TAILIEUCHUNG - Báo cáo vật lý: "KAJIAN MENGENAI KESAN SUHU, KEPEKATAN LARUTAN KOH DAN TEMPOH PUNARAN TERHADAP PEMBENTUKAN KEADAAN POTONG BAWAH PENJURU DIAFRAM BERALUN SILIKON"

Tuyển tập các báo cáo nghiên cứu khoa học trên tạp chí khoa học vật lý quốc tế đề tài: KAJIAN MENGENAI KESAN SUHU, KEPEKATAN LARUTAN KOH DAN TEMPOH PUNARAN TERHADAP PEMBENTUKAN KEADAAN POTONG BAWAH PENJURU DIAFRAM BERALUN SILIKON | Journal of Physical Science Vol. 17 2 79-100 2006 79 KAJIAN MENGENAI KESAN SUHU KEPEKATAN LARUTAN KOH DAN TEMPOH PUNARAN TERHADAP PEMBENTUKAN KEADAAN POTONG BAWAH PENJURU DIAFRAM BERALUN SILIKON Norhayati Soin1 dan Burhanuddin Yeop Majlis2 Jabatan Kejuruteraan Elektrik Fakulti Kejuruteraan Universiti Malaya 50603 Kuala Lumpur 2Institut Kejuruteraan Mikro dan Nanoelektronik IMEN Universiti Kebangsaan Malaysia 43600 Bangi Selangor Darul Ehsan Malaysia Corresponding author norhayatisoin@ Abstrak Artikel ini membentangkan hasil kajian simulasi mengenai kesan suhu dan kepekatan larutan kalium hidroksida KOH ke atas keadaan potong bawah penjuru yang terhasil pada struktur-struktur penjuru cembung diafram beralun silikon berorientasi 100 . Diafram yang terlibat dalam kajian ini dihasilkan dengan menggunakan teknik punaran anisotropik dengan larutan KOH sebagai larutan pemunar. Kerja-kerja simulasi telah dijalankan dengan menggunakan perisian proses punaran anisotropik Intellisuite. Berdasarkan geometri struktur penjuru cembung terpunar dan kemunculan satah-satah baru silikon keadaan potong bawah penjuru didapati lebih ketara dengan peningkatan suhu dan penurunan kepekatan KOH. Kata kunci potong bawah penjuru punaran anisotropik diafram beralun Abstract This paper presents the results of simulation study on the effect of the temperature and concentration of the kalium hydroxide KOH etchants on the cornerundercutting phenomenon with respect to the formation of the silicon 100 corrugated diaphragm using KOH anisotropic etching. The Intellisuite process simulation software has been used in this study. Based on the geometrical etched structure of the convex corners and the emergent of the new silicon planes the convex corner-undercutting phenomenon is found to be much more pronounced with increasing temperature and decreasing concentration of the KOH etchants. Keywords anisotropic etching corner undercutting corrugated diaphragm 1. PENGENALAN Punaran anisotropik ke .

• Báo cáo khoa học
• tài liệu báo cáo nghiên cứu khoa học
• cách trình bày báo cáo
• kiến thức vật lý
• báo cáo vật lý
• các nghiên cứu vật lý
• Nghiên cứu khoa học
• Phương pháp nghiên cứu khoa học
• Bài giảng Phương pháp nghiên cứu khoa học
• Báo cáo nghiên cứu khoa học
• Trình bày báo cáo nghiên cứu khoa học
• Văn phong sử dụng trong báo cáo khoa học
• Báo cáo khoa học công nghệ
• Đề tài nghiên cứu khoa học
• Nghiên cứu công nghệ làm phân vi sinh
• Báo cáo nghiên cứu phân vi sinh
• Báo cáo tình hình nghiên cứu khoa học
• Mẫu Báo cáo thực hiện nghiên cứu
• Trình bày Báo cáo thực hiện nghiên cứu
• Nội dung Báo cáo thực hiện nghiên cứu
• Hình thức Báo cáo thực hiện nghiên cứu
• Biên bản nghiên cứu khoa học
• Báo cáo khoa học và kỹ thuật
• Đề tài nghiên cứu khoa học y khoa
• Báo cáo nghiên cứu cấp nhà nước
• Nghiên cứu chất lượng chế phẩm thuốc
• Báo cáo nghiên cứu công nghệ sinh học
• Đề tài nghiên cứu thuốc sâu sinh học
• Báo cáo khoa học kỹ thuật
• Báo cáo quản lý chất thải sinh hoạt
• Báo cáo khoa học môi trường
• Nghiên cứu khoa học về môi trường
• Báo cáo nghiên cứu vệ sinh môi trường
• Nghiên cứu tình hình nhiễm độc Cadimi
• Báo cáo chế phẩm sinh học
• Báo cáo nghiên cứu ứng dụng sinh học
• Cách viết báo cáo khoa học
• Quy trình nghiên cứu khoa học
• Báo cáo kết quả nghiên cứu
• báo cáo khoa học
• tuyển tập báo cáo khoa học
• báo cáo ngành toán học
• báo cáo ngành vật lý
• báo cáo ngành chăn nuôi
• Nghiên cứu công nghệ phôi vô tính
• Báo cáo nghiên cứu nông nghiệp
• Báo cáo công nghệ xử lý chất thải
• Báo cáo nghiên cứu khoa học công nghệ
• Kết quả nghiên cứu lúa lai
• Cây lương thực
• Cây thực phẩm
• Một số nguyên tắc nghiên cứu khoa học
• Tiêu chuẩn báo cáo nghiên cứu khoa học
• Nguyên tắc báo cáo khoa học
• Báo cáo nghiên cứu công trình
• Nghiên cứu độ rỗng trong đá chứa dầu khí
• Nghiên cứu công nghệ UV–Fenton
• Nghiên cứu công nghệ xử lý nước thải
• Đề tài y tế đảm bảo an toàn người bệnh
• Báo cáo xây dựng hệ thống y tế
• Kỹ thuật viết báo cáo nghiên cứu
• Viết báo cáo nghiên cứu
• Báo cáo nghiên cứu
• khoa học
• Hình thức soạn thảo văn bản báo cáo
• Báo cáo nghiên cứu nước thải rượu
• Báo cáo công nghệ thiết bị UASB
• Đề tài công nghệ vi sinh
• luận văn mẫu
• người lính việt nam
• sau chiến tranh
• báo cáo ngành triết học
• báo cáo ngành lịch sử
• báo cáo ngành văn học