TAILIEUCHUNG - Báo cáo nghiên cứu khoa học: "MÔ HÌNH HÓA VÀ MÔ PHỎNG QUÁ TRÌNH TẠO MÀNG Al2O3 BẰNG PHÚN XẠ MAGNETRON"

Al2O3 được ứng dụng rộng rãi làm chất gây xúc tác dưới dạng gốm xốp hoặc dạng màng mỏng. Nó có thể được tạo ra bằng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng từ bia kim loại hoặc trực tiếp từ bia oxide. Mục tiêu của bài viết này là mô phỏng để xác định các điều kiện thích hợp nhằm phún xạ màng Al2O3 từ vật liệu Al kim loại bằng hệ phún xạ mangetron RF và DC. | Science Technology Development Vol 10 - 2007 MÔ HÌNH HÓA VÀ MÔ PHỎNG QUÁ TRÌNH TẠO MÀNG AI2O3 BẰNG PHÚN XẠ MAGNETRON Giang Văn Phúc 1 Lê Vũ Tuấn Hùng 2 Huỳnh Thành Đạt 3 I Nguyễn Văn Bến 2 I 1 Trường Đại học An Giang 2 Trường Đại học Khoa học Tự nhiên ĐHQG-HCM 3 ĐHQG-HCM Bài nhận ngày 16 tháng 09 năm 2006 hoàn chỉnh sửa chữa ngày 22 tháng 01 năm 2007 TÓM TẢT Al2O3 được ứng dụng rộng rãi làm chất gây xúc tác dưới dạng gốm xốp hoặc dạng màng mỏng. Nó có thể được tạo ra bằng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng từ bia kim loại hoặc trực tiếp từ bia oxide. Mục tiêu của bài viết này là mô phỏng để xác định các điều kiện thích hợp nhằm phún xạ màng Al2O3 từ vật liệu Al kim loại bằng hệ phún xạ mangetron RF và DC. Việc mô phỏng được dựa trên phương pháp Monte Carlo và các tham số ban đầu kể cả các tham số hình học của hệ. Công việc tính toán thực hiện bằng ngôn ngữ lập trình Matlab với chế độ dòng lệnh để khảo sát và chế độ đồ họa để minh họa. Các kết quả bao gồm a các phân bố góc và năng lượng phún xạ ban đầu b quá trình chuyển dời các hạt phún xạ c phân bố không gian năng lượng và góc của hạt phún xạ ở bề mặt đế d sự lắng đọng của màng có tính đến sự khuếch tán. Các kết quả được so sánh với các kết quả tương tự của các tác giả khác và với kết quả thực nghiệm để hòan thiện mô hình. THIỆU Kỹ thuật phún xạ được áp dụng rộng rãi nhờ vào khả năng tạo được rất nhiều loại màng. Đặc biệt là việc tạo màng rắn chống ăn mòn trong công nghiệp 4 mà Al và Al2O3 là tiêu biểu. Mặc dù hiện tượng và các hiệu ứng của phún xạ đã được nghiên cứu nhiều nhưng mô tả lý thuyết của nó thì chưa hoàn thiện. Cho đến nay việc phủ màng và tối ưu hóa các tham số phún xạ chủ yếu là nhờ quá trình thực nghiệm. Hơn nữa trong trường hợp oxyt nhôm và hệ phún xạ mangetron RF và DC thì việc mô phỏng là hết sức cần thiết. Bài viết này trình bày mô hình Monte-Carlo thực hiện đối với quá trình phún xạ Magnetron Sputter. Phương pháp này cho phép khảo sát mô hình dựa trên các định luật vật lý nhằm .

• Báo cáo khoa học
• trình bày báo cáo
• báo cáo ngành kỹ thuật
• báo cáo về tin học
• báo cáo ngành văn học
• báo cáo tiếng anh
• CÁCH TRÌNH BÀY BÁO CÁO
• PHƯƠNG PHÁP TRÌNH BÀY BÁO CÁO
• KĨ NĂNG TRÌNH BÀY BÁO CÁO
• MẸO TRÌNH BÁY BÁO CÁO
• TRÌNH BÀY BÁO CÁO KHOA HỌC
• TRÌNH BÀY LUẬN VĂN BÁO CÁO
• Hình thức báo cáo thực tập
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp
• Báo cáo thực tập
• Trình bày báo cáo thực tập
• Hướng dẫn trình bày báo cáo
• Hướng dẫn viết báo cáo
• Mẫu báo cáo
• Cách trình bày luận văn
• Cách trình bày khóa luận
• Thể thức của báo cáo
• trình bày luận văn
• tài liệu báo cáo khoa học
• báo cáo nông nghiệp
• báo cáo y dược
• báo cáo sinh học
• chăn nuôi lợn
• Kỹ năng trình bày báo cáo
• Kỹ năng thuyết trình
• Thiết kế slide
• Định dạng văn bản
• Nội dung trình bày báo cáo
• Thời gian thuyết trình
• Thực tập chuyên ngành
• Hướng dẫn viết tiểu luận
• Cấu trúc báo cáo
• Cách thể hiện báo cáo
• Nội dung báo cáo
• cách trình bày báo cáo khoa học
• báo cáo khoa học sinh học
• báo cáo khoa học toán học
• tài liệu báo cáo nghiện cứu khoa học
• báo cáo khoa học
• thơ lục bát
• chăn nuôi
• báo cáo ngành nông nghiệp
• báo cáo ngành ngoại ngữ
• báo cáo kinh tế
• báo cáo ngành tin học
• tài liệu báo cáo nghiên cứu khoa học
• báo cáo ngành y học
• trình bày thông tin tài sản thiếu trong báo cáo tài chính
• trình bày thông tin tài sản
• trình bày thông tin tài sản trong báo cáo tài chính doanh nghiệp
• phân tích tài chính
• tài chính doanh nghiệp
• phân tích tài chính doanh nghiệp
• báo cáo tài chính
• Tài liệu về trình bày đồ án
• Trình bày đồ án tốt nghiệp
• Quy định trình bày báo cáo cáo chuyên đề
• Quy định trình bày bài tập lớn
• Viện Đại học Mở Hà Nội
• mẫu báo cáo thực tập tốt nghiệp
• trình bày luận án
• cách viết báo cáo tốt nghiệp
• báo cáo tốt nghiệp
• Báo cáo phân tích ngành hàng hải
• báo cáo khoa học kinh tế
• báo cáo kỹ thuật