TAILIEUCHUNG - Nghiên cứu sự phân bố của các nguyên tử phốt pho pha tạp.trong màng Ge tăng trưởng epitaxy trên đế Si(100) bằng kỹ thuật chụp cắt lớp đầu dò nguyên tử

Trong nghiên cứu này, sự phân bố của các nguyên tử phốt pho pha tạp trong màng Ge được tập trung khảo sát. Vị trí của các nguyên tử P được thiết lập lại nhờ kỹ thuật chụp cắt lớp đầu dò nguyên tử (APT). Màng Ge được xử lý nhiệt sau khi tăng trưởng ở nhiệt độ 700 oC trong thời gian 60 giây để tạo ứng suất và kích hoạt điện tử pha tạp đồng thời cải thiện chất lượng tinh thể. | Lương Thị Kim Phượng Tạp chí KHOA HỌC & CÔNG NGHỆ 189(13): 79 - 84 NGHIÊN CỨU SỰ PHÂN BỐ CỦA CÁC NGUYÊN TỬ PHỐT PHO PHA TẠP TRONG MÀNG GE TĂNG TRƯỞNG EPITAXY TRÊN ĐẾ SI(100) BẰNG KỸ THUẬT CHỤP CẮT LỚP ĐẦU DÒ NGUYÊN TỬ Lương Thị Kim Phượng* Đại học Hồng Đức TÓM TẮT Các nghiên cứu cho thấy khả năng phát quang của Germani (Ge) có thể cải thiện đáng kể nếu áp dụng một ứng suất căng và pha tạp điện tử trong màng Ge để thay đổi cấu trúc vùng năng lượng của nó. Điện tử pha tạp được tạo ra nhờ pha tạp phốt pho (P) từ nguồn rắn Gali phốt pho (GaP). Mật độ nguyên tử P tổng cộng trong lớp Ge là 7,5x1020 cm-3 tuy nhiên nồng độ điện tử đã kích hoạt sau khi xử lý nhiệt chỉ đạt cỡ 2x10 19 cm-3. Nghĩa là vẫn còn 7,3x1020 cm-3 nguyên tử phốt pho vẫn chưa được kích hoạt và chiếm giữ các vị trí xen kẽ trong mạng nền. Trong nghiên cứu này, sự phân bố của các nguyên tử phốt pho pha tạp trong màng Ge được tập trung khảo sát. Vị trí của các nguyên tử P được thiết lập lại nhờ kỹ thuật chụp cắt lớp đầu dò nguyên tử (APT). Màng Ge được xử lý nhiệt sau khi tăng trưởng ở nhiệt độ 700 oC trong thời gian 60 giây để tạo ứng suất và kích hoạt điện tử pha tạp đồng thời cải thiện chất lượng tinh thể. Màng Ge được tăng trưởng trên đế Si định hướng (100) bằng kỹ thuật epitaxy chùm phân tử (MBE). Chất lượng bề mặt của màng và và chất lượng tinh thể của lớp Ge được khảo sát bằng thiết bị nhiễu xạ điện tử phản xạ năng lượng cao (RHEED). Hiệu suất phát quang của màng Ge được đánh giá từ phép đo phổ huỳnh quang trong vùng hồng ngoại. Từ khóa: Germani; pha tạp phốt pho; phổ huỳnh quang; chụp cắt lớp đầu dò nguyên tử; quang điện tử MỞ ĐẦU* Việc hiện thực hoá một nguồn sáng trên cơ sở Si để tương thích với công nghệ chế tạo mạch tích hợp CMOS (Complementarry Metal Oxide Semiconductor) là mục tiêu của nhiều nhóm nghiên cứu trong những thập niên gần đây. Nó sẽ mở ra nhiều triển vọng ứng dụng quan trọng, nhất là việc thay thế truyền thông tin bằng tín hiệu điện sang truyền dẫn thông tin bằng tín hiệu quang

• Điện - Điện tử
• Màng Germani
• Pha tạp phốt pho
• Phổ huỳnh quang
• Chụp cắt lớp đầu dò nguyên tử
• Quang điện tử
• Bài thuyết trình Phát xạ quang điện tử
• Phát xạ quang điện tử
• Hiện tượng quang điện tử
• Phát xạ quang điện tử với kim loại
• Phát xạ quang điện tử chất cách điện
• Phát xạ quang điện tử chất dẫn điện
• Quang điện tử và Quang điện
• Bài giảng Quang điện tử và Quang điện
• Đèn điện phát quang
• Cáp sợi quang
• Cơ sở quang điện tử
• Phân cực sóng
• Đề tài Vật lý
• Lý thuyết phát xạ quang điện tử
• Hiện tượng phát xạ quang điện tử
• Quang điện tử với chất cách điện
• Quang điện tử với chất bán dẫn
• Phổ quang điện tử tia X XPS
• Bài thuyết trình Vật lý
• Lý thuyết phổ quang điện tử tia X
• Cấu trúc phổ quang điện tử tia X
• Phân tích phổ quang điện tử tia X
• Nhận xét phổ quang điện tử tia X
• Linh kiện bán dẫn quang điện tử
• Vật liệu bán dẫn quang điện tử
• Thông tin quang
• Công nghệ thông tin quang
• Hệ phương trình Maxwell
• Linh kiện quang điện tử
• Tính chất điện quang
• cảm biến quang
• tài liệu ngành điện tử
• bài giảng quang điện tử
• giáo án quang điện tử
• chiết suất và phản xạ
• bức xạ điện từ
• hệ thống thông tin quang
• lý thuyết quang điện tử
• Kỹ thuật điện tử
• Cấu kiện điện tử
• Cấu kiện quang điện tử
• Bộ ghép quang
• Luận án Tiến sĩ
• Luận án Tiến sĩ Vật liệu quang học
• Vật liệu quang học
• Vật liệu phát quang micro nano
• Linh kiện quang
• Chiếu sáng rắn
• Đề thi học kỳ
• Đề thi Quang điện tử
• Bài tập Quang điện tử
• Điện Điện tử
• Đáp án đề thi môn Quang điện tử
• Đề thi môn Quang điện tử
• Đáp án đề thi
• Bộ biến điệu quang
• Họ linh kiện bán dẫn phát quang
• Môi trường truyền sóng quang
• Linh kiện bán dẫn
• Bộ khuếch đại quang
• Tính chất điện quang
• Thông tin quang sợi
• Bài giảng Thông tin quang sợi
• Linh kiện dẫn sóng quang
• Sự lan truyền của ánh sáng
• phân cực ánh sáng
• khuếch đại quang
• trạm lặp quang điện
• hệ thống truyền dẫn quang
• Luận án tiến sĩ Khoa học vật liệu
• Quang điện tử và Quang tử
• Phân loại tinh thể quang tử
• Cảm biến quang tử
• Hiện tượng quang
• Hiện tượng phát quang
• Tính quang dẫn
• Pin quang điện
• Giáo án Vật lý 12 bài 32
• Giáo án điện tử Vật lý 12
• Giáo án điện tử lớp 12
• Giáo án điện tử
• Bài giảng Linh kiện điện tử
• Linh kiện điện tử
• Linh kiện biến đổi quang điện
• Linh kiện biến đổi điện quang
• Bộ ngẫu hợp quang điện
• quang điện
• kỹ thuật mạch điện tử
• điện gia dụng
• điện tử công suất
• điện tử số
• Phổ kế quang điện tử tia X
• Hiệu ứng quang điện
• Điện tử Auger
• Điện tử quang điện
• Nguyên tắc hoạt động hệ phổ kế XPS
• Bài giảng Cấu kiện điện tử
• Khoa học vật liệu
• Chế tạo vật liệu Cu2O
• Tính chất quang xúc tác
• Điện – quang xúc tác của vật liệu Cu2O
• Lớp phủ cấu trúc nano