TAILIEUCHUNG - CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG MỎNG

Cơ chế: + ion hóa hạt trung hòa thanh ion + Tăng tôc ion trong từ trường bắn phá bia, bức các nguyên tử trên bia lắng đọng trên đế DC SPUTTERING + Dùng hiệu điện thế 1 chiều + Khí thường dùng là Ar, He + Áp suất khoảng 10-7 torr + Bia phải dẫn điện + Bia chỉ bị bắn phá ở một của chu kỳ âm của HĐT | CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG MỎNG SPUTTERING DC sputtering RF sputtering Magneton sputtering BỐC BAY LASER XUNG (Laser Pulze Deposition-PLD) EPITAXY CHÙM PHÂN TỬ (Molecular Beam Epitaxy-MBE) SPUTTERING Cơ chế: + ion hóa hạt trung hòa thanh ion + Tăng tôc ion trong từ trường bắn phá bia, bức các nguyên tử trên bia lắng đọng trên đế DC SPUTTERING + Khí thường dùng là Ar, He + Dùng hiệu điện thế 1 chiều + Áp suất khoảng 10-7 torr + Bia phải dẫn điện + Bia chỉ bị bắn phá ở một của chu kỳ âm của HĐT RF SPUTTERING + Dùng hiệu điện thế xoay chiều + Bia không cần phải dẫn điện + Dùng phối trở kháng để tăng công suất cũng như bảo vệ dòng điện + Bia bị bắn phá trong cả 2 chu kỳ dương và âm của HĐT MAGNETON SPUTTERING + Dùng hiệu điện thế DC hoặc xoay chiều + Đặt từ trường dưới bia nhằm giam hãm electron và các ion giúp tăng va đập của Ar+ vào bia nhiều hơn + Bia bị bắn phá trong cả 2 chu kỳ dương và âm của HĐT ƯU ĐIỂM: + Dễ tạo các màng đa lớp nhờ tạo nhiều bia khác nhau + Độ bám dính của màng

• Vật lý
• Hiệu ứng bề mặt
• cấu trúc na nô
• công nghệ na nô
• Lực van der waals
• chế tạo màng mỏng
• phương pháp chế tạo
• hiệu ứng na nô
• Chế tạo tín hiệu raman bề mặt
• Tín hiệu raman bề mặt
• Hiệu ứng cộng hưởng plasmon bề mặt ­SERS
• Phương pháp phún xạ magnetron DC
• Kỹ thuật plasmonic
• Mật độ nguyên tử bề mặt
• Bề mặt mẫu GaAs
• Phương pháp tán xạ ngược Rutherford
• Phản ứng hạt nhân
• Sản xuất transitor hiệu ứng trường
• Cơ cấu lớp phủ bề mặt đô thị
• Công nghệ viễn thám và GIS
• Hiệu ứng đảo nhiệt đô thị
• Lớp phủ bề mặt đô thị
• Giảm hiệu ứng đảo nhiệt đô thị
• Cảm biến quang học
• Chẩn đoán bệnh
• Độ nhạy cảm biến
• Hiệu ứng cộng hưởng bề mặt
• Bề mặt biến quang
• Luận văn Thạc sĩ Vật lý
• Chất phát huỳnh quang
• Hiệu ứng plasmon bề mặt
• Cấu trúc nano kim loại
• Vật lý chất rắn
• Cộng hưởng plasmon bề mặt
• Trầm tích bề mặt
• Tán xạ ngược
• Chùm đa tia
• Bản đồ trầm tích bề mặt đáy biển
• Địa hình đáy biển
• bàn chân thạch sùng
• Phát triển thiết bị lấy mẫu
• Đo khí tự động
• Hiệu ứng nhà kính methane
• Bề mặt nước không khí tại kênh rạch
• Cảm biến methane
• Khí hiệu ứng nhà kính
• công nghệ sin học nano
• Hiệu ứng bề mặt ở cấu trúc nano
• khoa học tự nhiên
• sinh học
• hóa học
• nghiên cứu khoa học
• Nghiên cứu ứng dụng hệ thống tính toán song song hiệu nâng cao để lập trình gia công các bề mặt khuôn mẫu trên máy công cụ CNC
• cẩm nang nghiên cứu khoa học
• khoa học công nghệ
• Tóm tắt Luận văn Thạc sĩ
• Kỹ thuật xây dựng công trình giao thông
• Độ lún nền đường đắp nền đất yếu
• Hiệu ứng lớp cứng trên bề mặt
• Nâng cao khả năng chịu tải địa chất
• Gamma Cyclodextrin
• Phương pháp bề mặt đáp ứng
• Hiệu suất tạo γ CD
• Tối ưu điều kiện vòng hóa
• Trạng thái tự do
• Tinh bột sắn
• Hạt nano bạc
• Hiệu ứng kích thước hạt
• Phép đo Raman
• Phổ tán xạ Raman tăng cường bề mặt
• Hiện tượng plasmon
• Xử lý tạo mới bề mặt vải
• Trang trí trang phục thun
• Thương hiệu sản xuất thun
• Áo thun Kent Wang
• Thị trường vải thun
• Enzym bất hoạt aminoglycoside
• Cộng hưởng plasmon
• Dung dịch hạt nano vàng
• Phương pháp điện di mao quản
• Luận văn Thạc sĩ
• Hiệu ứng cộng hưởng plasmon
• Phương pháp quang hóa
• Đầu dò quang sợi dạng phẳng
• hiệu ứng nhà kính
• kiến thức môn hóa
• tài liệu môn hóa
• bài giảng môn hóa
• đề cương môn hóa
• bề mặt trái đất
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ
• Cáp ngầm cao thế
• Hiệu ứng ở gần
• Khả năng tải
• Hệ phương trình Maxwell
• Luận văn Thạc sĩ Khoa học
• Hiệu ứng SHG
• Quang học phi tuyến
• Quang học
• Vật liệu nano
• Vật lý Quang học
• Hiệu ứng plasmon
• Tính chất quang của hạt nano vàng
• Dây Nano Silicon
• Transistor hiệu ứng trường
• Cảm biến sinh học
• Phát hiện phân tử sinh học
• Kỹ thuật bề mặt hóa
• Công nghệ môi trường
• Tài nguyên môi trường
• Năng lượng Mặt Trời
• Tác động môi trường