TAILIEUCHUNG - Phún xạ phần 3

Tham khảo tài liệu 'phún xạ phần 3', kỹ thuật - công nghệ, năng lượng phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | Phún xạ tiếp Cải thiện việc sử dụng bia nhờ thay đổi hình dạng các nam châm tiếp 2 2 2006 Đại học Bách khoa Hà Nội 21 Phún xạ tiếp Magnetron không cân bằng 2 2 2006 Đại học Bách khoa Hà Nội 22 Phún xạ tiếp Các loại magnetron Magnetron các loại khác nhau cho phép thay đổi các tính chất từ trường của nguồn với các hiệu ứng được tạo ra như sau Unbalance Không cân bằng Bằng cách thay đổi góc ra của các đường sức từ trường trong các magnetron không cân bằng có thể điều chỉnh số lượng điện tử được thoát ra do đó cả mức độ bắn phá ion đối với màng mỏng được tạo thành. Balance Cân bằng Dùng để giảm thiểu lượng năng lượng bổ sung cho màng mỏng mọc trên đế và tạo ra điều kiện bắn phá ion thấp. Field Strength Cường độ từ trường Thay đổi cường độ từ trường để điều chỉnh cường độ và hiệu điện thế phóng điện. Có thể sử dụng để bù trừ với thay đổi điện áp gây ra bởi hiện tượng ăn mòn bia trong quá trình phún xạ. Magnetic Field Shape Phân bố từ trường Thay đổi phân bố từ trường trong không gian gây ra sự biến đổi tương tác giữa plasma với anode nhằm điều chỉnh áp suất làm việc cực tiểu. 2 2 2006 Đại học Bách khoa Hà Nội .

• Năng lượng
• bản chất phún xạ
• kỹ thuật phún xạ
• quá trình phún xạ
• ưu điểm phún xạ
• tài liệu phún xạ
• Chế tạo vật liệu từ cấu trúc Nano
• Kỹ thuật mạ điện
• Phương pháp bay bốc nhiệt
• Epitaxy chùm phân tử
• Bản chất quá trình phún xạ
• Phún xạ catốt
• Phương pháp phún xạ magnetron
• Phún xạ magnetron
• Chế tạo màng mỏng
• Phương pháp chế tạo màng mỏng
• Tìm hiểu phún xạ magnetron
• Hướng dẫn phún xạ magnetron
• Phương pháp phún xạ Magnetron RF
• Bài thuyết trình Vật lý
• Phương pháp phún xạ
• Hệ số phún xạ
• Phún xạ Magnetron DC
• Sự ảnh hưởng dòng phún xạ
• Dòng phún xạ
• Tính chất quang xúc tác màng TiO2
• Phương pháp phún xạ Magnetron DC
• Sự ủ nhiệt
• Độ gồ ghề RMS
• Màng dẫn điện trong suốt SnO2Ga
• Màng dẫn điện
• Ảnh nhiễu xạ tia X
• thiết bị phún xạ
• Sơ đồ bố trí
• Bia Phiến bán dẫn Đế
• Bơm chân không
• Nguyên tử phún xạ
• Bài thuyết trình Màng từ
• Bộ phận thiết bị phún xạ
• Cơ chết thực hiện quá trình phún xạ
• Đặc điểm hạt nguyên tử
• Bài thuyết trình Các phương pháp thực nghiệm
• Khái niệm phún xạ
• Điều kiện cần cho phún xạ
• Sản sinh plasma
• Phóng điện Townsend
• Chế tạo nhiệt độ màng SnO
• Phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC
• Phương pháp phún xạ phản ứng
• Phún xạ kim loại
• Linh kiện quang điện
• báo cáo khoa học
• Màng dẫn điện trong suốt
• SnO2Sb TCO
• đế thủy tinh
• màng dẫn điện trong suốt SnO2Sb
• Tiểu luận Vật lý
• Nghiên cứu chế tạo màng ITO
• Màng trong suốt dẫn điện
• Công suất phún xạ
• Xử lý nhiệt sau khi phủ
• Bước tạo màng ITO
• Tính chất của màng ITO
• Độ dày màng ITO
• Nghiên cứu chế tạo màng TiN
• Chế tạo màng TiN
• Màng Titanium nitride
• Phương pháp bốn mũi dò
• Chế tạo màng dẫn điện trong suốt ZnO
• Chế tạo màng dẫn điện
• Vùng ánh sáng khả kiến
• Ma sát màng cacbon
• Mòn màng cacbon
• Cacbon giống kim cương
• Mô hình thử ma sát
• Dây nanô SnO2
• Biến tính bề mặt
• Cảm biến khí H2S
• Phún xạ trực tiếp Cu
• Phương pháp bốc bay nhiệt
• Phún xạ magnetron rf
• Hệ số ma sát
• Thể tích mài mòn
• Chống mài mòn TiZrN
• Cấu trúc của màng ZnO
• Cấu trúc của màng Ag chế tạo
• Phương pháp phún xạ r f magnetron
• ZnO pha tạp Ag
• Nhiễu xạ tia X
• Đề tài Vật lý
• Nghiên cứu chế tạo màng WO3
• Vật liệu điện sắc WO3
• Tính chất vật liệu điện sắc WO3
• Chế tạo màng WO3
• Luận văn Thạc sĩ
• Luận văn Thạc sĩ Khoa học
• Vật liệu màng mỏng
• Vật liệu TiO2
• vật liệu TiO2 pha tạp
• Kim loại học
• Luận án Tiến sĩ Khoa học vật liệu
• Luận án Tiến sĩ
• Khoa học vật liệu
• Màng phủ nitrua
• Hợp kim cứng WC Co
• Phương pháp chế tạo màng từ
• Phương pháp đo tính chất màng từ
• Ứng dụng của màng từ
• Phóng điện phún xạ
• Cơ chế phún xạ