TAILIEUCHUNG - Sensors, Focus on Tactile, Force and Stress Sensors 2011 Part 14

Tham khảo tài liệu 'sensors, focus on tactile, force and stress sensors 2011 part 14', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | Compliant Tactile Sensors for High-Aspect-Ratio Form Metrology 381 microscopy AFM tips. Furthermore in contrast to AFM probes we located the tip at the bottom side of the cantilever. So robust tips of heights ranging from 10 to 200 pm could be realized while leaving the upper chip surface for a planar integration of the strain gauge. The cantilever deflection was measured using a balanced Wheatstone bridge located close to the cantilever clamping. Cantilever dimensions and bridge layout are displayed in Fig. 3. The large contact pads were provided for die testing and calibration. During the back-end processing of the probe head this area was used for the deposition of glue for the fixing of the sensor to the steel finger. Electrical connection was realized via wire bonds from the small pads on the sensor chip to a flexible circuit board glued onto the steel finger. sensor Fig. 3. Schematic of probe head based on a tactile cantilever sensor with enlarged representations of the probing tip and the Wheatstone bridge as well as the circuit diagram of the bridge and a temperature sensing device. Slender cantilevers of low stiffness as required for probing inside narrow and deep micro holes generate only small strain values upon tip deflection. Therefore a high gauge factor and an optimum location of the gauge on the cantilever were necessary to meet the sensitivity requirements. Simultaneously temperature drift susceptibility to ambient light power consumption and noise had to be kept as low as possible. As a trade-off we designed a full Wheatstone bridge of four p-type resistors of a sheet carrier concentration of 3 X 1014 cm-2 to obtain a bridge resistance of kQ for which we could expect a gauge factor of K 80 a temperature drift of 1 - 2 X 10-3 K noise of 1 pV in a bandwidth of 20 kHz and a power consumption of mW at U0 1 V. Vertical loading Using the cantilever sensor in Fig. 3 as a tactile sensor three directions of force application to the cantilever .

• Cơ khí - Chế tạo máy
• Kỹ thuật cơ khí
• cơ khí chế tạo máy
• tài liệu cơ khí
• sổ tay cơ khí
• hướng dẫn cơ khí
• đề thi cơ khí
• Đề cương Vẽ kỹ thuật cơ khí
• Chi tiết Vẽ kỹ thuật cơ khí
• Bài giảng Vẽ kỹ thuật cơ khí
• Vẽ kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu Vẽ kỹ thuật cơ khí
• Nội dung Vẽ kỹ thuật cơ khí
• Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật
• Kỹ thuật cơ khí và cơ kỹ thuật
• Cơ kỹ thuật
• Xây dựng mô hình cơ học
• Tính toán thiết kế thiết bị phát điện
• Năng lượng sóng biển
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Kỹ thuật máy công cụ
• Thang điểm đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Học phần đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Bài giảng Kỹ thuật cơ khí
• Truyền động cơ khí
• Tìm hiểu truyền động cơ khí
• Truyền động bánh ma sát
• Tài liệu Kỹ thuật cơ khí
• công nghệ cơ khí
• cơ khí động lực
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• Tiến sĩ Kỹ thuật Cơ khí
• Đào tạo Tiến sĩ Kỹ thuật Cơ khí
• Kỹ thuật hàn
• Đề cương học phần Kỹ thuật hàn
• Mục tiêu đào tạo Tiến sĩ Cơ khí
• Kiến thức đào tạo Tiến sĩ Cơ khí
• Công nghệ kỹ thuật cơ khí
• Giáo trình Vẽ kỹ thuật cơ khí
• Vẽ kỹ thuật
• Tiêu chuẩn nhà nước về bản vẽ
• Vẽ một số đường cong hình học
• Cách dựng hình chiếu trục đo
• Giáo trình Cơ sở kỹ thuật nhiệt lạnh
• Cơ sở kỹ thuật nhiệt lạnh
• Điều hòa không khí
• Giáo trình Nghề Kỹ thuật máy lạnh
• Cơ sở kỹ thuật lạnh
• Cơ sở kỹ thuật điều hòa không khí
• Trắc nghiệm thủy khí
• công nghệ nhiệt lạnh
• trắc nghiệm cơ khí
• Kỹ thuật dầu khí
• Cơ sở kỹ thuật dầu khí
• Bài giảng Cơ sở kỹ thuật dầu khí
• Cơ sở khoan dầu khí
• Giếng khoan dầu
• Phương pháp khoan dầu khí
• Công nghệ cơ khí chinh xác quang học
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Sửa chữa thiết bị chế biến dầu khí
• Chế biến dầu khí
• Kỹ thuật sửa chữa cơ khí
• Giáo trình Kỹ thuật sửa chữa cơ khí
• Kỹ thuật sửa chữa lắp đặt chi tiết máy
• Kỹ thuật bôi trơn và làm kín
• Phương pháp kiểm tra chi tiết máy
• Kỹ thuật Cơ khí Động lực
• Luận án Kỹ thuật cơ khí động lực
• Hệ thống cung cấp nhiên liệu
• Nhiên liệu diesel ethanol
• Kỹ thuật cơ khí tài liệu kỹ thuật cơ khí
• hướng dẫn kỹ thuật cơ khí
• giới thiệu về kỹ thuật cơ khí
• Lắp đặt máy nén khí
• Bảo dưỡng máy nén khí
• Kỹ thuật bôi trơn
• Kỹ thuật lắp đặt chi tiết máy
• Thiết bị chế biến dầu khí
• Phát triển phương pháp phân tích tín hiệu
• Ứng dụng phương pháp phân tích tín hiệu
• Phương pháp phân tích tín hiệu
• Chẩn đoán vết nứt kết cấu hệ thanh
• Dao động của dầm FGM
• Lỗ rỗng vi mô
• Môi trường nhiệt độ chịu tải trọng di động
• Thực tập cơ khí đại cương
• Kỹ thuật tiện
• Tài liệu về kỹ thuật cơ khí
• Công nghệ tiện cơ khí
• Công nghệ gia công cơ khí
• Phương pháp tiện cơ khí
• Báo cáo thực tập ngành cơ khí
• Thực tập ngành cơ khí
• Luận văn cơ khí
• Công nghệ chế tạo cơ khí
• Đề tài kỹ thuật cơ khí
• Thiết kế công trình công nghiệp cơ khí
• Qui hoạch công trình công nghiệp cơ khí
• Bản vẽ cơ khí