TAILIEUCHUNG - Nano and Microelectromechanical Systems P2

A large variety of nano- and microscale structures and devices, as well as NEMS and MEMS (systems integrate structures, devices, and subsystems), have been widely used, and a worldwide market for NEMS and MEMS and their applications will be drastically increased in the near future. The differences in NEMS and MEMS are emphasized, and NEMS are smaller than MEMS. For example, carbon nanotubes (nanostructure) can be used as the molecular wires and sensors in MEMS. Different specifications are imposed on NEMS and MEMS depending upon their applications. For example, using carbon nanotubes as the molecular wires, the current density. | CHAPTER 2 MATHEMATICAL MODELS AND DESIGN OF NANO- AND MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS . NANO- AND MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS ARCHITECTURE A large variety of nano- and microscale structures and devices as well as NEMS and MEMS systems integrate structures devices and subsystems have been widely used and a worldwide market for NEMS and MEMS and their applications will be drastically increased in the near future. The differences in NEMS and MEMS are emphasized and NEMS are smaller than MEMS. For example carbon nanotubes nanostructure can be used as the molecular wires and sensors in MEMS. Different specifications are imposed on NEMS and MEMS depending upon their applications. For example using carbon nanotubes as the molecular wires the current density is defined by the media properties . resistivity and thermal conductivity . It is evident that the maximum current is defined by the diameter and the number of layers of the carbon nanotube. Different molecular-scale nanotechnologies are applied to manufacture NEMS controlling and changing the properties of nanostructures while analog discrete and hybrid MEMS have been mainly manufactured using surface micro-machining silicon-based technology lithographic processes are used to fabricate CMOS ICs . To deploy and commercialize NEMS and MEMS a spectrum of problems must be solved and a portfolio of software design tools needs to be developed using a multidisciplinary concept. In recent years much attention has been given to MEMS fabrication and manufacturing structural design and optimization of actuators and sensors modeling analysis and optimization. It is evident that NEMS and MEMS can be studied with different level of detail and comprehensiveness and different application-specific architectures should be synthesized and optimized. The majority of research papers study either nano- and microscale actuators-sensors or ICs that can be the subsystems of NEMS and MEMS. A great number of publications have been .

• Tự động hoá
• Tự động hóa
• Năng lượng
• Cơ khí chế tạo máy
• Điện – điện tử
• Kiến trúc xây dựng
• Bài giảng Tự động hóa
• Tự động hóa quá trình sản xuất
• Tự động hóa quá trình lắp ráp
• Định vị chi tiết
• Lắp ráp tự động
• Xác định chế độ lắp ráp tự động
• Ứng dụng Robot trong lắp ráp tự động
• tự động hóa trong xây dựng
• giáo trình tự động hóa trong xây dựng
• bài giảng tự động hóa trong xây dựng
• tài liệu tự động hóa trong xây dựng
• lý thuyết tự động hóa trong xây dựng
• hệ thống tự động hóa trong xây dựng
• Giáo trình Tự động hóa
• Tự động hóa trong hệ thống điện
• Tài liệu tự động hóa
• Tìm hiểu tự động hóa hệ thống điện
• Khái niệm tự động hóa
• Lịch sử tự động hóa
• Sửa chữa thiết bị tự động hóa
• Thiết bị tự động hóa
• Giáo trình Lắp đặt thiết bị đo lường tự động hóa
• Lắp đặt thiết bị đo lường tự động hóa
• Thiết bị đo lường tự động hóa
• Dầu bôi trơn
• đề cương tự động hóa
• phương pháp tự động hóa
• Hệ thống tự động hóa
• Tự động hóa trong quá trình sản xuất
• Hệ thống điều khiển tự động
• Tự động hóa quá trình cắt phôi
• Tự động hóa quá trình kiểm tra
• Tự động điều khiển máy móc
• Tự động hóa quá trình công nghệ
• Lý thuyết điều khiển tự động
• Hệ thống rửa xe tự động
• Đồ án tự động hóa
• Hệ thống tự động
• Kiểm tra tự động
• Thiết bị phân loại tự động
• Hệ thống sản xuất tự động hóa
• lập trình tự động hóa
• tài liệu lập trình tự động hóa
• hướng dẫn lập trình tự động hóa
• phương pháp lập trình tự động hóa
• kinh nghiệm lập trình tự động hóa