TAILIEUCHUNG - Bài giảng: Phún xạ_Đại học Bách khoa Hà Nội

Khác với phương pháp bay bốc nhiệt, phún xạ không làm cho vật liệu bị bay hơi do đốt nóng mà thực chất quá trình phún xạ là quá trình truyền động năng. Vật liệu nguồn được tạo thành dạng các tấm bia (target) và được đặt tại điện cực (thường là catốt), trong buồng được hút chân không cao và nạp khí hiếm với áp suất thấp (cỡ 10-2 mbar). Dưới tác dụng của điện trường, các nguyên tử khí hiếm bị iôn hóa, tăng tốc và chuyển động về phía bia với tốc độ lớn và bắn phá. | Phún xa Lê Tuấn Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version - http Đai hoc Bách khoa Hà Nôi Phún xạ tiếp Sơ đồ hệ thống thiết bị phún xạ 0 2 2 2006 Nước làm lạnh IkV Đại học Bách khoa Hà Nội Súng ion Bia Nguyên tử phún xạ Nguyên tử Ar nhanh Mâm đỡ bằng Cu Plasma Ar ư Nguyên tử phún xạ ngược Q Q Q a Khí vào Bia Đế Phiến bán dẫn Nguồn điên Bơm chân không Phún xạ tiếp Sơ đồ bố trí các bộ phận thiết bị phún xạ Đại hoc Bách khoa Hà Nội 2 2 .

TAILIEUCHUNG - Chia sẻ tài liệu không giới hạn
Địa chỉ : 444 Hoang Hoa Tham, Hanoi, Viet Nam
Website : tailieuchung.com
Email : tailieuchung20@gmail.com
Tailieuchung.com là thư viện tài liệu trực tuyến, nơi chia sẽ trao đổi hàng triệu tài liệu như luận văn đồ án, sách, giáo trình, đề thi.
Chúng tôi không chịu trách nhiệm liên quan đến các vấn đề bản quyền nội dung tài liệu được thành viên tự nguyện đăng tải lên, nếu phát hiện thấy tài liệu xấu hoặc tài liệu có bản quyền xin hãy email cho chúng tôi.
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.