TAILIEUCHUNG - Hệ thống vi cơ điện tử MEMS và ứng dụng

Bài viết này trình bày tổng quan về vi cơ điện tử MEMS, một lĩnh vực khoa học liên ngành dựa trên nền tảng của ngành vi điện tử và vi chế tạo. Các linh kiện MEMS hiện nay được sử dụng rộng rãi trong xã hội như cảm biến gia tốc, cảm biến góc, cảm biến áp suất, cảm biến sinh học, . | Thông tin khoa học công nghệ HỆ THỐNG VI CƠ ĐIỆN TỬ MEMS VÀ ỨNG DỤNG Nguyễn Ngọc An1 Trần Văn Ngọc2 Đặng Đình Tiệp2 Đỗ Quang Lộc2 Trần Thị Thúy Hà4 Nguyễn Đắc Hải5 Vũ Văn Thể6 Nguyễn Như Cường1 Phạm Ngọc Thảo1 Bùi Thanh Tùng1 Chử Đức Trình1 Tóm tắt Báo cáo này trình bày tổng quan về vi cơ điện tử MEMS một lĩnh vực khoa học liên ngành dựa trên nền tảng của ngành vi điện tử và vi chế tạo. Các linh kiện MEMS hiện nay được sử dụng rộng rãi trong xã hội như cám biến gia tốc cảm biến góc cảm biến áp xuất cảm biến sinh học . Báo cáo cũng trình bày tóm tắt một số định hướng nghiên cứu của nhóm nghiên cứu Vi cơ điện tử và vi hệ thống tại Khoa Điện tử- Viễn thông Trường Đại học Công nghệ Đại học Quốc gia Hà nội. Từ khóa MEMS Cảm biến Vi cơ điện tử. 1. HỆ THỐNG VI CƠ ĐIỆN TỬ There s plenty of room at the bottom tạm dịch là Còn những khoảng trống ở cấp vi mô là tiêu đề của một bài diễn thuyết của Giáo sư Richard P. Feynman vào năm 1959 một thiên tài Vật lý 1 . Câu hỏi Tại sao chúng ta không thể viết toàn bộ 24 chương của cuốn Bách khoa toàn thư Brittanica trên đầu một cây đinh ghim của giáo sư đã khai sáng ra một số lĩnh vực khoa học hoàn toàn mới - công nghệ nano nano technology công nghệ vi cơ điện tử Microelectromechanical Systems MEMS . a b Hình 1. Linh kiện MEMS với các chức năng được tích hợp trong một hệ thống. Hình 1-a thể hiện linh kiện MEMS là một linh kiện tích hợp có kích thước cỡ micromet và tích hợp chức năng điện và các chức năng không điện trong một hệ thống. Cho đến nay sau khoảng gần 40 năm phát triển các linh kiện MEMS đã đạt đến thành tựu tích hợp rất cao. Trong một linh kiện MEMS hiện nay có thể có các thành phần điện như mạch vi xử lý linh kiện thụ động bộ thu phát truyền tin hệ thống nguồn nuôi cảm biến và bộ chấp hành. Thuật ngữ hệ thống vi cơ điện tử ban đầu thể hiện hệ thống tích hợp các chức năng điện điện tử electro electronics và cơ mechanical . Theo thời gian linh kiện MEMS có thể tích hợp thêm nhiều các chức năng như quang nhiệt từ chất lỏng hóa

• Điện - Điện tử
• Vi cơ điện tử
• Vi chế tạo
• Linh kiện MEMS
• Cảm biến gia tốc
• Cảm biến góc
• Cảm biến áp suất
• Kỹ thuật vi điện tử
• Sách điện tử viễn thông
• Vi điện tử
• Chế tạo vi điện tử
• Cấu trúc mạch vi điện tử
• Một số họ vi mạch cơ bản
• Giáo trình điện tử vi mạch điện tử số
• Điện tử vi mạch
• Điện tử số
• Cơ sở toán học của điện tử số
• Các cổng logic cơ bản
• Cơ điện tử
• Mô đun đào tạo nghề Cơ điện tử
• Dự án hỗ trợ kỹ thuật dạy nghề
• Hệ thống cơ điện tử
• Vi điều khiển
• Xây dựng hệ thống cơ điện tử
• giáo trình linh kiện điện tử
• công nghệ điện tử
• điện tử viễn thông
• linh kiện điện tử
• vật lí vi mô
• vi mạch điện tử
• cơ học nguyên lượng
• chất bán dẫn
• Giáo trình Đo lường điện điện tử
• Đo lường điện
• Đo lường điện tử
• Đơn vị điện hệ SI
• Cơ cấu đo
• Ampe đo điện một chiều
• Cầu điện cảm
• Đo lường bằng máy hiện sóng
• Truyền động điện động cơ
• Truyền động điện động cơ một chiều
• Điện tử công nghiệp
• Đồ án tốt nghiệp điện tử viễn thông
• Đồ án tốt nghiệp điện tử công nghiệp
• Vi điều khiển PSOC
• Giáo trình Đo lường điện tử
• Cơ sở kỹ thuật đo lường điện tử
• Điện tử công suất
• Cơ sở đo lường điện tử
• Định giá sai số đo lường
• đề cương vi xử lí
• giáo trình mạch điện tử
• kỹ thuật mạch điện tử
• Giáo trình Điện tử cơ bản
• Bài giảng Điều khiển hệ thống cơ điện tử
• Điều khiển hệ thống cơ điện tử
• Giao tiếp máy tính
• Luận án tiến sĩ
• Luận án tiến sĩ Kỹ thuật
• Cơ kỹ thuật
• Hệ vi cơ điện tử
• Động lực học cảm biến
• Vận tốc góc vi cơ điện tử
• Khóa luận tốt nghiệp
• Điều khiển tốc độ động cơ
• Thuật toán PID
• Công nghệ kỹ thuật vi điện tử
• Khóa luận kỹ thuật vi điện tử
• Đơn vị cơ hệ SI
• Sai số đo
• Votl kế một chiều
• Cầu điện dung
• Dao động ký
• mạch điện ứng dụng
• kỹ thuật đo lường
• đo điện áp
• đo dòng điện
• đo công suất
• đo đại lượng cơ học
• Bài giảng Kỹ thuật điện tử
• Kỹ thuật điện tử
• Thành phần cơ bản của mạch điện tử
• Mạch điện tử
• Vi mạch thuật toán
• Giáo trình Lập trình vi điều khiển
• Lập trình vi điều khiển
• Cấu trúc họ vi điều khiển
• Cấu trúc của hệ vi xử lý
• Tập lệnh 8051
• Luận văn Thạc sĩ
• Công nghệ thông tin
• Mạ không điện cực
• Màng nickel cấu trúc nano
• Linh kiện vi cơ điện tử
• Phương pháp chế tạo
• Vi mảng cảm biến hồng ngoại nhiệt
• Điện tử máy tính
• Phần mềm thiết kế
• Vi cơ điện tử kiểu tụ
• Cấu trúc MEMS
• Luận án Tiến sĩ Điện tử viễn thông
• Cấu trúc cảm biến vi cơ
• Kỹ thuật hóa mô miễn dịch
• Kỹ thuật sử dụng kênh vi lỏng
• Chip sinh học ứng dụng
• giáo trình thiết kế điện
• điện tử ứng dụng
• bài giảng điện tử
• thiết kế điện
• PID điều khiển đối tượng bậc 2