TAILIEUCHUNG - The MEMS Handbook (1st Ed) - M. Gad el Hak Part 7

Tham khảo tài liệu 'the mems handbook (1st ed) - m. gad el hak part 7', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | Decorating armor. From Harris T. W. Chemical Milling Clarendon Press Oxford 1976. With permission. Isotropic etching has been used in silicon semiconductor processing since its beginning in the early 1950s. Representative work from that period is the impressive series of papers by Robbins and Schwartz 1959 1960 and Schwartz and Robbins 1961 1976 on chemical isotropic etching and Uhlir s paper on electrochemical isotropic etching Uhlir 1956 . The usual chemical isotropic etchant used for silicon was HF in combination with HNO3 with or without acetic acid or water as diluent Robbins and Schwartz 1959 1960 Schwartz and Robbins 1961 1976 . The early work on isotropic etching in an electrochemical cell . electropolishing was carried out mostly in nonaqueous solutions avoiding black or red deposits that formed on the silicon surface in aqueous solutions Hallas 1971 . Turner showed that if a critical current density is exceeded silicon can be electropolished in aqueous HF solutions without the formation of any deposits Turner 1958 . In the mid-1960s the Bell Telephone Laboratories started the work on anisotropic Si etching in mixtures of at first KOH water and alcohol and later in KOH and water. This need for high aspect ratio cuts in silicon arose for making dielectrically isolated structures in integrated circuits such as for beam leads. Chemical and electrochemical anisotropic etching methods were pursued Stoller and Wolff 1966 Stoller 1970 Forster and Singleton 1966 Kenney 1967 Lepselter 1966 1967 Waggener 1970 Kragness and Waggener 1973 Waggener et al. 1967a 1967b Bean and Runyan 1977 . In the mid-1970s a new surge of activity in anisotropic etching was associated with the work on V-groove and U-groove transistors Rodgers et al. 1976 1977 Ammar and Rodgers 1980 . The first use of Si as a micromechanical element can be traced back to a discovery and an idea from the mid-1950s and early 1960s respectively. The discovery was the large piezoresistance in Si and Ge by

• Cơ khí - Chế tạo máy
• cơ khí chế tạo máy
• tài liệu cơ khí
• sổ tay cơ khí
• hướng dẫn cơ khí
• ôn thi cơ khí
• Ngành Công nghệ chế tạo máy
• Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
• Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
• Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
• Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
• Hệ thống cơ khí chế tạo máy
• Đề thi học kỳ
• Công nghệ chế tạo máy
• Đề thi Công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Công nghệ chế tạo máy
• Cơ khí máy
• Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• động cơ đốt trong
• gia công cơ khí
• giáo trình công nghệ chế tạo máy
• vẽ kỹ thuật cơ khí
• sổ tay thiết kế cơ khí
• công nghệ cơ khí
• đồ án công nghệ
• chế tạo máy
• tính lượng dư gia công
• thiết kế đồ gá
• gia công vật liệu
• cơ khí động lực
• chế tạo nhanh
• cơ khí chế tạo
• kỹ thuật cơ khí
• công nghệ chế tạo
• cơ kỹ thuật
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• khí thải ô tô
• Chế tạo ống xả sạch
• xử lý ô nhiễm trên ô tô
• Cơ khí ô tô
• ô nhiễm môi trường
• bộ lọc khí xả
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
• Đồ án cơ khí chế tạo máy
• Đồ án công nghệ chế tạo máy
• Đồ án chế tạo máy
• Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
• Đề tài chế tạo máy CNC
• cơ cấu phân phối khí
• phương pháp hàn
• công nghiệp tàu thủy
• Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
• Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
• Quá trình sản xuất cơ khí
• máy tiện ren vít vạn năng
• tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
• tài liệu môn cơ khí chế tạo
• cách vẽ môn cơ khí chế tạo
• học môn cơ khí chế tạo
• Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Thiết kế đồ án chế tạo máy
• Kỹ thuật chế tạo máy
• Gia công chế tạo máy
• Chi tiết máy
• Inventor
• Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
• Sổ tay công nghệ chế tạo máy
• Sử dụng rôbốt công nghiệp
• chuyên đề tốt nghiệp
• báo cáo thực tập
• đồ án kỹ thuật
• kỹ thuật xây dựng
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Ngành Cơ khí chế tạo
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt
• công nghệ chế tạo phụ tùng
• bài giảng môn cơ khí
• tài liệu môn chế tạo máy
• kiến thức về chế tạo máy
• cơ khí giao thông
• công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp