. Research and development should be pursued on 1 MEMS interfaces with operating environments 2 MEMS packaging and 3 MEMS assembly into useful engineering .

TỪ KHÓA LIÊN QUAN
TAILIEUCHUNG - Chia sẻ tài liệu không giới hạn
Địa chỉ : 444 Hoang Hoa Tham, Hanoi, Viet Nam
Website : tailieuchung.com
Email : tailieuchung20@gmail.com
Tailieuchung.com là thư viện tài liệu trực tuyến, nơi chia sẽ trao đổi hàng triệu tài liệu như luận văn đồ án, sách, giáo trình, đề thi.
Chúng tôi không chịu trách nhiệm liên quan đến các vấn đề bản quyền nội dung tài liệu được thành viên tự nguyện đăng tải lên, nếu phát hiện thấy tài liệu xấu hoặc tài liệu có bản quyền xin hãy email cho chúng tôi.
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.