TAILIEUCHUNG - Handbook of Micro and Nano Tribology Episode 2 Part 5

Tham khảo tài liệu 'handbook of micro and nano tribology episode 2 part 5', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | Muller . Microdynamic Systems in the Silicon Age Handbook of Micro Nanotribology. Ed. Bharat Bhushan Boca Raton CRC Press LLC 1999 1999 by CRC Press LLC 13 Microdynamic Systems in the Silicon Age Richard S. Muller Introduction Origins Micromachining Substrate Micromachining Surface Micromachining Polycrystalline Silicon Properties Tribology in MEMS MEMS Structures and Systems MEMS Actuation Forces MEMS for Microphotonics Coupling Efficiency Berkeley Microphotonics Research Acknowledgments References ABSTRACT With the proven record of accomplishment in very large integrated circuits VLSI brought about by batch-fabrication technology for electronic devices of ever-decreasing size there is widespread enthusiasm about emerging opportunities to design mixed micromechanical and microelectronic systems. New development based heavily on integrated-circuit-related technologies have led to rapid progress in the development of microdynamic systems. These systems are based upon the science technology and design of moving micromechanical devices and are a subclass of what is known in the . as microelectromechanical systems MEMS . The dimensions of the micromechanical devices in MEMS are typically smaller than 100 im. Recent rapid progress gives promise for new designs of integrated sensors actuators and other devices that can be combined with on-chip microcircuits to make possible high-performing compact portable low-cost engineering systems. Mechanical materials for some of the microdynamic systems that have thus far been demonstrated consist of deposited thin films of polycrystalline silicon silicon nitride aluminum polyimide and tungsten among other materials. To make mechanical elements using thin-film processing microstructures are freed from the substrate by etching a sacrificial layer of silicon dioxide. First demonstrated as a means to produce electrostatically driven doubly supported beam bridges this sacrificial-layer technology has proved .

• Cơ khí - Chế tạo máy
• Cơ khí chế tạo máy
• tài liệu cơ khí
• ôn thi cơ khí
• tài liệu chế tạo máy
• hướng dẫn cơ khí
• bài tập cơ khí
• Ngành Công nghệ chế tạo máy
• Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
• Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
• Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
• Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
• Hệ thống cơ khí chế tạo máy
• Đề thi học kỳ
• Công nghệ chế tạo máy
• Đề thi Công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Công nghệ chế tạo máy
• Cơ khí máy
• Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• động cơ đốt trong
• gia công cơ khí
• giáo trình công nghệ chế tạo máy
• vẽ kỹ thuật cơ khí
• sổ tay thiết kế cơ khí
• công nghệ cơ khí
• đồ án công nghệ
• chế tạo máy
• tính lượng dư gia công
• thiết kế đồ gá
• gia công vật liệu
• cơ khí động lực
• chế tạo nhanh
• cơ khí chế tạo
• kỹ thuật cơ khí
• công nghệ chế tạo
• cơ kỹ thuật
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• khí thải ô tô
• Chế tạo ống xả sạch
• xử lý ô nhiễm trên ô tô
• Cơ khí ô tô
• ô nhiễm môi trường
• bộ lọc khí xả
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
• Đồ án cơ khí chế tạo máy
• Đồ án công nghệ chế tạo máy
• Đồ án chế tạo máy
• Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
• Đề tài chế tạo máy CNC
• cơ cấu phân phối khí
• phương pháp hàn
• công nghiệp tàu thủy
• Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
• Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
• Quá trình sản xuất cơ khí
• máy tiện ren vít vạn năng
• tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
• tài liệu môn cơ khí chế tạo
• cách vẽ môn cơ khí chế tạo
• học môn cơ khí chế tạo
• Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Thiết kế đồ án chế tạo máy
• Kỹ thuật chế tạo máy
• Gia công chế tạo máy
• Chi tiết máy
• Inventor
• Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
• Sổ tay công nghệ chế tạo máy
• Sử dụng rôbốt công nghiệp
• chuyên đề tốt nghiệp
• báo cáo thực tập
• đồ án kỹ thuật
• kỹ thuật xây dựng
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Ngành Cơ khí chế tạo
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt
• công nghệ chế tạo phụ tùng
• bài giảng môn cơ khí
• tài liệu môn chế tạo máy
• kiến thức về chế tạo máy
• cơ khí giao thông
• công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp