TAILIEUCHUNG - Nghiên cứu chế tạo cảm biến màng mỏng WO3 ứng dụng đo khí C2H5OH

Cảm biến màng mỏng WO3 được chế tạo thành công từ bia nguồn W sử dụng kết hợp phương pháp phún xạ phản ứng (reactive sputtering) kết hợp với kỹ thuật quang khắc (photolithography). Chiều dày màng mỏng, vi cấu trúc và hình thái bề mặt của vật liệu được khảo sát bằng thiết bị đo chiều dày màng mỏng (α-step), giản đồ nhiễu xạ tia X và kính hiển vi điện tử quét. | Nghiên cứu chế tạo cảm biến màng mỏng WO3 ứng dụng đo khí C2H5OH Tạp chí Khoa học và Công nghệ 133 (2019) 053-057 Nghiên cứu chế tạo cảm biến màng mỏng WO3 ứng dụng đo khí C2H5OH Research and Fabrication of WO3 thin film sensors for C2H5OH gas sensing application Nguyễn Văn Toán*, Nguyễn Văn Hiếu Trường Đại học Bách khoa Hà Nội – Số 1, Đại Cồ Việt, Hai Bà Trưng, Hà Nội Đến Tòa soạn: 20-3-2018; chấp nhận đăng: 20-3-2019 Asbstract Thin film of tungsten oxide was successfully fabricated from tungsten target by using reactive sputtering combining with lithoghraphy technology. The thickness, structure and morphology of the thin film were investigated by α-step, XRD and FE-SEM respectively. The gas sensing measurements of the WO3 thin film sensors indicated that these sensors have a high sensitivity and quick response to C2H5OH. With the simple research method (using only two masks), the results of this study have a lot of potential for applying to C2H5OH gas sensor. Keywords: WO3 thin film, Gas sensors, C2H5OH Tóm tắt Cảm biến màng mỏng WO3 được chế tạo thành công từ bia nguồn W sử dụng kết hợp phương pháp phún xạ phản ứng (reactive sputtering) kết hợp với kỹ thuật quang khắc (photolithography). Chiều dày màng mỏng, vi cấu trúc và hình thái bề mặt của vật liệu được khảo sát bằng thiết bị đo chiều dày màng mỏng (α-step), giản đồ nhiễu xạ tia X và kính hiển vi điện tử quét. Tính chất nhạy khí của cảm biến màng mỏng WO3 cho độ nhạy và độ đáp ứng nhanh với khí C2H5OH. Bằng phương pháp nghiên cứu đơn giản (chỉ sử dụng 2 mặt nạ (mask)), những kết quả nghiên cứu này có rất nhiều tiềm năng để ứng dụng chế tạo cảm biến đo khí C2H5OH. Keywords: Màng mỏng WO3, Cảm biến khí, C2H5OH 1. Giới thiệu hơn so với các thù hình khác. * Sự lạm dụng và sử dụng đồ uống có cồn của con Tuy nhiên sự ổn định về mặt công nghệ kém hơn người có xu hướng gia tăng trong xã hội hiện đại. Đây so với loại cảm biến sử dụng màng mỏng làm

• Hoá học
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ
• Màng mỏng WO3
• Cảm biến khí
• Kỹ thuật quang khắc
• Phương pháp phún xạ phản ứng
• Khoa học và Công nghệ Việt Nam
• Tạp chí Khoa học
• Khoa học và Công nghệ Việt Nam năm 2020
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 3B
• Địa tầng và địa mạo đảo Lý Sơn
• Cà phê hòa tan ở Việt Nam
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 1+2A
• Startup Việt Nam
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 3A
• Ứng dụng tế bào gốc
• Dữ liệu ảnh Landsat đa thời gian
• Tạp chí khoa học và công nghệ số 4
• Tạp chí khoa học và công nghệ năm 2014
• Cấu trúc giếng lượng tử silicon
• Công thức khai triển nghiệm đa thức
• Cấu trúc giếng lượng tử
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 5B
• Biểu hiện mRNA của gen
• Mô bệnh học u lympho ác tính
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 10A
• Nhựa phân hủy sinh học
• Phát triển kinh tế xanh
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 6B
• Đánh giá lượng phát thải khí CH4
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 4A
• Nguồn gen bản địa quý hiếm
• Vắc xin phòng bệnh cúm A/H5N1
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 4B
• Thương mại biên giới của Việt Nam
• Hiệu quả tài chính
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 6A
• Phát triển sản phẩm quốc gia
• Cô đặc cao dược liệu
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 7A
• Chuỗi cung ứng toàn cầu
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 7B
• Khả năng kháng nấm Candida albicans
• Tổn thương phân tử DNA ở pha G2
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 2B
• Chuyển phôi bệnh teo cơ tủy
• Tài chính của doanh nghiệp
• Bất động sản Việt Nam
• Nông nghiệp ở Việt Nam
• Di sản ở Tây Nguyên
• Khởi nghiệp sáng tạo
• Phát triển kinh tế sau Covid 19
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 8B
• Nền kinh tế thu nhập cao
• Tạp chí Khoa học và Công nghệ số 9A
• Xây dựng nông thôn mới
• Báo cáo khoa học và công nghệ
• Nghiên cứu khoa học và công nghệ
• Nghiên cứu khoa học
• Tạp chí công nghệ Việt Nam
• Khoa học và Công nghệ Việt Nam năm 2018
• Tần số tim và huyết áp sau nhĩ
• Khoa học và Công nghệ Việt Nam năm 2019
• Điều trị nhổ rễ thần kinh
• Công thức gel nhũ tương dầu dừa
• Khoa học và Công nghệ Việt Nam năm 2017
• Công nghiệp ô tô Việt Nam
• Phân tích pentaclophenol
• Xử lý axit perflooctanoic
• Điều trị ung thư đại trực tràng
• Xương hàm mặt không chỉnh nha