TAILIEUCHUNG - Báo cáo hóa học: " A Rotating-Tip-Based Mechanical Nano-Manufacturing Process: Nanomilling"

Tuyển tập báo cáo các nghiên cứu khoa học quốc tế ngành hóa học dành cho các bạn yêu hóa học tham khảo đề tài: A Rotating-Tip-Based Mechanical Nano-Manufacturing Process: Nanomilling | Nanoscale Res Lett 2010 5 1403-1407 DOI s11671-010-9653-7 NANO EXPRESS A Rotating-Tip-Based Mechanical Nano-Manufacturing Process Nanomilling B. Arda Gozen O. Burak Ozdoganlar Received 25 March 2010 Accepted 17 May 2010 Published online 25 June 2010 The Author s 2010. This article is published with open access at Abstract We present a rotating-tip-based mechanical nanomanufacturing technique referred to here as nanomilling. An atomic force microscopy AFM probe tip that is rotated at high speeds by out-of-phase motions of the axes of a three-axis piezoelectric actuator is used as the nanotool. By circumventing the high-compliance AFM beam and directly attaching the tip onto the piezoelectric actuator a high-stiffness arrangement is realized. The feeding motions and depth prescription are provided by a nano-positioning stage. It is shown that nanomilling is capable of removing the material in the form of long curled chips indicating shearing as the dominant material removal mechanism. Feature-size and shape control capabilities of the method are demonstrated. Keywords Nanomilling AFM probe Nano-manufacturing Nano-machining Introduction Tip-based creation of nano-scale features by mechanical removal has been considered since the 1990s. Motivated by the agility geometric capability and wide-range material applicability of mechanical removal processes surface characterization instruments such as scanning tunneling microscopes STMs 1 atomic force microscopes AFMs 1 and nano-indenters 2 have been applied to create nano-scale features on various materials. Using AFMs at the force levels significantly higher than those B. A. Gozen O. B. Ozdoganlar Department of Mechanical Engineering Carnegie Mellon University Pittsburgh PA 15213 USA e-mail ozdoganlar@ used for topography measurements simple features such as lines and pockets have been created on semiconductor 3 metal 4 and polymer photoresist 5 surfaces through scratching or indenting. .

• Báo cáo khoa học
• báo cáo hóa học
• báo cáo hóa học
• công trình nghiên cứu về hóa học
• tài liệu về hóa học
• cách trình bày báo cáo
• báo cáo khoa học
• trình bày báo cáo
• tài liệu báo cáo khoa học
• báo cáo khoa học sinh học
• báo cáo khoa học nông nghiệp
• tuyển tập báo cáo khoa học
• báo cáo ngành toán học
• báo cáo ngành sinh học
• báo cáo ngành vật lý
• phân tích nhiệt
• báo cáo ngành chăn nuôi
• nghiên cứu khoa học
• cách trình bày báo cáo khoa học
• báo cáo về văn học
• báo cáo triết học
• công nghiệp hóa
• hiện đại hóa
• báo cáo ngành triết học
• báo cáo ngành lịch sử
• báo cáo ngành văn học
• phát triển kinh tế
• báo cáo ngành kỹ thuật
• báo cáo về tin học
• báo cáo tiếng anh
• báo cáo kỹ thuật
• báo cáo sinh học
• báo cáo nông nghiệp
• báo cáo văn học