TAILIEUCHUNG - Nghiên cứu chế tạo và khảo sát các đặc trưng của cảm biến vi cơ đo lực

Các cảm biến do lực kích thước nhỏ chế tạo bằng công nghệ vi cơ đã được thiết kế và chế tạo lần đầu tiên tại Việt nam bởi nhóm MEMS tại trung tâm ITIMS. Cấu trúc cảm biến này gồm một màng silic chiều dày cỡ 45 micro, ở tâm có thiết kế thêm một tâm cứng làm điểm đặt lực. Tín hiệu cơ được chuyển đổi qua một cầu điện trở 4 điện cực thành tín hiệu điện lối ra. Trong bài báo này chúng tôi trình bày sơ đồ nguyên lý, quy trình chế tạo, và các. | NGHIÊN cứu CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT CÁC ĐẶC TRUNG CỦA CẢM biến VI Cơ ĐO Lực Vũ Ngọc Hùng Nguyễn Đức Chiến Trịnh Quang Thông Trung tâm Quốc tế Đào tạo về Khoa học Vật liệu ITIMS Đinh Văn Dũng Khoa Vật lý Truờng ĐhSp Hà nội 2 Tóm tắt Các cảm biến đo lực kích thước nhỏ chê tạo bằng công nghệ vi cơ đã được thiết kê và chê tạo lần đầu tiên tại Việt nam bởi nhóm MEMS tại Trung tâm ITIMS. Cấu trúc cảm biên này gồm một màng silic chiều dày cữ 45 micron ở tâm có thiết kê thêm một tâm cứng làm điểm đặt lực. Tín hiệu cơ được chuyển đổi qua một cầu điện trở hoặc điện trở 4 điện cực thành tín hiệu điện lôi ra. Trong bài báo này chúng tôi trình bày sơ đồ nguyên lý qui trình chê tạo và các khảo sát đặc trưng của cảm biên. Fabrication and characterization of michromachined force sensors Abstract Silicon micromachined force sensors have been designed and fabricated successfully for the first time in Vietnam by the MEMS group at ITIMS. The structure of the sensors consists of a membrane with a stiff center the membrane thickness is about 45 microns the stiff center serves as a forced point. The mechanical signal is converted into output voltage signal by a Wheastone resistor bridge or 4 terminal gage diffused on the membrane. In this paper the sensor configuration fabrication process and characteristics have been presented. 1. MỞ ĐẦU Các cấu trúc đo tín hiệu co tiêu biểu thuờng có dạng các màng hoặc các thanh dầm đuợc chế tác 3 chiều từ các vật liệu khối. Chỉ có thể chế tạo các cấu trúc này với độ chính xác cao nhờ công nghệ vi co micromachining technology . Do tính đặc thù cũng nhu khả năng đặc biệt của công nghệ vi co công nghệ này đã đuợc ứng dụng để chế tạo các cấu trúc và các bộ cảm biến ứng dụng trong nhiều lĩnh vực khác nhau nhu trong công nghiệp kỹ thuật y tế quân sự . Trong những năm gần đây với sự hỗ trợ đắc lực của công nghệ vi điện tử và công nghệ tin học công nghệ vi co đã phát triển mạnh mẽ và rộng khắp trên thế giới. Nhóm MEMS ở Trung tâm Quốc tế Đào tạo về Khoa học Vật .

• Tự động hoá
• khoa học vật liệu
• cảm biển vi cơ đo lực
• công nghệ vi cơ
• ITIMS
• MEMS
• Đề thi Khoa học vật liệu dệt
• Khoa học vật liệu dệt
• Đề kiểm tra Khoa học vật liệu dệt
• Ôn thi Khoa học vật liệu dệt
• Môn thi Khoa học vật liệu dệt
• Bài tập Khoa học vật liệu dệt
• nghiên cứu khoa học
• chuyên đề vật lý
• luận văn khoa vật lý
• vật lý ứng dụng
• nghiên cứu vật lý
• báo cáo khoa học
• vật lý phổ thông
• Luận án Tiến sĩ Khoa học vật liệu
• Chế tạo vật liệu ống nanô cácbon
• Vật liệu ống nanô cácbon định hướng
• Vật liệu graphene
• Cảm biến sinh học
• Bài giảng Cơ sở khoa học vật liệu
• Cơ sở khoa học vật liệu
• Vật liệu học
• Vật liệu của tương lai
• Tóm tắt luận án Tiến sĩ Khoa học vật liệu
• Tiến sĩ Khoa học vật liệu
• Nghiên cứu thu hồi kim loại đồng
• Phương pháp điện hóa
• Cấu trúc vật liệu polymer
• Vật liệu polymer
• Tổng hợp polymer
• V ật liệu composit
• Luận án Tiến sĩ
• Luận án Tiến sĩ Khoa học vật chất
• Khoa học vật chất
• Vật lý chất rắn
• Tính chất vật lý
• Hệ vật liệu áp điện
• Cộng hưởng áp điện
• Cấu trúc của vật liệu gốm
• Vật liệu gốm
• Vi cấu trúc của gốm
• Tinh thể vô cơ
• Khuyết tật trong cấu trúc
• Cấu trúc vật liệu
• Khuyết tật cấu trúc vật liệu
• Vật liệu quang học
• Quang điện tử và quang tử
• Chế tạo vật liệu Cu2O
• Tính chất quang xúc tác
• Điện – quang xúc tác của vật liệu Cu2O
• Lớp phủ cấu trúc nano
• kiến thức vật lý căn bản
• tài liệu ôn thi vật lý
• vật lí hạt nhân
• công suất điện
• cơ ứng dụng
• Vật liệu xúc tác Pt
• Hợp kim Pt
• Kích thước nanô
• Vật liệu cacbon
• Pin nhiên liệu màng trao đổi proton
• Giáo án Khoa học 4 bài 67
• Giáo án điện tử Khoa học 4
• Giáo án Khoa học 4
• Giáo án điện tử lớp 4
• Ôn tập thực vật và động vật
• Mối quan hệ giữa sinh vật
• Sinh vật trên Trái Đất
• Bài giảng Khoa học 4 Bài 67
• Bài giảng Khoa học 4 Bài 68
• Bài giảng điện tử Khoa học 4
• Bài giảng điện tử lớp 4
• Bài giảng điện tử
• Vật liệu cao phân tử
• Nhựa nền polypropylen
• Vật liệu tổ hợp
• Tương tác pha
• Hệ vật liệu microcompozit
• Cấu trúc phân tử
• Tóm tắt Luận án Tiến sĩ
• Vật liệu điện tử
• Vật liệu biến hóa
• Vật liệu MPAs tích hợp graphene