Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Sức khỏe - Y tế
Văn bản luật
Nông Lâm Ngư
Kỹ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Tài liệu HOT
Tìm
Danh mục
Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Y tế sức khỏe
Văn bản luật
Nông lâm ngư
Kĩ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Thông tin
Điều khoản sử dụng
Quy định bảo mật
Quy chế hoạt động
Chính sách bản quyền
0
Trang chủ
Kỹ Thuật - Công Nghệ
Điện - Điện tử
Đề tài seminar : Khắc bằng chùm điện tử
TAILIEUCHUNG - Đề tài seminar : Khắc bằng chùm điện tử
Electron beam lithography (EBL) là thuật ngữ chỉ công nghệ tạo các chi tiết trên bề mặt (các phiến Si.) có kích thước và hình dạng giống như thiết kế bằng cách sử dụng chùm điện tử có năng lượng cao làm biến đổi các chất cản quang phủ trên bề mặt phiến. EBL là một công cụ phổ biến trong công nghệ nanô để tạo ra các chi tiết, các linh kiện có kích thước nhỏ với độ chính xác cực cao | Đề tài seminar : Khắc bằng chùm điện tử Nhóm 6 : Thành viên : 1. Phạm văn Thanh 2. Phạm văn Cường 3. Nguyễn văn Cường 4. Nguyễn xuân Thái 5. Nguyễn hữu Kiên văn Mạnh văn Dũng 8. Bùi văn Phong Quang khắc chùm điện tử Electron beam lithography (EBL) là thuật ngữ chỉ công nghệ tạo các chi tiết trên bề mặt (các phiến Si.) có kích thước và hình dạng giống như thiết kế bằng cách sử dụng chùm điện tử có năng lượng cao làm biến đổi các chất cản quang phủ trên bề mặt phiến. EBL là một công cụ phổ biến trong công nghệ nanô để tạo ra các chi tiết, các linh kiện có kích thước nhỏ với độ chính xác cực cao. NGUYÊN LÝ CỦA EBL Cấu tạo của thiết bị EBL gần giống như một kính hiển vi điện tử quét, có nghĩa là tạo chùm điện tử có năng lượng cao, sau đó khuếch đại và thu hẹp nhờ hệ thấu kính từ, rồi chiếu chùm điện tử trực tiếp lên mẫu cần tạo Khác với quang khắc truyền thống (photolithography), EBL sử dụng chùm điện tử nên không cần mặt nạ tạo hình mà chiếu trực tiếp chùm điện tử lên bề mặt mẫu, và dùng các cuộn dây để quét điện tử nhằm vẽ ra các chi tiết cần tạo. Chùm điện tử của các EBL mạnh có thể có kích thước từ vài nm đến hàng trăm nm. NGUYÊN LÝ CỦA EBL Bề mặt của phiến được phủ một hợp chất hữu cơ gọi là chất cản quang (resist) . Chất này bị biến đổi tính chất dưới tác dụng của chùm điện tử Nguyên lý 2 phương pháp trong EBL Nguyên lý 2 phương pháp trong EBL: kỹ thuật liff-off (trái) và kỹ thuật ăn mòn (phải) Một số loại cản quang và độ phân giải của chúng Kỹ thuật lift-off PHỦ LỚP CẢN QUANG DƯƠNG LÊN ĐẾ PHẦN CẢN QUANG DƯƠNG ĐƯỢC CHIẾU SÁNG SẼ BỊ ĂN MÒN ĐỂ LẠI KHUÔN CÓ HÌNH DẠNG VẬT LIỆU CẦN TẠO SỬ DỤNG PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY VẬT LIỆU ĐỂ PHỦ VẬT LIỆU LÊN KHUÔN LOẠI BỎ KHUÔN CẢN QUANG THU ĐƯỢC VẬT LIỆU CÓ HÌNH DẠNG MONG MUỐN TRÊN ĐẾ Kỹ thuật ăn mòn NGƯỜI TA PHỦ LÊN TẤM ĐẾ LỚP VẬT LIỆU TẠO KHUÔN SAU ĐÓ PHỦ LỚP CẢN QUANG ÂM LÊN TRÊN. SAU KHI TRÁNG RỬA, PHẦN CẢN QUANG ÂM ĐƯỢC CHIẾU SÁNG SẼ KHÔNG BỊ ĂN MÒN, PHẦN CẢN QUANG KHÔNG ĐƯỢC CHIẾU SÁNG BỊ ĂN MÒN ĐỂ LỘ RA LỚP VẬT LIỆU. ĂN MÒN LỚP VẬT LIỆU LỘ RA LOẠI BỎ LỚP CẢN QUANG, NGƯỜI TA THU ĐƯỢC VẬT LIÊU CẦN CHẾ TẠO PHƯƠNG PHÁP EBL Ưu Điểm : •Vì dùng chùm điện tử nên có khả năng tạo chùm tia hẹp hơn rất nhiều so với ánh sáng, do đó có thể tạo các chi tiết có độ phân giải cao và kích thước nhỏ hơn rất nhiều so với photolithography. •Dễ dàng tạo các chi tiết phức tạp. •Chùm điện tử có thể điều khiển quét trên bề mặt mẫu bằng cách cuộn dây nên có thể vẽ trực tiếp chi tiết mà không cần mặt nạ như photolithography Nhược Điểm : Phương pháp EBL chậm hơn nhiều so với photolithography ,rất đắt tiền Ứng Dụng ViệnCôngnghệ Massachuset (MIT, Mỹ) vừa tìm được cách chế tạo chip với các kích thước chi tiết 9nm. Kỷ lục công nghệ đạt được trong phòng thí nghiệm trước đây là 25nm. Các tấm wafer để sản xuất chip Ứng Dụng Có kích thước cực nhỏ: 0,15 x 0,15 mm và bề dày chỉ 7,5 micro mét Ứng Dụng Thanks for Watching
Ân Lai
207
15
ppt
Báo lỗi
Trùng lắp nội dung
Văn hóa đồi trụy
Phản động
Bản quyền
File lỗi
Khác
Upload
Tải xuống
đang nạp các trang xem trước
Bấm vào đây để xem trước nội dung
Tải xuống
TÀI LIỆU LIÊN QUAN
Bài giảng gia công bằng chùm tia điện tử
15
140
4
Phương pháp gia công chùm tia điện tử
14
70
0
Ứng dụng công nghệ chiếu xạ trên máy gia tốc chùm tia điện tử trong xử lý môi trường
10
21
1
Ảnh hưởng của bức xạ chùm tia điện tử đến các tính chất đặc trưng của graphite giãn nở
7
1
1
Ảnh hưởng của chếu xạ chùm tia điện tử đến đặc trưng của dung dịch carrageenan
6
1
1
Đề tài Vật lý: Phát xạ nhiệt điện tử
65
89
0
Nghiên cứu tính chất điện của màng Ge pha tạp điện tử từ nguồn rắn GaP và Sb bằng phương pháp epitaxy chùm phân tử
6
85
0
Tổng quan các ứng dụng của công nghệ chùm tia điện tử (EBT) trong xử lý khí thải nhiệt điện đốt than, xử lý hợp chất hữu cơ dễ bay hơi (VOCs) và biến tính vật liệu polyme
9
6
1
Sự tự nén của carbon onions dưới tác dụng của chùm điện tử
8
53
0
Công nghệ bức xạ chùm điện tử (EB) và những ứng dụng trong xử lý ô nhiễm môi trường
9
5
1
TÀI LIỆU XEM NHIỀU
Một Case Về Hematology (1)
8
461846
55
Giới thiệu :Lập trình mã nguồn mở
14
22513
57
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
10863
529
Câu hỏi và đáp án bài tập tình huống Quản trị học
14
10028
445
Phân tích và làm rõ ý kiến sau: “Bài thơ Tự tình II vừa nói lên bi kịch duyên phận vừa cho thấy khát vọng sống, khát vọng hạnh phúc của Hồ Xuân Hương”
3
9489
104
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8242
1124
Tiểu luận: Nội dung tư tưởng Hồ Chí Minh về đạo đức
16
8200
423
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
7859
2219
Đề tài: Dự án kinh doanh thời trang quần áo nữ
17
6643
253
Vật lý hạt cơ bản (1)
29
5754
85
TỪ KHÓA LIÊN QUAN
Điện - Điện tử
chùm điện tử
Bài tập Cơ sở dữ liệu
Seminar môn Cơ sở dữ liệu
Tối ưu hóa câu hỏi
thuật toán
quản lý thư viện
Bài giảng gia công bằng chùm tia điện tử
Phương pháp gia công
Nguyên lý gia công
Gia công bằng chùm tia điện tử
Hàn bằng chùm tia
Kỹ thuật gia công
phương pháp gia công chùm tia điện tử
Nguyên lý gia công chùm điện tử
Lý thuyết gia công
Gia công đặc biệt
Công nghệ bức xạ
Chùm tia điện tử
Công nghệ chiếu xạ
Máy gia tốc chùm tia điện tử
Xử lý môi trường
Graphite giãn nở
Bức xạ chùm tia điện tử
Bức xạ ion hóa
Phương pháp phân tích phổ FTIR
Dung dịch carrageenan
Chế tạo oligocar từ carrageenan
Phổ UV Vis
Đề tài Vật lý
Phát xạ nhiệt điện tử
Lý thuyết phát xạ nhiệt điện tử
Phương pháp làm tăng dòng phát xạ
Điều khiển chùm điện tử phát xạ
Ứng dụng chùm điện tử phát xạ
Điện trở suất
Mật độ điện tử
Phổ huỳnh quang
Tính chất điện của màng Ge
Nguồn rắn GaP
Phương pháp nuôi cấy chùm phân tử
Công nghệ chùm điện tử
Khí thải nhiệt điện đốt than
Hợp chất hữu cơ dễ bay hơi
Phức chất đất hiếm europi
Nhà máy nhiệt điện đốt than
Tạp chí phân tích
Sự tự nén của carbon onions
Kính hiển vi điện tử
Hợp chất cacbon
Công nghệ bức xạ chùm điện tử
Ô nhiễm môi trường
hợp chất hữu cơ khó phân hủy
Máy gia tốc điện tử công nghiệp
Cấu tạo một hệ thống EB
Dự thảo Tóm tắt Luận án Tiến sĩ
Tóm tắt Luận án Tiến sĩ
Luận án Tiến sĩ
Vật lý nguyên tử và hạt nhân
Ứng dụng phản ứng hạt nhân
Chùm hạt tích điện
Công nghệ bức xạ chùm tia điện tử
Chất thải công nghiệp nguy hại
Xử lí chất thải
Hệ thống thương mại xử lí khí thải
Cấu trúc kim cương
Sự tự nén của carbon
Cấu trúc hành carbon
Chùm điện tử chiếu xạ
Carbon onions
Tạp chí Khoa học
Nước thải dệt nhuộm
Chiếu xạ chùm tia điện tử
Môi trường sinh thái
Oxy hóa học
Xử lý nước thải dệt nhuộm
Phương pháp chiếu xạ chùm tia điện tử
Xử lý nước thải dệt nhuộm qui mô công nghiệp
Công nghệ bức xạ năng lượng
Tinh bột khoai tây
Biến tính tinh bột
Chiếu xạ Electron Beam
Chiếu xạ chùm tia điện tử EB
Hàm lượng acid tự do
Xoài cát Hòa Lộc
Chất lượng xoài cát Hòa Lộc
Mô phỏng Monte Carlo
Chiếu xạ EB
Phương pháp chiếu xạ EB
Oxy sinh học
Hoạt tính kháng khuẩn
Vật liệu nano
Trợ lọc thực phẩm
quang xúc tác
Xử lý kháng khuẩn
Xúc tác quang hoá
Chế tạo Ag nano/TiO2
Xúc tác quang phân hủy Rhodamine B
Xử lý sinh học
Mô hình sinh học hiếu khí
Vi sinh vật
Vi khuẩn Xanthomonas sp
Nấm Guignardia sp
Chăm sóc cây cam sành
Tạp chí Khoa học và Công nghệ
Tăng trưởng hai bước
Epitaxy chùm phân tử
Ứng dụng quang điện tử
Tăng trưởng dạng đảo của germani
Hiệu ứng trong suốt cảm ứng điện tử
Hệ số tán sắc
Hệ số hấp thụ
Chùm điều khiển
Hệ nguyên tử 85Rb
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
Bibliography on Medieval Women, Gender, and Medicine 1980-2009
82
205
0
19-04-2024
beginning Ubuntu Linux phần 1
34
211
1
19-04-2024
Anh văn bằng C-124
8
170
0
19-04-2024
Magnetic Bearings Theory and Applications phần 2
14
170
0
19-04-2024
TƯƠNG QUAN GIỮA MÔ HỌC, GIẢI PHẪU VÀ HÌNH ẢNH CỦA CÁC KHỐI U PHẦN PHỤ
3
167
0
19-04-2024
HƯỚNG DẪN SỬ DỤNG PHẦN MỀM CAITA part 9
18
126
0
19-04-2024
New Trends and Developments in Automotive Industry Part 7
35
91
0
19-04-2024
GIÁO TRÌNH VI XỬ LÝ 1 - CHƯƠNG 5. LẬP TRÌNH CHO VI ĐIỀU KHIỂN 80C51
23
104
1
19-04-2024
Truyện kiếm hiệp - Duy ngã độc tôn phần 5/7
1
90
0
19-04-2024
MẪU CHỨNG CHỈ QUẢN LÝ VŨ KHÍ, VẬT LIỆU NỔ, CCHT
1
115
0
19-04-2024
TÀI LIỆU HOT
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
7859
2219
Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)
152
5598
1326
Ebook Chào con ba mẹ đã sẵn sàng
112
3751
1229
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8242
1124
Ebook Tuyển tập đề bài và bài văn nghị luận xã hội: Phần 1
62
5247
1124
Giáo trình Văn hóa kinh doanh - PGS.TS. Dương Thị Liễu
561
3472
641
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
10863
529
Giáo trình Sinh lí học trẻ em: Phần 1 - TS Lê Thanh Vân
122
3669
524
Giáo trình Pháp luật đại cương: Phần 1 - NXB ĐH Sư Phạm
274
4023
513
Bài tập nhóm quản lý dự án: Dự án xây dựng quán cafe
35
4099
478
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.