TAILIEUCHUNG - Điện Tử Cảm Biến - Cảm Biến Công Nghiệp part 16

Tham khảo tài liệu 'điện tử cảm biến - cảm biến công nghiệp part 16', kỹ thuật - công nghệ, điện - điện tử phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | 2 4 a Hỡnh BD chuyũn Dũi kiũu Diũn dung 1 BDn cũc Dũng 2 3 BDn cũc tũnh 4 Cỏch diũn 4 DDu silicon Hình trình bày cấu tạo một bộ biến đổi kiểu điện dung gồm bản cực động là màng kim loại 1 và bản cực tĩnh 2 gắn với đế bằng cách điện thạch anh 4 . Sự phụ thuộc của điện dung C vào độ dịch chuyển của màng có dạng C 8- - S So Trong đó 8 - hằng số điện môi của cách điện giữa hai bản cực. So - khoảng cách giữa các điện cực khi áp suất bằng 0. S - độ dịch chuyển của màng. Hình là một bộ biến đổi điện dung kiểu vi sai gồm hai bản cực tĩnh 2 và 3 gắn với chất điện môi cứng 4 kết hợp với màng 1 nằm giữa hai bản cực để tạo thành hai tụ điện C12 và C13. Khoảng trống giữa các bản cực và màng điền đầy bởi dầu silicon 5 . Các áp suất p1 và p2 của hai môi trường đo tác động lên màng làm màng dịch chuyển giữa hai bản cực tĩnh và tạo ra tín hiệu im cung cấp bởi nguồn nuôi tỉ lệ với áp suất giữa hai môi trường C -Co im K1 C1 C2 K P1 - p2 Để biến đổi biến thiên điện dung C thành tín hiệu đo lường thường dùng mạch cầu xoay chiều hoặc mạch vòng cộng hưởng LC. Bộ cảm biến kiểu điện dung đo được áp suất đến 120 MPa sai số 0 2 - 5 . . Bộ biên đôi kiêu áp trở Cấu tạo của phần tử biến đổi áp trở biểu diễn trên hình . Cảm biến áp trở gồm đế silic loại N 1 trên đó có khuếch tán tạp chất tạo thành lớp bán dẫn loại P 2 mặt trên được bọc cách điện và có hai tiếp xúc kim loại để nối dây dẫn 3 . 3 2 1 a Hỡnh . Sũ ũũ nguyờn lý cũm biũn ỏp trũ a Sũ ũũ cũu tũo b Vũ trớ ũũt trờn màng 1 ũũ silic-N 2 Bỏn dũn P 3 Dõy dũn Trên hình là trường hợp màng định hướng 100 có gắn 4 cảm biến áp trở trong đó có hai cảm biến đặt ở tâm theo hướng 110 và hai cảm biến đặt ở biên tạo thành với hướng 100 một góc 60o. Với cách đặt như vậy biến thiên điện trở của hai cặp cảm biến khi có ứng suất nội sẽ bằng nhau nhưng trái dấu AR1 AR3 -AR2 -AR4 AR Để đo biến thiên điện trở người ta dùng mạch cầu khi đó ở hai đầu đường chéo cầu được nuôi bằng dòng một chiều sẽ là Vm 4 AR1 -AR2 .

TỪ KHÓA LIÊN QUAN
TAILIEUCHUNG - Chia sẻ tài liệu không giới hạn
Địa chỉ : 444 Hoang Hoa Tham, Hanoi, Viet Nam
Website : tailieuchung.com
Email : tailieuchung20@gmail.com
Tailieuchung.com là thư viện tài liệu trực tuyến, nơi chia sẽ trao đổi hàng triệu tài liệu như luận văn đồ án, sách, giáo trình, đề thi.
Chúng tôi không chịu trách nhiệm liên quan đến các vấn đề bản quyền nội dung tài liệu được thành viên tự nguyện đăng tải lên, nếu phát hiện thấy tài liệu xấu hoặc tài liệu có bản quyền xin hãy email cho chúng tôi.
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.