TAILIEUCHUNG - Nghiên cứu chế tạo màng mỏng chống mài mòn TiZrN bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron RF

Bài viết Nghiên cứu chế tạo màng mỏng chống mài mòn TiZrN bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron RF nghiên cứu xác định các đặc tính cơ học và ma sát, sử ảnh hưởng của các thông số công nghệ (trong điều kiện nguồn khí phản ứng N2 cung cấp khác nhau). Từ đó tìm ra phạm vi và thông số kiểm soát để tìm ra lớp phủ có tính chất tối ưu nhất. | Hóa học amp Môi trường Nghiên cứu chế tạo màng mỏng chống mài mòn TiZrN bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron RF Lâm Ngọc Nam1 Phạm Hồng Thạch1 Golosov Dmitry Anatolievich2 1 Viện Nhiệt đới Môi trường Viện Khoa học và Công nghệ quân sự 2 Trường đại học Quốc gia Tin học và Vô tuyến điện tử Belarus. Email ngocnam240395@ Nhận bài 25 10 2022 Hoàn thiện 15 11 2022 Chấp nhận đăng 14 12 2022 Xuất bản 20 12 2022. DOI https TÓM TẮT Các lớp phủ chống mài mòn đa chất dựa trên màng TiN có tiềm năng ứng dụng trong các ngành cơ khí và lĩnh vực quốc phòng. Trong nghiên cứu này chúng tôi thực hiện chế tạo màng TixZr1-xN bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron rf trên các đế Titan VT1-0 nghiên cứu sự ảnh hưởng của nồng độ khí N2 trong hỗn hợp khí N2 Ar đến các tính chất cơ học và tính ma sát của màng cụ thể là độ cứng vi mô bằng phương pháp Knoop hệ số ma sát thể tích mài mòn bằng phương pháp mài mòn độ dày của màng bằng phương pháp giao thoa ánh sáng. Kết quả cho thấy ở nồng độ khí N2 trong hỗn hợp khí N2 Ar 6-8 đảm bảo hình thành màng có độ dày đồng đều với độ cứng vi mô lên đến 25 69 GPa hệ số ma sát thấp hơn 0 15 và thể tích mài mòn thấp hơn 10-7 mm3. Nghiên cứu đã chứng minh được rằng việc bổ sung thêm thành phần nguyên tố Zr vào màng TiN giúp cải thiện các tính chất của màng mỏng. Từ khóa Phún xạ magnetron rf Màng TiZrN Độ cứng Hệ số ma sát Thể tích mài mòn. 1. MỞ ĐẦU Ngày nay các lớp phủ chống mài mòn dựa trên các hợp chất chịu lửa đã được sử dụng rộng rãi để cải thiện hiệu suất và tuổi thọ của các dụng cụ gia công cơ khí làm tăng khả năng làm việc của các bề mặt hoạt động chịu ma sát và mài mòn cao. Hiệu quả của việc sử dụng các lớp phủ được xác định bởi nhiều yếu tố độ cứng khả năng khuếch tán trong vật liệu khả năng bám dính trên vật liệu dụng cụ khả năng duy trì các đặc tính ở nhiệt độ cao . Trong những năm gần đây nhiều tác giả và nhà nghiên cứu đã tập trung vào việc cải thiện khả năng làm việc của .

• Tự động hoá
• Phún xạ magnetron rf
• Hệ số ma sát
• Thể tích mài mòn
• Chống mài mòn TiZrN
• Phương pháp phún xạ
• Phương pháp phún xạ Magnetron RF
• Bài thuyết trình Vật lý
• Chế tạo màng mỏng
• Hệ số phún xạ
• Phún xạ Magnetron DC
• Cấu trúc của màng ZnO
• Cấu trúc của màng Ag chế tạo
• Phương pháp phún xạ r f magnetron
• ZnO pha tạp Ag
• Nhiễu xạ tia X
• Nghiên cứu chế tạo màng mỏng TiO2
• Chế tạo màng mỏng TiO2
• Màng mỏng TiO2
• Phép đo UV VIS
• báo cáo khoa học
• Màng mỏng Al2O3
• nh chất quang
• ứng dụng Al2O3
• trình bày báo cáo
• báo cáo ngành kỹ thuật
• báo cáo về tin học
• báo cáo ngành văn học
• báo cáo tiếng anh
• Bài thuyết trình Vật lý ứng dụng
• Màng điện sắc
• Ứng dụng màng điện sắc
• Vật liệu điện sắc
• Hiệu ứng điện sắc
• Phương pháp phún xạ magnetron
• Phún xạ magnetron
• Phương pháp chế tạo màng mỏng
• Tìm hiểu phún xạ magnetron
• Hướng dẫn phún xạ magnetron
• Sự ảnh hưởng dòng phún xạ
• Dòng phún xạ
• Tính chất quang xúc tác màng TiO2
• Phương pháp phún xạ Magnetron DC
• Sự ủ nhiệt
• Độ gồ ghề RMS
• Màng dẫn điện trong suốt SnO2Ga
• Màng dẫn điện
• Ảnh nhiễu xạ tia X
• Bài thuyết trình Các phương pháp thực nghiệm
• Khái niệm phún xạ
• Điều kiện cần cho phún xạ
• Sản sinh plasma
• Phóng điện Townsend
• Chế tạo nhiệt độ màng SnO
• Phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC
• Phương pháp phún xạ phản ứng
• Phún xạ kim loại
• Linh kiện quang điện
• Nghiên cứu chế tạo màng TiN
• Chế tạo màng TiN
• Màng Titanium nitride
• Phương pháp bốn mũi dò
• Chế tạo màng dẫn điện trong suốt ZnO
• Chế tạo màng dẫn điện
• Vùng ánh sáng khả kiến
• Tiểu luận Vật lý
• Nghiên cứu chế tạo màng ITO
• Màng trong suốt dẫn điện
• Công suất phún xạ
• Xử lý nhiệt sau khi phủ
• Bước tạo màng ITO
• Tính chất của màng ITO
• Độ dày màng ITO
• Ma sát màng cacbon
• Mòn màng cacbon
• Cacbon giống kim cương
• Mô hình thử ma sát
• Dây nanô SnO2
• Biến tính bề mặt
• Cảm biến khí H2S
• Phún xạ trực tiếp Cu
• Phương pháp bốc bay nhiệt
• Màng dẫn điện trong suốt
• SnO2Sb TCO
• đế thủy tinh
• màng dẫn điện trong suốt SnO2Sb
• Tạo màng bằng phương pháp sputtering
• Phương pháp sputtering
• Bài giảng Phương pháp sputtering
• Ccơ chế vật lý của phương pháp sputtering
• Hiệu suất phún xạ
• Công nghệ cơ khí
• Màng cứng gốc Crôm
• Phương pháp phún xạ xung DC
• Tạo màng CrN trên mẫu thép
• Phương pháp lắng đọng vật lý
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ
• Vật lý kỹ thuật
• Chế tạo màng dẫn điện trong suốt
• Thiết bị quang điện
• Phương pháp chế tạo màng SnO2
• Màng TiN
• cấu trúc
• điện
• Phản ứng Magnetron DC
• Luận văn thạc sĩ
• Luận văn thạc sĩ Vật lý
• Luận văn thạc sĩ khoa học tự nhiên
• Luận văn quang học
• Nghiên cứu và chế tạo màng dẫn điện
• Đề tài phương pháp đồng phún xạ
• Đề tài Vật lý
• Phương pháp chế tạo màng từ
• Phương pháp đo tính chất màng từ
• Ứng dụng của màng từ
• Phóng điện phún xạ
• Cơ chế phún xạ
• Nghiên cứu chế tạo màng SnO2
• Vật liệu SnO2
• Cơ chế tạo màng SnO2
• Thực nghiệm chế tạo màng SnO2
• Đặc điểm màng SnO2
• Nghiên cứu chế tạo màng WO3
• Vật liệu điện sắc WO3
• Tính chất vật liệu điện sắc WO3
• Chế tạo màng WO3
• Màng mỏng ZnO
• Màng mỏng ZnO pha tạp nguyên tố đất
• Ứng dụng màng ZnO pha tạp
• Hiệu ứng pha tạp của đất hiếm
• Tính chất màng mỏng ZnO