TAILIEUCHUNG - BÀI THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ: KHẢO SÁT ĐẶC TRƯNG VÀ KHẢ NĂNG ỨNG DỤNG CỦA CẢM BIẾN ÁP SUẤT MEMS

Mục đích: Khảo sát cảm biến áp suất chế tạo theo công nghệ MEMS, trên cơ sở đó thực hiện một bài toán sử dụng cảm biến áp suất: Bài toán cảnh báo áp suất. | BÀI THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ KHẢO SÁT ĐẶC trưng và khả năng ứng dụng CủA CẢM BIẾN ÁP SUẤT MEMS 1. Mục đích Khảo sát cảm biến áp suất chế tạo theo công nghệ MEMS trên cơ sở đó thực hiện một bài toán sử dụng cảm biến áp suất Bài toán cảnh báo áp suất. 2. Dụng cụ thực nghiệm Buồng tạo áp suất Bơm khí Van xả Áp kế thuỷ ngân Các cảm biến Mạch điều khiển A. Cơ Sở lý thuyết 1. Tổng quan về MEMS Vào thế kỷ XX các thiết bị điện tử được tích hợp với số lượng ngày càng lớn kích thước ngày càng nhỏ và chức năng ngày càng được nâng cao. Điều này đã mang lại sự biến đổi sâu sắc cả về mặt công nghệ lẫn xã hội. Vào cuối những năm 50 của thế kỷ XX một cuộc cách mạng hoá về công nghệ micro đã diễn ra và hứa hẹn một tương lai cho tất cả các ngành công nghiệp. Hệ thống vi cơ điện tử Micro ElectroMechanical Systems viết tắt là MEMS cũng đã được ra đời và phát triển trong giai đoạn này. Công nghệ vi cơ đã và đang tiến xa hơn nhiều so với nguồn gốc của nó là công nghiệp bán dẫn. MEMS bao gồm những cấu trúc vi cơ vi sensor vi chấp hành và vi điện tử cùng được tích hợp trên cùng một chip on chip . Các linh kiện MEMS thường được cấu tạo từ silic. Một thiết bị MEMS thông thường là một hệ thống vi cơ tích hợp trên một chip mà có thể kết hợp những phần cơ chuyển động với những yếu tố sinh học hoá học quang hoặc điện. Kết quả là các linh kiện MEMS có thể đáp ứng với nhiều loại lối vào hoá ánh sáng áp suất rung động vận tốc và gia ưu thế có thể tạo ra những cấu trúc cơ học nhỏ bé tinh tế 63 và nhạy cảm đặc thù công nghệ vi cơ hiện nay đã cho phép tạo ra những bộ cảm biến sensor những bộ chấp hành actuator được ứng dụng rộng rãi trong cuộc sống. Các bộ cảm biến siêu nhỏ và rất tiện ích này đã thay thế cho các thiết bị đo cũ kỹ cồng kềnh trước đây. Song công nghệ MEMS mới đang ở giai đoạn đầu của nó và cần rất nhiều những nghiên cứu cơ bản hơn sâu hơn. 2. Công nghệ chế tạo các sản phẩm MEMS Các sản phẩm MEMS là sự tích hợp vi mạch điện tử với các linh kiện các chi tiết vi cơ. Mạch vi điện tử .

• Tự động hoá
• kỹ thuật
• công nghệ
• tự động hóa
• CẢM BIẾN ÁP SUẤT MEMS
• Kỹ thuật thông tin số
• kỹ thuật số hóa tín hiệu
• kỹ thuật mã hóa đường dây
• kỹ thuật mã hóa nguồn
• kỹ thuật mã hóa kênh
• kỹ thuật ghép kênh
• kỹ thuật điều chế
• kỹ thuật đa truy cập
• Kỹ thuật chế biến món ăn
• Giáo trình Kỹ thuật tỉa rau củ quả
• Kỹ thuật tỉa rau củ quả
• Kỹ thuật tỉa hoa ly
• Kỹ thuật tỉa trái bắp
• Kỹ thuật tỉa hoa cúc
• Kỹ thuật tỉa thiên nga cánh xếp
• Kỹ thuật cao áp
• tài liệu Kỹ thuật cao áp
• nghiên cứu Kỹ thuật cao áp
• ứng dụng Kỹ thuật cao áp
• cẩm nang Kỹ thuật cao áp
• sổ tay Kỹ thuật cao áp
• giáo trình Kỹ thuật cao áp
• Kỹ thuật trồng nhãn
• Kỹ thuật trồng vải
• Kỹ thuật trồng xoài
• Kỹ thuật trồng na
• Kỹ thuật trồng bưởi
• Kỹ thuật trồng dứa
• Kỹ thuật điện tử
• Ôn tập kỹ thuật điện tử
• Để cương kỹ thuật điện tử
• Bài giảng kỹ thuật điện tử
• Đề thi kỹ thuật điện tử
• Giáo rình kỹ thuật điện tử
• Kỹ thuật nuôi cá trê
• Kỹ thuật nuôi lươn
• Nuôi giun đất
• Kỹ thuật ương giống
• Kỹ thuật sản xuất giống
• Nuôi cá thịt
• Cad trong kỹ thuật
• Các bước xuất bản vẽ kỹ thuật
• Vẽ kỹ thuật
• Bản vẽ kỹ thuật
• Hướng dẫn xuất bản vẽ kỹ thuật
• Tìm hiểu bản vẽ kỹ thuật
• Kỹ thuật trồng hoa anh túc
• Trồng hoa anh túc
• Kỹ thuật trồng a phiến
• Kỹ thuật trồng thẩu
• Kỹ thuật trồng trẩu
• Kỹ thuật trồng cây nàng tiên
• Kỹ thuật nuôi gà chăn thả
• Hướng dẫn kỹ thuật nuôi
• Kỹ thuật nuôi
• Kỹ thuật nuôi ngan
• Kỹ thuật nuôi gà
• Kỹ thuật nuôi bồ câu Pháp
• Kỹ thuật nuôi đà điểu
• Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật
• Kỹ thuật cơ khí và cơ kỹ thuật
• Kỹ thuật cơ khí
• Cơ kỹ thuật
• Xây dựng mô hình cơ học
• Tính toán thiết kế thiết bị phát điện
• Năng lượng sóng biển
• Bài giảng Kỹ thuật truyền số liệu
• Kỹ thuật truyền số liệu
• Kỹ thuật mã hóa
• Kỹ thuật đồng bộ
• Kỹ thuật truy nhập đường truyền
• Kỹ thuật nén dữ liệu
• Đề thi học kỳ
• Kỹ thuật điện Điện tử
• Kỹ thuật điện
• Đề thi Kỹ thuật điện
• Bài tập Kỹ thuật điện
• Bài giảng Vẽ kỹ thuật cơ bản
• Vẽ kỹ thuật cơ bản
• Trình bày bản vẽ kỹ thuật
• Tiêu chuẩn trình bày bản vẽ kỹ thuật
• Ký hiệu bản vẽ kỹ thuật
• Hình vẽ đối xứng
• Quy tắc vẽ bản vẽ kỹ thuật
• Kỹ thuật ra quyết định kỹ sư
• Đề thi Kỹ thuật ra quyết định kỹ sư
• Ôn thi Kỹ thuật ra quyết định kỹ sư
• Bài tập Kỹ thuật ra quyết định kỹ sư
• Kỹ thuật ra quyết
• giáo án kỹ thuật lớp 4
• tài liệu kỹ thuật lớp 4
• bải giảng kỹ thuật lớp 4
• kỹ thuật lớp 4
• dạy kỹ thuật lớp 4
• Giáo trình kỹ thuật điện
• Tài liệu kỹ thuật điện
• Bải giảng kỹ thuật điện
• Chuyên đề kỹ thuật điện
• Hướng dẫn kỹ thuật điện
• Tài liệu về vẽ kỹ thuật
• Phương pháp vẽ kỹ thuật
• Vẽ kỹ thuật cơ khí
• Kỹ thuật lập trình C
• Bài tập kỹ thuật lập trình
• Tài liệu kỹ thuật lập trình
• Bài giảng kỹ thuật lập trình
• Ưng dụng kỹ thuật lập trình
• Chuyên ngành kỹ thuật lập trình
• Ngôn ngữ C
• Bản vẽ vẽ kỹ thuật
• Tài liệu vẽ kỹ thuật
• Ôn thi vẽ kỹ thuật
• Bài tập vẽ kỹ thuật
• Hướng dẫn vẽ kỹ thuật
• Giáo trình kỹ thuật điện tử
• Đề cương kỹ thuật điện tử
• Tài liệu kỹ thuật điện tử
• Bài tập kỹ thuật điện tử