TAILIEUCHUNG - Sensors, Focus on Tactile, Force and Stress Sensors 2011 Part 3

Tham khảo tài liệu 'sensors, focus on tactile, force and stress sensors 2011 part 3', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | 51 CMOS Force Sensor with Scanning Signal Process Circuit for Vertical Probe Card a b Fig. 19. The probe tip touches down the membrane of sensor a actual experiment b CCD camera. 5. Conclusion Probe cards play an extremely important role in the semiconductor industry. In this study we designed a CMOS piezoresistive force sensor to be applied to the probe cards. Capable of simultaneously monitoring the probe reacting force and electrical signals the designed sensor can help operators immediately identify a broken or a deformed probe and recognize that the received signals are erroneous. The repair time and cost of the probes can therefore be reduced. Further we adopted the TSMC pm 2P4M process to fabricate the CMOS force sensor that can be integrated with the circuit. According to the measurement results the designed sensor reports an average sensitivity of mV MPa V and a load-bearing capacity ranging from 0 to 3 g. 6. Acknowledgements The author would like to thank . Contact Probes Co. Ltd. for their help. We also thank the Chip Implementation Center of the National Science Council Taiwan . for supporting the TSMC CMOS process. The fund is granted from NSC 94-2622-E-027 -o47 -CC3. 7. References Iscoff R. 1994 . What s in the cards for wafer probing Semiconductor. Int. June 1994 pp. 76 Gilg L. 1997 . Know good die Journal of Electronic Testing Theory and Applications vol. 1o issue 1-2 April 1997 pp. 2019 ISSN 0923-8174 Ghalichechian N. Khbeis M. Ma Z. Moghadam S. Tan X. 2002 . Piezo-resistor pressure sensor cluster ENEE605 Final Project Report Fall 2002 Department of Electrical and Computer Engineering Group 2 University of Maryland Malhair C. Barbier D. 2003 . Design of a polysilicon-on-insulator pressure sensor with original polysilicon layout for harsh environment Thin Solid Films vol. 427 issues 1-2 3 March 2003 pp. 362-366 ISSN 0040-6090 52 Sensors Focus on Tactile Force and Stress Sensors Yang L. J. Lai C. C. Dai C. L. Chang P. Z. .

• Cơ khí - Chế tạo máy
• Kỹ thuật cơ khí
• cơ khí chế tạo máy
• tài liệu cơ khí
• sổ tay cơ khí
• hướng dẫn cơ khí
• đề thi cơ khí
• Đề cương Vẽ kỹ thuật cơ khí
• Chi tiết Vẽ kỹ thuật cơ khí
• Bài giảng Vẽ kỹ thuật cơ khí
• Vẽ kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu Vẽ kỹ thuật cơ khí
• Nội dung Vẽ kỹ thuật cơ khí
• Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật
• Kỹ thuật cơ khí và cơ kỹ thuật
• Cơ kỹ thuật
• Xây dựng mô hình cơ học
• Tính toán thiết kế thiết bị phát điện
• Năng lượng sóng biển
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Kỹ thuật máy công cụ
• Thang điểm đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Học phần đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Bài giảng Kỹ thuật cơ khí
• Truyền động cơ khí
• Tìm hiểu truyền động cơ khí
• Truyền động bánh ma sát
• Tài liệu Kỹ thuật cơ khí
• công nghệ cơ khí
• cơ khí động lực
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• Tiến sĩ Kỹ thuật Cơ khí
• Đào tạo Tiến sĩ Kỹ thuật Cơ khí
• Kỹ thuật hàn
• Đề cương học phần Kỹ thuật hàn
• Mục tiêu đào tạo Tiến sĩ Cơ khí
• Kiến thức đào tạo Tiến sĩ Cơ khí
• Công nghệ kỹ thuật cơ khí
• Giáo trình Vẽ kỹ thuật cơ khí
• Vẽ kỹ thuật
• Tiêu chuẩn nhà nước về bản vẽ
• Vẽ một số đường cong hình học
• Cách dựng hình chiếu trục đo
• Giáo trình Cơ sở kỹ thuật nhiệt lạnh
• Cơ sở kỹ thuật nhiệt lạnh
• Điều hòa không khí
• Giáo trình Nghề Kỹ thuật máy lạnh
• Cơ sở kỹ thuật lạnh
• Cơ sở kỹ thuật điều hòa không khí
• Trắc nghiệm thủy khí
• công nghệ nhiệt lạnh
• trắc nghiệm cơ khí
• Kỹ thuật dầu khí
• Cơ sở kỹ thuật dầu khí
• Bài giảng Cơ sở kỹ thuật dầu khí
• Cơ sở khoan dầu khí
• Giếng khoan dầu
• Phương pháp khoan dầu khí
• Công nghệ cơ khí chinh xác quang học
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Sửa chữa thiết bị chế biến dầu khí
• Chế biến dầu khí
• Kỹ thuật sửa chữa cơ khí
• Giáo trình Kỹ thuật sửa chữa cơ khí
• Kỹ thuật sửa chữa lắp đặt chi tiết máy
• Kỹ thuật bôi trơn và làm kín
• Phương pháp kiểm tra chi tiết máy
• Kỹ thuật Cơ khí Động lực
• Luận án Kỹ thuật cơ khí động lực
• Hệ thống cung cấp nhiên liệu
• Nhiên liệu diesel ethanol
• Kỹ thuật cơ khí tài liệu kỹ thuật cơ khí
• hướng dẫn kỹ thuật cơ khí
• giới thiệu về kỹ thuật cơ khí
• Lắp đặt máy nén khí
• Bảo dưỡng máy nén khí
• Kỹ thuật bôi trơn
• Kỹ thuật lắp đặt chi tiết máy
• Thiết bị chế biến dầu khí
• Phát triển phương pháp phân tích tín hiệu
• Ứng dụng phương pháp phân tích tín hiệu
• Phương pháp phân tích tín hiệu
• Chẩn đoán vết nứt kết cấu hệ thanh
• Dao động của dầm FGM
• Lỗ rỗng vi mô
• Môi trường nhiệt độ chịu tải trọng di động
• Thực tập cơ khí đại cương
• Kỹ thuật tiện
• Tài liệu về kỹ thuật cơ khí
• Công nghệ tiện cơ khí
• Công nghệ gia công cơ khí
• Phương pháp tiện cơ khí
• Báo cáo thực tập ngành cơ khí
• Thực tập ngành cơ khí
• Luận văn cơ khí
• Công nghệ chế tạo cơ khí
• Đề tài kỹ thuật cơ khí
• Thiết kế công trình công nghiệp cơ khí
• Qui hoạch công trình công nghiệp cơ khí
• Bản vẽ cơ khí