TAILIEUCHUNG - The MEMS Handbook (1st Ed) - M. Gad el Hak Part 14

Tham khảo tài liệu 'the mems handbook (1st ed) - m. gad el hak part 14', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | amount of backlash built into the system. A third problem relates to the ability of the hinge to pivot. Often there is not a large rotational moment to rotate the mirror out of plane when planar hinged structures are connected to planar-surface-micromachined actuators. This means that the designer must take great care to ensure that the hinge always rotates in the correct direction. Failure Mechanisms in MEMS One of the most effective ways we can learn is to learn from our own mistakes. This can be a memorable experience but in the field of MEMS it can be a very expensive and inefficient one. One reason is that the time between design completion and testing is usually measured in months and the price per fabrication run is many thousands of dollars. As of the year 2000 there were only rudimentary modeling and simulation tools available for surface-micromachined mechanisms. This section seeks to share learning obtained at the expense of others by describing some mechanical failures in surface-micromachined mechanisms. The hope is that the reader will gain a deeper appreciation for the complexities of surface-micromachined mechanism design and learn about some of the pitfalls. Vertical Play and Mechanical Interference in Out-of-Plane Structures Surface-micromachined parts typically have a thickness that is very small in relationship to their width or breadth. In the out-of-plane direction the thickness is limited to a few micrometers due to the limited deposition rates of low-pressure chemical vapor deposition LPCVD systems and the stresses in the deposited films. In the plane of the substrate structures can be millimeters across. These factors typically lead to surface-micromachined structures that have a very small aspect ratio as well as stiffness issues in the out-of-plane direction due to the limited thickness of the parts. The result is that designers of surfacemicromachines need to design structures in three dimensions and account for potential .

• Cơ khí - Chế tạo máy
• cơ khí chế tạo máy
• tài liệu cơ khí
• sổ tay cơ khí
• hướng dẫn cơ khí
• ôn thi cơ khí
• Ngành Công nghệ chế tạo máy
• Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
• Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
• Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
• Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
• Hệ thống cơ khí chế tạo máy
• Đề thi học kỳ
• Công nghệ chế tạo máy
• Đề thi Công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Công nghệ chế tạo máy
• Cơ khí máy
• Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• động cơ đốt trong
• gia công cơ khí
• giáo trình công nghệ chế tạo máy
• vẽ kỹ thuật cơ khí
• sổ tay thiết kế cơ khí
• công nghệ cơ khí
• đồ án công nghệ
• chế tạo máy
• tính lượng dư gia công
• thiết kế đồ gá
• gia công vật liệu
• cơ khí động lực
• chế tạo nhanh
• cơ khí chế tạo
• kỹ thuật cơ khí
• công nghệ chế tạo
• cơ kỹ thuật
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• khí thải ô tô
• Chế tạo ống xả sạch
• xử lý ô nhiễm trên ô tô
• Cơ khí ô tô
• ô nhiễm môi trường
• bộ lọc khí xả
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
• Đồ án cơ khí chế tạo máy
• Đồ án công nghệ chế tạo máy
• Đồ án chế tạo máy
• Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
• Đề tài chế tạo máy CNC
• cơ cấu phân phối khí
• phương pháp hàn
• công nghiệp tàu thủy
• Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
• Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
• Quá trình sản xuất cơ khí
• máy tiện ren vít vạn năng
• tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
• tài liệu môn cơ khí chế tạo
• cách vẽ môn cơ khí chế tạo
• học môn cơ khí chế tạo
• Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Thiết kế đồ án chế tạo máy
• Kỹ thuật chế tạo máy
• Gia công chế tạo máy
• Chi tiết máy
• Inventor
• Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
• Sổ tay công nghệ chế tạo máy
• Sử dụng rôbốt công nghiệp
• chuyên đề tốt nghiệp
• báo cáo thực tập
• đồ án kỹ thuật
• kỹ thuật xây dựng
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Ngành Cơ khí chế tạo
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt
• công nghệ chế tạo phụ tùng
• bài giảng môn cơ khí
• tài liệu môn chế tạo máy
• kiến thức về chế tạo máy
• cơ khí giao thông
• công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp